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公开(公告)号：CN116615306A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202180079560.9
申请日：2021-11-02
Applicant: 山口精研工业株式会社
Inventor： 祖父江智之
IPC: B24B37/00
Abstract: 本发明的课题在于提供一种具有高研磨速度、能够作为氧化铈系研磨剂的代替来研磨氟磷酸盐玻璃的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物。氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物含有二氧化硅、水溶性高分子化合物、酸和/或其盐以及水，pH(25℃)的值为1.0～9.0的范围。进而，上述二氧化硅为胶体二氧化硅，平均粒径(D50)为10nm～200nm的范围，另外，作为水溶性高分子化合物，可以使用多糖类、和/或具有来自不饱和酰胺的结构单元的聚合物。
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