发明公开
CN102292287A 提供用于形成碳纳米材料的气体
无效 - 撤回
- 专利标题： 提供用于形成碳纳米材料的气体
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申请号： CN201080005241.5申请日： 2010-01-28
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公开(公告)号： CN102292287A公开(公告)日： 2011-12-21
- 发明人: 本·保罗·延森 , 陈冠佑
- 申请人： 萨里纳米系统有限公司
- 申请人地址： 英国东萨塞克斯郡
- 专利权人： 萨里纳米系统有限公司
- 当前专利权人： 萨里纳米系统有限公司
- 当前专利权人地址： 英国东萨塞克斯郡
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 丁香兰; 庞东成
- 优先权： 0901409.3 2009.01.28 GB
- 国际申请： PCT/GB2010/000130 2010.01.28
- 国际公布： WO2010/086600 EN 2010.08.05
- 进入国家日期： 2011-07-22
- 主分类号： C01B31/02
- IPC分类号： C01B31/02 ; C23C16/26 ; C23C16/44 ; B01D53/04 ; C30B29/60
摘要：
在用于形成碳纳米材料的化学气相沉积(CVD)过程中，乙炔气体供给物(10)由过滤器(12)过滤以除去挥发性烃气体，随后该乙炔气体被供应至质量流量控制器(14)。所述质量流量控制器(14)可使经过滤的所述乙炔气体与所述挥发性烃气体供给物混合，以使气体混合物含有选定比例的所述挥发性烃气体。所述过滤器(12)通过使所述乙炔气体经过活性炭来进行过滤。
