研磨剂组合物
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113444455B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202110303581.6

    申请日:2021-03-22

    Abstract: 本发明提供一种研磨剂组合物,其中,在氧化物单晶材料基板的研磨中,能够抑制研磨时的载体鸣音,并且实现研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一种研磨剂组合物,其用于对钽酸锂单晶材料或铌酸锂单晶材料进行研磨加工,上述研磨剂组合物含有二氧化硅颗粒、水溶性高分子化合物和水,二氧化硅颗粒包含:平均粒径为10~60nm的小粒径二氧化硅颗粒以及平均粒径为70~200nm的大粒径二氧化硅颗粒,小粒径二氧化硅颗粒的质量相对于小粒径二氧化硅颗粒和大粒径二氧化硅颗粒的总计质量的比例为50~95质量%,水溶性高分子化合物由含有源自不饱和酰胺的结构单元的均聚物或共聚物构成。

    氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物和使用了氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物的研磨方法

    公开(公告)号:CN116615306A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202180079560.9

    申请日:2021-11-02

    Inventor: 祖父江智之

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种具有高研磨速度、能够作为氧化铈系研磨剂的代替来研磨氟磷酸盐玻璃的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物。氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物含有二氧化硅、水溶性高分子化合物、酸和/或其盐以及水,pH(25℃)的值为1.0~9.0的范围。进而,上述二氧化硅为胶体二氧化硅,平均粒径(D50)为10nm~200nm的范围,另外,作为水溶性高分子化合物,可以使用多糖类、和/或具有来自不饱和酰胺的结构单元的聚合物。

    研磨剂组合物
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113493652A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110320824.7

    申请日:2021-03-25

    Abstract: 本发明提供研磨剂组合物,其在氧化物单晶材料基板的研磨中,能够抑制研磨时的载体鸣音,并且实现研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一种研磨剂组合物,其用于对钽酸锂单晶材料或铌酸锂单晶材料进行研磨加工,上述研磨剂组合物含有二氧化硅颗粒、水溶性高分子化合物和水,水溶性高分子化合物为至少将具有羧酸基的单体和具有磺酸基的单体作为必要单体的共聚物,源自具有羧酸基的单体的结构单元与源自具有磺酸基的单体的单元的摩尔比为95:5~5:95的范围,水溶性高分子化合物的重均分子量为1000~5000000。

    研磨剂组合物
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113493652B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202110320824.7

    申请日:2021-03-25

    Abstract: 本发明提供研磨剂组合物,其在氧化物单晶材料基板的研磨中,能够抑制研磨时的载体鸣音,并且实现研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一种研磨剂组合物,其用于对钽酸锂单晶材料或铌酸锂单晶材料进行研磨加工,上述研磨剂组合物含有二氧化硅颗粒、水溶性高分子化合物和水,水溶性高分子化合物为至少将具有羧酸基的单体和具有磺酸基的单体作为必要单体的共聚物,源自具有羧酸基的单体的结构单元与源自具有磺酸基的单体的单元的摩尔比为95:5~5:95的范围,水溶性高分子化合物的重均分子量为1000~5000000。

    研磨剂组合物
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113444454B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202110303520.X

    申请日:2021-03-22

    Abstract: 本发明提供一种研磨剂组合物,其中,在氧化物单晶材料基板的研磨中,抑制研磨时的载体鸣音并且能够实现研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一种研磨剂组合物,其用于对钽酸锂单晶材料或铌酸锂单晶材料进行研磨加工,上述研磨剂组合物含有二氧化硅颗粒、水溶性高分子化合物和水,二氧化硅颗粒包含平均粒径为10~60nm的小粒径二氧化硅颗粒和平均粒径为70~200nm的大粒径二氧化硅颗粒,小粒径二氧化硅颗粒的质量相对于小粒径二氧化硅颗粒和大粒径二氧化硅颗粒的总计质量的比例为50~95质量%,水溶性高分子化合物由多糖类构成。

    研磨剂组合物以及使用研磨剂组合物的研磨方法

    公开(公告)号:CN116323842A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202180059750.4

    申请日:2021-07-09

    Abstract: 本发明提供一种研磨剂组合物,其能够实现研磨速度等镜面研磨加工的迅速化,并且提升镜面研磨后的半导体晶片的晶片表面的平滑性和平坦性,能够进行高加工精度的镜面精加工,并且保存稳定性优异。研磨剂组合物是对包含III‑V族化合物作为构成成分的研磨对象物进行研磨加工的组合物,其具备胶体二氧化硅(colloidal silica)、氧化剂、氧化促进剂,用于促进利用氧化剂的研磨对象物的表面的氧化反应;稳定剂,其用于控制利用氧化促进剂的研磨对象物的表面的氧化反应的促进作用;和水。

    研磨剂组合物
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113444455A

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202110303581.6

    申请日:2021-03-22

    Abstract: 本发明提供一种研磨剂组合物,其中,在氧化物单晶材料基板的研磨中,能够抑制研磨时的载体鸣音,并且实现研磨后的研磨表面的平坦性的提高和研磨速度的提高。一种研磨剂组合物,其用于对钽酸锂单晶材料或铌酸锂单晶材料进行研磨加工,上述研磨剂组合物含有二氧化硅颗粒、水溶性高分子化合物和水,二氧化硅颗粒包含:平均粒径为10~60nm的小粒径二氧化硅颗粒以及平均粒径为70~200nm的大粒径二氧化硅颗粒,小粒径二氧化硅颗粒的质量相对于小粒径二氧化硅颗粒和大粒径二氧化硅颗粒的总计质量的比例为50~95质量%,水溶性高分子化合物由含有源自不饱和酰胺的结构单元的均聚物或共聚物构成。

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