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公开(公告)号：CN1519955A
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN200410039503.6
申请日：2004-02-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/00 , H01L21/336 , G02F1/136
CPC classification number: G02F1/136227 , G02F2001/136236 , G03F1/00
Abstract: 沉积钝化层并形成光致抗蚀剂。该光致抗蚀剂包括厚度逐渐变小的第一至第三部分，第二部分位于漏极及一部分数据线之上，第三部分位于一部分数据线之上。形成这种光致抗蚀剂的掩膜置于第二部分对应的区域，具有宽度和间距约0.8－2.0μm的多个直线形狭缝。钝化层和其下的半导体层与光致抗蚀剂一同蚀刻，以露出第三部分下面栅极绝缘层部分和第二部分下面钝化层。除去钝化层和栅极绝缘层露出部分，同时露出漏极和栅极线及数据线和一部分半导体层，再除去露出的半导体层部分。
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公开(公告)号：CN101655643A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200910164010.8
申请日：2004-02-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1362 , G03F1/14 , H01L21/84
Abstract: 本发明涉及一种薄膜晶体管阵列面板的制造方法。该方法包括：在绝缘基板上形成栅极线；形成栅极绝缘层；形成半导体；形成包括数据线及漏极的数据导电层；形成钝化层，该钝化层具有露出漏极的一部分及邻接在漏极边界线的栅极绝缘层的上表面的一部分的接触孔；以及形成通过接触孔与漏极连接的像素电极，其中，像素电极通过钝化层中的接触孔与漏极的上表面以及邻接在漏极边界线的栅极绝缘层的上表面的一部分相接触。根据本发明，防止在接触部露出布线边界时，布线下部发生下切，可以缓慢确保接触部的侧面。通过它可以防止在接触部发生断线，可以稳定安装驱动集成电路，因此，可以确保接触部的可靠性。
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公开(公告)号：CN100392504C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200480005456.1
申请日：2004-02-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1343 , G02F1/1368 , G02F1/1337
Abstract: 一种液晶显示器，包括：像素电极(190)；面向像素电极(190)的公共电极(270)；薄膜晶体管，包括连接到栅线(121)的栅电极(123)、连接到数据线(171)的源电极(173)、以及连接到像素电极(190)的漏电极(175)。在该液晶显示器中设置了界定畴的第一畴界定部件和第二畴界定部件，漏电极(175)设置在畴之一的角附近。每个畴具有彼此平行延伸的主边缘对，畴的主边缘与栅线成大约45度的角，且漏电极具有多个边缘，漏电极的边缘包括第一边缘，第一边缘垂直于畴的主边缘并位于最接近畴之一的中部的位置。
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公开(公告)号：CN1577090B
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：CN200410032706.2
申请日：2004-04-13
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/77 , G02F1/1362
CPC classification number: H01L27/1288 , G02F1/13458 , G02F1/136227 , G02F2001/136236 , G02F2001/13625 , G03F7/70358 , H01L27/1214 , H01L29/4908 , H01L29/66765 , H01L29/78669
Abstract: 本发明提供一种用于提高成品收率的曝光方法及利用该曝光方法制造用于液晶显示器的薄膜晶体管基片的方法。为了提高成品收率，通过掩膜对基片上的层进行光扫描。通过该层的曝光在基片上形成图案。扫描的方向基本上垂直于该图案的长度方向。减小由于图案耦合形成的电容差以及通过绝缘层形成的导电层。因此，减少了显示器的故障并提高了成品率。
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公开(公告)号：CN1519955B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200410039503.6
申请日：2004-02-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/00 , H01L21/336 , G02F1/136
CPC classification number: G02F1/136227 , G02F2001/136236 , G03F1/00
