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公开(公告)号：CN111270236B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201911217843.6
申请日：2019-12-03
摘要： 本申请涉及蚀刻剂组合物，其包含过硫酸盐、四氮环化合物、二氯化合物、氟化合物和水，并且所述蚀刻剂组合物具有约1:0.5至约1:4的所述四氮环化合物与所述二氯化合物的重量比。所述蚀刻剂组合物可以蚀刻钛/铜的多层并且可以用于制造具有优异的蚀刻图案的性质的金属图案和阵列衬底。
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公开(公告)号：CN116068853A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310142684.8
申请日：2017-05-03
IPC分类号： G03F7/004 , G02F1/1333 , G02F1/1343 , G03F7/008 , C08F220/28 , C08F220/32 , C08F220/06 , C08F212/08 , C08F212/14 , C08F220/20
摘要： 本发明公开一种感光性树脂组合物以及显示装置。本发明的一实施例提供一种包含具有用化学式1至6表示的重复单元中至少一种的丙烯酸类共聚物、含有醌二叠氮类磺酸酯化合物的光敏化合物(photo active compound)、硅烷偶联剂以及溶剂的感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN107367902A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710304532.8
申请日：2017-05-03
IPC分类号： G03F7/008 , G02F1/1343
CPC分类号： G03F7/008 , G02F1/134309
摘要： 本发明公开一种感光性树脂组合物以及显示装置。本发明的一实施例提供一种包含具有用化学式1至6表示的重复单元中至少一种的丙烯酸类共聚物、含有醌二叠氮类磺酸酯化合物的光敏化合物(photo active compound)、硅烷偶联剂以及溶剂的感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN114763612A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202111650221.X
申请日：2021-12-30
摘要： 本申请提供了蚀刻剂组合物以及使用蚀刻剂组合物制造金属图案和薄膜晶体管基板的方法。实施方式的蚀刻剂组合物可蚀刻钛/铜的多层膜并且可包括约5wt％至约20wt％的过硫酸盐，约0.1wt％至约5wt％的磷酸和/或磷酸盐，约0.01wt％至约2wt％的羰基环化合物，约0.01wt％至约1wt％的3‑氮环化合物，约0.1wt％至约2wt％的4‑氮环化合物，约0.1wt％至约0.9wt％的氟化合物，约0.1wt％至约0.5wt％的硫酸氢盐，约1wt％至约3wt％的两性离子化合物，和水，包含的水的量使整个蚀刻剂组合物的总重量为约100wt％。
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公开(公告)号：CN110284139B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201910207694.9
申请日：2019-03-19
摘要： 本发明的实施方式的蚀刻剂组合物包括过硫酸盐、四‑氮环化合物、具有两个或更多个羰基的羰基环化合物和水，并且四‑氮环化合物和羰基环化合物的重量比为约1:0.1至约1:2。蚀刻剂组合物可蚀刻钛/铜的多层并且可用于制造具有优异蚀刻图案特性的金属图案和阵列基板。
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公开(公告)号：CN103995436A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410053044.0
申请日：2014-02-17
摘要： 光敏树脂组合物包含：丙烯酸共聚物，其含有包括选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐的至少一种的第一单体，以及包括烯烃类不饱和化合物的第二单体的聚合反应产物；光敏组分，其包含选自由化学式1至化学式4表示的化合物中的至少一种1,2-二叠氮醌-5-磺酸酯化合物；偶联剂；和溶剂，其中如通过高效液相色谱法所测定，光敏组分中不对称化合物的总量大于或等于45面积百分比：其中R1是羟基或甲基，并且NQD是1,2-二叠氮醌-5-磺酰基。
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公开(公告)号：CN111270236A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201911217843.6
申请日：2019-12-03
摘要： 本申请涉及蚀刻剂组合物，其包含过硫酸盐、四氮环化合物、二氯化合物、氟化合物和水，并且所述蚀刻剂组合物具有约1:0.5至约1:4的所述四氮环化合物与所述二氯化合物的重量比。所述蚀刻剂组合物可以蚀刻钛/铜的多层并且可以用于制造具有优异的蚀刻图案的性质的金属图案和阵列衬底。
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公开(公告)号：CN110967927A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910924522.3
申请日：2019-09-27
IPC分类号： G03F7/004 , G02F1/1333
摘要： 公开了光敏树脂组合物和包括其的显示装置。所述光敏树脂组合物包括：a)丙烯酸类共聚物，所述丙烯酸类共聚物通过使i)含羟基的不饱和化合物，ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物，iii)含环氧基的不饱和化合物，和iv)烯烃类不饱和化合物共聚而获得；b)1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物，所述1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物具有包括由上面化学式A表示的化合物的酚化合物作为压载物；c)烷偶联剂；和d)溶剂。
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公开(公告)号：CN105759568A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201510940417.0
申请日：2015-12-16
CPC分类号： G03F7/039 , C08K5/23 , C08K5/42 , G03F7/0233 , G03F7/038 , H01L27/3246 , H01L27/3248 , H01L51/0043 , H01L51/0094 , C08L83/04 , G03F7/0757
摘要： 阳性光敏硅氧烷树脂组合物包括：a)通过在催化剂下进行i)至少一种由下列化学式1表示的反应性硅烷和ii)至少一种由下列化学式2表示的4-官能反应性硅烷的水解和缩合聚合而获得的硅氧烷类共聚物，所述共聚物具有1,000至20,000的聚苯乙烯转换的重均分子量Mw；b)1,2-二叠氮醌化合物；和c)溶剂，(R1)nSi(R2)4-n [化学式1]Si(R3)4 [化学式2]其中R1可各自独立地为具有1至10个碳原子的烷基和具有6至15个碳原子的芳基中的任一种，R2可以各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，R3可各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，且n可以为1至3的自然数。
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公开(公告)号：CN105759568B
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201510940417.0
申请日：2015-12-16
摘要： 阳性光敏硅氧烷树脂组合物包括：a)通过在催化剂下进行i)至少一种由下列化学式1表示的反应性硅烷和ii)至少一种由下列化学式2表示的4‑官能反应性硅烷的水解和缩合聚合而获得的硅氧烷类共聚物，所述共聚物具有1,000至20,000的聚苯乙烯转换的重均分子量Mw；b)1,2‑二叠氮醌化合物；和c)溶剂，(R1)nSi(R2)4‑n [化学式1]Si(R3)4 [化学式2]其中R1可各自独立地为具有1至10个碳原子的烷基和具有6至15个碳原子的芳基中的任一种，R2可以各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，R3可各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，且n可以为1至3的自然数。
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