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公开(公告)号：CN108027460A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680049912.5
申请日：2016-08-26
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 南森·威廉·马奇 , 尚乃贵 , 苏珊娜·布斯托斯-罗德里格斯 , 本·波尔·詹森 , 奥利弗·克罗瑟利
摘要： 低反射率涂层(20)由在基底(10)的接触表面(14)上的碳纳米结构的层(20)形成，该层来自将悬浮液中的碳纳米结构掺入溶剂的喷雾。碳纳米结构层提供了非常低的反射率涂层，其可通过刻蚀所述涂层的外表面而进一步强化。该层可被刻蚀用于降低反射率。已获得非常低的反射率涂层。
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公开(公告)号：CN101213321A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200680020804.1
申请日：2006-05-11
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 森布提拉切莱格·拉维·希尔瓦 , 本·保罗·延森 , 陈冠佑
CPC分类号： C01B31/0233 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C23C16/46 , Y10T428/265
摘要： 本发明提供了纳米结构体的制造方法和设备。本发明涉及一种形成纳米结构体或纳米材料的方法。所述方法包括在基底(15)上设置热控制阻挡层(17)并形成所述纳米结构体或纳米材料。所述方法，例如，可以用于通过使用含碳气体等离子的等离子增强化学气相沉积来形成碳纳米管。在形成所述碳纳米管的过程中，所述基底(15)的温度可以保持在低于350℃。
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公开(公告)号：CN108027460B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680049912.5
申请日：2016-08-26
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 南森·威廉·马奇 , 尚乃贵 , 苏珊娜·布斯托斯-罗德里格斯 , 本·波尔·詹森 , 奥利弗·克罗瑟利
摘要： 低反射率涂层(20)由在基底(10)的接触表面(14)上的碳纳米结构的层(20)形成，该层来自将悬浮液中的碳纳米结构掺入溶剂的喷雾。碳纳米结构层提供了非常低的反射率涂层，其可通过刻蚀所述涂层的外表面而进一步强化。该层可被刻蚀用于降低反射率。已获得非常低的反射率涂层。
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公开(公告)号：CN107921474A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048131.4
申请日：2016-08-26
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 费奥纳-梅雷亚德·麦克纳 , 盖伊·亚历山大·豪利特 , 本·波尔·詹森
CPC分类号： B05D1/62 , B05D3/142 , B05D5/083 , C23C16/0245 , C23C16/505
摘要： 在基底(22)上提供低反射率涂层(40，80/82)。该涂层包括在基底的暴露面(21)上基本垂直取向的碳纳米管层(40)。在优选的氟碳或含氟碳的实施方式中，在碳纳米管层(40)上提供疏水涂层(80，82)，且该疏水涂层(80，82)在碳纳米管层内部分地延伸。该疏水涂层(80，82)阻止任何水滴下沉到或进入到碳纳米管层(40)之上或之中，结果增加碳纳米管层在使用期间(40)的稳定性，同时改善该膜的低反射率。
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公开(公告)号：CN107921474B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201680048131.4
申请日：2016-08-26
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 费奥纳-梅雷亚德·麦克纳 , 盖伊·亚历山大·豪利特 , 本·波尔·詹森
摘要： 在基底(22)上提供低反射率涂层(40，80/82)。该涂层包括在基底的暴露面(21)上基本垂直取向的碳纳米管层(40)。在优选的氟碳或含氟碳的实施方式中，在碳纳米管层(40)上提供疏水涂层(80，82)，且该疏水涂层(80，82)在碳纳米管层内部分地延伸。该疏水涂层(80，82)阻止任何水滴下沉到或进入到碳纳米管层(40)之上或之中，结果增加碳纳米管层在使用期间(40)的稳定性，同时改善该膜的低反射率。
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公开(公告)号：CN102292287A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005241.5
