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    显示器布线及其制造方法与包含该布线的薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
    1.
    发明授权
    显示器布线及其制造方法与包含该布线的薄膜晶体管阵列面板及其制造方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN100381920C

    公开(公告)日：2008-04-16

    申请号：CN02827158.0

    申请日：2002-07-29

    Applicant: 三星电子株式会社

    Inventor： 柳昇熙 ,  洪雯杓 ,  卢水贵 ,  卢南锡 ,  宋根圭 ,  崔熙焕 ,  金保成 ,  金湘甲 ,  姜聖哲 ,  朴弘植

    IPC: G02F1/136

    CPC classification number: G02F1/136286 ,  G02F2001/136295

    Abstract: 首先，利用含有8-12%Ce(NH4)2(NO3)6、10-20%NH3及残留超纯水的蚀刻剂来沉积Cr层和CrOx层并制作布线图案，以形成包括多条栅极线、多个栅极、以及多个栅极衬垫的栅极布线。然后，顺次形成栅极绝缘层、半导体层、及欧姆接触层。利用含有8-12%Ce(NH4)2(NO3)6、10-20%NH3及残留超纯水的蚀刻剂来沉积Cr层和CrOx层并制作布线图案，以形成包括多条数据线、多个源极、多个漏极、及多个数据衬垫的数据布线。接着，沉积钝化层并制作布线图案以形成分别露出漏极、栅极衬垫、及数据衬垫的接触孔。沉积透明导电材料或反射性导电材料并制作布线图案以形成分别与漏极、栅极衬垫、及数据衬垫电连接的多个像素电极、多个辅助栅极衬垫、及多个辅助数据衬垫。将具有低反射比的栅极线和数据线作为遮光层用于遮挡像素区域之间光泄漏，而不增加黑色亮度。因此，无需在滤色器面板上设置单独的黑阵，从而可获得像素的纵横比和高对比度。

    传送液晶显示器基片的装置
    2.
    发明公开
    传送液晶显示器基片的装置 无效

    公开(公告)号：CN1607169A

    公开(公告)日：2005-04-20

    申请号：CN200410033824.5

    申请日：2004-04-14

    Applicant: 三星电子株式会社

    Inventor： 金甲 ,  崔熙焕 ,  姜聖哲

    IPC: B65G49/06

    CPC classification number: G03F7/70791 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  G02F2001/133302

    Abstract: 本发明涉及一种传送液晶显示器基片的装置，该装置具有1500mm×1800mm以上的大小，包括：一对平行支撑臂，呈棒状且支撑该基片的两端区域；以及至少一个辅助臂，设置在支撑臂之间。通过这种配置，本发明提供了一种传送装置，该传送装置使用于液晶显示器的大型基片的形变最小化同时传送该基片，从而防止由于形变而致缺陷并稳定制造工序。

    半导体制造装置
    5.
    发明授权
    半导体制造装置 失效 转让

    公开(公告)号：CN100454495C

    公开(公告)日：2009-01-21

    申请号：CN200410048125.8

    申请日：2004-06-16

    Applicant: 三星电子株式会社

    Inventor： 崔熙焕 ,  宋仁虎 ,  姜聖哲 ,  金湘甲

    IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/00

    CPC classification number: H01L21/67069 ,  B08B7/0035 ,  C23C16/4405 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32862

    Abstract: 本发明涉及一种干蚀刻装置，包括箱体，用于形成等离子进行干蚀刻工序；下部电极，包含排出箱体内部反应气体的排气口，并且设置基片；上部电极，与下部电极隔开面对。而且，这种干蚀刻装置包括清洗部，清洗部与电源进行电连接，包括：清洗时为了形成包含清洗用气体的等离子的清洗用电极；可引导清洗用电极水平移动的电极引导部件及支撑清洗用电极并引导清洗用电极垂直移动的电极支撑体。向清洗用电极施加电源形成等离子，并通过它除去箱体内壁残留的污染物。

