半导体晶体管器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101246901A

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200810009910.0

    申请日:2008-02-13

    Inventor: 李孟烈

    CPC classification number: H01L29/7395 H01L29/402 H01L29/42364 H01L29/66333

    Abstract: 本发明公开了一种半导体晶体管器件及其制造方法。该半导体晶体管器件包括漂移区、绝缘结构、栅极绝缘体、栅电极、源极和漏极。漂移区包括具有第一掺杂剂浓度的第一横向部分和具有第二掺杂剂浓度的第二横向部分,其中,第二掺杂剂浓度高于第一横向部分的第一掺杂剂浓度。绝缘结构形成在漂移区上,并设置在第一横向部分和第二横向部分之间的边界的上方,从而在操作过程中,在漂移区中产生的空穴被最少化。

    高电压晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN100495728C

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200510119177.4

    申请日:2005-10-27

    CPC classification number: H01L29/42368 H01L29/513 H01L29/66659 H01L29/7835

    Abstract: 在具有高击穿电压的HV晶体管及其制造方法中,通过氧化一部分衬底使第一绝缘图案形成在半导体衬底上,并且形成第二绝缘图案,使得第一绝缘图案的至少一部分覆盖有第二绝缘图案。通过淀积导电材料到衬底上,在衬底上形成栅电极,栅电极含有第一末端部分和与第一末端部分相对的第二末端部分。第一末端部分形成在第一绝缘图案上,而第二末端部分形成在第二绝缘图案上。通过注入杂质到衬底上,在衬底的表面部分处形成源/漏区。减少了在栅电极的边缘部分处的电场强度,并且HV晶体管具有高击穿电压。

    高电压晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN1828936A

    公开(公告)日:2006-09-06

    申请号:CN200510119177.4

    申请日:2005-10-27

    CPC classification number: H01L29/42368 H01L29/513 H01L29/66659 H01L29/7835

    Abstract: 在具有高击穿电压的HV晶体管及其制造方法中,通过氧化一部分衬底使第一绝缘图案形成在半导体衬底上,并且形成第二绝缘图案,使得第一绝缘图案的至少一部分覆盖有第二绝缘图案。通过淀积导电材料到衬底上,在衬底上形成栅电极,栅电极含有第一末端部分和与第一末端部分相对的第二末端部分。第一末端部分形成在第一绝缘图案上,而第二末端部分形成在第二绝缘图案上。通过注入杂质到衬底上,在衬底的表面部分处形成源/漏区。减少了在栅电极的边缘部分处的电场强度,并且HV晶体管具有高击穿电压。

    半导体晶体管器件
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102938412A

    公开(公告)日:2013-02-20

    申请号:CN201210454375.6

    申请日:2008-02-13

    Inventor: 李孟烈

    CPC classification number: H01L29/7395 H01L29/402 H01L29/42364 H01L29/66333

    Abstract: 本发明公开了一种半导体晶体管器件。该半导体晶体管器件包括漂移区、绝缘结构、栅极绝缘体、栅电极、源极和漏极。漂移区包括具有第一掺杂剂浓度的第一横向部分和具有第二掺杂剂浓度的第二横向部分,其中,第二掺杂剂浓度高于第一横向部分的第一掺杂剂浓度。绝缘结构形成在漂移区上,并设置在第一横向部分和第二横向部分之间的边界的上方,从而在操作过程中,在漂移区中产生的空穴被最少化。

    半导体晶体管器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101246901B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN200810009910.0

    申请日:2008-02-13

    Inventor: 李孟烈

    CPC classification number: H01L29/7395 H01L29/402 H01L29/42364 H01L29/66333

    Abstract: 本发明公开了一种半导体晶体管器件及其制造方法。该半导体晶体管器件包括漂移区、绝缘结构、栅极绝缘体、栅电极、源极和漏极。漂移区包括具有第一掺杂剂浓度的第一横向部分和具有第二掺杂剂浓度的第二横向部分,其中,第二掺杂剂浓度高于第一横向部分的第一掺杂剂浓度。绝缘结构形成在漂移区上,并设置在第一横向部分和第二横向部分之间的边界的上方,从而在操作过程中,在漂移区中产生的空穴被最少化。

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