申请日：2010-01-28
申请人： 萨里纳米系统有限公司
CPC分类号： C30B25/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/152 , C01B32/16 , C30B29/02 , C30B29/602
摘要： 在用于形成碳纳米材料的化学气相沉积(CVD)过程中，乙炔气体供给物(10)由过滤器(12)过滤以除去挥发性烃气体，随后该乙炔气体被供应至质量流量控制器(14)。所述质量流量控制器(14)可使经过滤的所述乙炔气体与所述挥发性烃气体供给物混合，以使气体混合物含有选定比例的所述挥发性烃气体。所述过滤器(12)通过使所述乙炔气体经过活性炭来进行过滤。
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公开(公告)号：CN111225749B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201880065058.0
申请日：2018-10-08
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 本·波尔·詹森 , 费奥纳-梅雷亚德·麦克纳 , 威廉·约翰·克里斯蒂安·卢德兰
IPC分类号： B05D1/02 , C09D5/00 , C09D7/40 , C09D129/04 , G02B5/22 , F24S70/20 , C09D131/04
摘要： 涂覆基材的方法包括步骤：(i)提供在溶剂中的染料和粘合剂的悬浮液，其中染料与粘合剂的比例大于40wt％并且染料均匀分散在溶剂中；(ii)将所述悬浮液喷涂到基材上，其中大部分溶剂在喷涂步骤中蒸发，以在基材上产生密度最高达0.75gcm‑3的染料和粘合剂的涂层；和(iii)继续步骤(ii)，直至涂层厚度为至少30微米；其中，染料不包括任何碳纳米管。
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公开(公告)号：CN101213321B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200680020804.1
申请日：2006-05-11
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 森布提拉切莱格·拉维·希尔瓦 , 本·保罗·延森 , 陈冠佑
CPC分类号： C01B31/0233 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C23C16/46 , Y10T428/265
摘要： 本发明提供了纳米结构体的制造方法和设备。本发明涉及一种形成纳米结构体或纳米材料的方法。所述方法包括在基底(15)上设置热控制阻挡层(17)并形成所述纳米结构体或纳米材料。所述方法，例如，可以用于通过使用含碳气体等离子的等离子增强化学气相沉积来形成碳纳米管。在形成所述碳纳米管的过程中，所述基底(15)的温度可以保持在低于350℃。
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公开(公告)号：CN111225749A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201880065058.0
申请日：2018-10-08
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： 本·波尔·詹森 , 费奥纳-梅雷亚德·麦克纳 , 威廉·约翰·克里斯蒂安·卢德兰
IPC分类号： B05D1/02 , C09D5/00 , C09D7/40 , C09D129/04 , G02B5/22 , F24S70/20 , C09D131/04
摘要： 涂覆基材的方法包括步骤：(i)提供在溶剂中的染料和粘合剂的悬浮液，其中染料与粘合剂的比例大于40wt％并且染料均匀分散在溶剂中；(ii)将所述悬浮液喷涂到基材上，其中大部分溶剂在喷涂步骤中蒸发，以在基材上产生密度最高达0.75gcm-3的染料和粘合剂的涂层；和(iii)继续步骤(ii)，直至涂层厚度为至少30微米；其中，染料不包括任何碳纳米管。
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公开(公告)号：CN102448996A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080023031.9
申请日：2010-04-16
申请人： 萨里纳米系统有限公司
发明人： S·R·P·席尔瓦 , J·V·A·R·伊斯特法尼亚
CPC分类号： C08F2/48 , B05D1/62 , B05D3/067 , B05D2507/02 , C08F2/52 , C08F2/54 , C08J3/246 , C08J3/28 , C08J7/123 , C08J2323/10 , H01G4/145 , H01G4/18
摘要： 本发明公开了一种通过含碳气体(并非特指丙烯)的等离子体聚合制造高度交联的聚丙烯材料的方法，所述聚丙烯材料显示出较低的相对电容率、较高的热稳定性和增强的机械性质，所述方法和材料适合的应用不限于微芯片制造中的夹层电介质沉积。
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