光学度量装置
    2.
    发明公开
    光学度量装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN119104566A

    公开(公告)日:2024-12-10

    申请号:CN202410722721.7

    申请日:2024-06-05

    Abstract: 一种光学度量装置,包括:照明单元,其被配置为同时将第一照明光和第二照明光照射到衬底表面上,第一照明光以与测量角的差大于临界角的第一入射角照射,第二照明光以与测量角的差等于或小于临界角的第二入射角照射,第二照明光的波长不同于第一照明光的波长;光学系统,其被配置为收集根据第一照明光和所述第二照明光的来自衬底的表面的反射光;以及多通道相机,其被配置为基于由光学系统收集的反射光来生成其中衬底的表面的暗场图像和明场图像被整合的原始图像。

    制造发光设备的方法和发光模块检查设备

    公开(公告)号:CN105591012B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201510765364.3

    申请日:2015-11-11

    Abstract: 本发明提供了一种制造发光设备的方法和发光模块检查设备。所述制造发光设备的方法包括:将衬底设置在支承件上;将包括发光装置的发光封装件设置在衬底上,以使得发光封装件位于衬底上的目标位置;将能量施加至发光封装件,以使得发光装置发光;以及分析由于能量而从发光装置发射的光,并且确定发光封装件实际设置的位置。因此,可容易地并低成本地制造发光设备,并且可产生有限数量的斑点并提供改进的均匀亮度。

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