Abstract: 沉积钝化层并形成光致抗蚀剂。该光致抗蚀剂包括厚度逐渐变小的第一至第三部分，第二部分位于漏极及一部分数据线之上，第三部分位于一部分数据线之上。形成这种光致抗蚀剂的掩膜置于第二部分对应的区域，具有宽度和间距约0.8-2.0μm的多个直线形狭缝。钝化层和其下的半导体层与光致抗蚀剂一同蚀刻，以露出第三部分下面栅极绝缘层部分和第二部分下面钝化层。除去钝化层和栅极绝缘层露出部分，同时露出漏极和栅极线及数据线和一部分半导体层，再除去露出的半导体层部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100437300C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510099153.7
申请日：2005-09-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/134336 , G02F1/133707
Abstract: 本发明涉及一种用于液晶显示器的薄膜晶体管阵列面板、液晶显示器和其制造方法。所述显示板包括：基板；和第一电极部分，设置于所述基板上，所述第一电极部分具有两对彼此面对的主边缘和倾斜于所述主边缘的第一切口，其中，所述主边缘包括第一和第二边缘，所述第一电极部分具有基本平行于所述第一切口的倾斜边缘，所述倾斜边缘连接所述第一边缘和第二边缘，所述第一边缘包括从所述倾斜边缘延伸到所述第一切口的端部的第一部分，且所述倾斜边缘基本等于或长于所述第一边缘的第一部分的一半。
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公开(公告)号：CN1746752A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510099153.7
申请日：2005-09-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/134336 , G02F1/133707
Abstract: 本发明涉及一种用于液晶显示器的薄膜晶体管阵列面板、液晶显示器和其制造方法。所述显示板包括：基板；和第一电极部分，设置于所述基板上，所述第一电极部分具有两对彼此面对的主边缘和倾斜于所述主边缘的第一切口，其中，所述主边缘包括第一和第二边缘，所述第一电极部分具有基本平行于所述第一切口的倾斜边缘，所述倾斜边缘连接所述第一边缘和第二边缘，所述第一边缘包括从所述倾斜边缘延伸到所述第一切口的端部的第一部分，且所述倾斜边缘基本等于或长于所述第一边缘的第一部分的一半。
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公开(公告)号：CN100413077C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN03159732.7
申请日：2003-07-11
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G02F1/13458 , G02F1/136213 , G02F1/136227 , H01L27/124 , H01L27/1255 , H01L27/1288
Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管阵列面板，其包括：绝缘衬底；在衬底上形成的栅线；在衬底上形成的多个存储导体，每个存储导体包括多个分支；在栅线和存储导体上形成的栅绝缘层；在栅绝缘层上形成的半导体层；在半导体层上形成的数据导体；在数据导体上形成的钝化层；在钝化层上形成的像素电极，其中每一存储导体的最多一个分支具有绝缘端。
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公开(公告)号：CN1754120A
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN200480005456.1
申请日：2004-02-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1343 , G02F1/1368 , G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/1368 , G02F1/133707 , G02F1/134336
Abstract: 一种液晶显示器，包括：像素电极(190)；面向像素电极(190)的公共电极(270)；薄膜晶体管，包括连接到栅线(121)的栅电极(123)、连接到数据线(171)的源电极(173)、以及连接到像素电极(190)的漏电极(175)。在该液晶显示器中设置了界定畴的第一畴界定部件和第二畴界定部件，漏电极(175)设置在畴之一的角附近。漏电极(175)具有这样的边缘，该边缘垂直于畴的主边缘延伸并位于最接近畴之一的中部的位置。
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公开(公告)号：CN1577090A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410032706.2
申请日：2004-04-13
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L27/1288 , G02F1/13458 , G02F1/136227 , G02F2001/136236 , G02F2001/13625 , G03F7/70358 , H01L27/1214 , H01L29/4908 , H01L29/66765 , H01L29/78669
Abstract: 本发明提供一种用于提高成品收率的曝光方法及利用该曝光方法制造用于液晶显示器的薄膜晶体管基片的方法。为了提高成品收率，通过掩膜对基片上的层进行光扫描。通过该层的曝光在基片上形成图案。扫描的方向基本上垂直于该图案的长度方向。减小由于图案耦合形成的电容差以及通过绝缘层形成的导电层。因此，减少了显示器的故障并提高了成品率。
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