    生产用溶液供给系统及方法
    7.
    发明公开
    生产用溶液供给系统及方法 无效

    公开(公告)号：CN1597134A

    公开(公告)日：2005-03-23

    申请号：CN200410078042.3

    申请日：2004-09-20

    Applicant: 三星电子株式会社

    Inventor： 赵弘济 ,  金珍洙 ,  姜聖哲

    IPC: B05B9/00 ,  B05B12/10 ,  G02F1/1333

    CPC classification number: B05B1/205 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1042 ,  H01L21/6708

    Abstract: 本发明提供了一种生产用溶液供给系统以及用于方便地供给生产用溶液的方法。生产用溶液供给装置在可控的温度下将生产用溶液提供给用于通过多个喷头将生产用溶液喷射到基片上的处理装置。将生产用溶液通过通道输送到喷头，在一个实施例中，其可包括管道装置。通道可方便地利用连接管、热传感器、及管道装置控制温度，以便从多个喷头喷射的生产用溶液的温度基本等于最初从生产用溶液供给装置供给的生产用溶液的温度。

    等离子箱体
    9.
    发明授权
    等离子箱体 失效

    公开(公告)号：CN1267769C

    公开(公告)日：2006-08-02

    申请号：CN200410037201.5

    申请日：2004-04-22

    Applicant: 三星电子株式会社

    Inventor： 崔熙焕 ,  金湘甲 ,  姜聖哲 ,  宋仁虎

    IPC: G02F1/133 ,  H05H1/00 ,  H01L21/3065

    CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/32082

    Abstract: 本发明涉及一种等离子箱体，该等离子箱体包括下部电极和上部电极，并用于干蚀刻液晶显示器，包括：主电源部，包括用于产生具有预定主频率的主电压的主电源和用于阻抗匹配主电压的第一阻抗匹配电路；偏压电源部，包括用于产生具有预定偏压频率的偏电压的偏压电源和用于阻抗匹配偏电压的第二阻抗匹配电路；以及混频器，与第一阻抗匹配电路和第二阻抗匹配电路连接、接收并混合主电压和偏电压，且向下部电极和上部电极中的一个电极输出的混合电压。就这种配置而言，本发明提供一种等离子箱体，其中将诸如蚀刻率、蚀刻剖面、选择比等这类的工艺条件进行精确调整。

    显示器布线及其制造方法与包含该布线的薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
    10.
    发明公开
    显示器布线及其制造方法与包含该布线的薄膜晶体管阵列面板及其制造方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN1615452A

    公开(公告)日：2005-05-11

    申请号：CN02827158.0

    申请日：2002-07-29

    Applicant: 三星电子株式会社

    Inventor： 柳昇熙 ,  洪雯杓 ,  卢水贵 ,  卢南锡 ,  宋根圭 ,  崔熙焕 ,  金保成 ,  金湘甲 ,  姜聖哲 ,  朴弘植

    IPC: G02F1/136

    CPC classification number: G02F1/136286 ,  G02F2001/136295

    Abstract: 首先，利用含有8－12％Ce(NH4)2(NO3)6、10－20％NH3及残留超纯水的蚀刻剂来沉积Cr层和CrOx层并制作布线图案，以形成包括多条栅极线、多个栅极、以及多个栅极衬垫的栅极布线。然后，顺次形成栅极绝缘层、半导体层、及欧姆接触层。利用含有8－12％Ce(NH4)2(NO3)6、10－20％NH3及残留超纯水的蚀刻剂来沉积Cr层和CrOx层并制作布线图案，以形成包括多条数据线、多个源极、多个漏极、及多个数据衬垫的数据布线。接着，沉积钝化层并制作布线图案以形成分别露出漏极、栅极衬垫、及数据衬垫的接触孔。沉积透明导电材料或反射性导电材料并制作布线图案以形成分别与漏极、栅极衬垫、及数据衬垫电连接的多个像素电极、多个辅助栅极衬垫、及多个辅助数据衬垫。将具有低反射比的栅极线和数据线作为遮光层用于遮挡像素区域之间光泄漏，而不增加黑色亮度。因此，无需在滤色器面板上设置单独的黑阵，从而可获得像素的纵横比和高对比度。

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