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公开(公告)号：CN106462049B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201580012027.5
申请日：2015-05-04
申请人： 以色列商奥宝科技股份有限公司
摘要： 一种光学装置包含一固持一工件的架座。一由复数个光学头形成的阵列将各自辐射图案投射至该工件上。一校正总成撷取该等各自图案的影像。一上面安装有该校正总成的运动总成在该等光学头的该阵列与该架座间的复数个不同位置之间输送该校正总成，以在各该不同位置处对一由该等光学头其中的一不同者投射的各自图案进行拦截及成像。一处理器处理由该校正总成在该等不同位置处撷取的该等影像，以监视该装置的运作。
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公开(公告)号：CN110312374A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910207892.5
申请日：2019-03-19
申请人： 奥宝科技股份有限公司
发明人： 马纳许·姚海
摘要： 一种用于从具有特定形貌的目标区移除碎屑的碎屑移除系统，其包括第一气体吹送装置及第二气体吹送装置，所述第一气体吹送装置及所述第二气体吹送装置相对于彼此设置在固定位置中且成角度并且适于沿着目标衬底的表面吹送气体，以逐出设置在所述表面上的碎屑。第一气体吹送装置及第二气体吹送装置分别适于在第一气体流动方向及第二气体流动方向上吹送气体，且可为空气刀。碎屑移除系统进一步包括抽吸装置，所述抽吸装置相对于第一气体吹送装置及第二气体吹送装置设置在固定位置中且适于收集被逐出的碎屑。控制电路系统适于依据碎屑相对于衬底的目标区的特定形貌的位置而操作第一气体吹送装置、第二气体吹送装置或两个气体吹送装置。
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公开(公告)号：CN107867098A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201710889116.9
申请日：2017-09-27
申请人： 奥宝科技股份有限公司
CPC分类号： H01L21/02266 , B05D1/286 , B05D3/06 , B41J2/005 , H01L21/683 , H05K3/046 , H05K3/305 , H05K3/321 , H05K3/3484 , H05K2203/0528 , H05K2203/107 , B41M3/06 , B41J2/01 , B41J3/407 , B41M5/0047
摘要： 一种用于设置材料的方法包括将包含供体材料的供体膜定位在距受体衬底预定义距离处，所述供体膜面朝所述受体衬底。引导激光辐射的一个或多个脉冲照射在所述供体膜上的给定位置处，以诱发由所述供体材料制成的突出部的形成。在所述突出部仍接触所述供体膜时，所述突出部的远尖端触及所述受体衬底并设置在所述受体衬底上。通过增加所述供体膜与所述受体衬底之间的间隔以将所述突出部的所述远尖端从所述供体膜脱离，而在所述受体衬底上形成所述供体材料的斑点。
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公开(公告)号：CN101910787A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200980101728.0
申请日：2009-01-11
申请人： 以色列商奥宝科技股份有限公司
IPC分类号： G01C3/08
CPC分类号： B23K26/04 , B23K26/0676
摘要： 本发明是关于一种光学系统，包含：多个选择性引导面镜(38)，分别被设置用以引导激光束(41)至场域内的可选择的位置；多个面镜方位传感器(45)，用以感测所述多个选择性引导面镜的方位并提供多个面镜方位输出；以及自动校准子系统(47)，用以自动校准所述多个选择性引导面镜，所述自动校准子系统包含：标靶(40)，被用以在所述标靶上提供由激光束照射的光学可见指示，所述标靶是可复写的(rewritable)并具有多个光学可见的基准标记(fiducial marking)(54，56)；标靶定位器(42)，用以选择性定位所述标靶；光学传感器(44)，用以在所述激光束照射在所述标靶上之后查看所述标靶并提供多个激光束照射输出；以及相关器(correlator)(36)，用以提供校准输出。
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公开(公告)号：CN101501516A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200680037753.3
申请日：2006-10-15
申请人： 以色列商奥宝科技股份有限公司
IPC分类号： G01R31/302
CPC分类号： G09G3/006 , G01R31/311 , G09G3/3648 , G09G2300/08
摘要： 本发明提供一种用以测试一基板上的微电子组件的装置，包含：一扫描器，根据依序逐一扫描方式，利用一光束扫描设置在一平面显示器基板上的多个薄膜晶体管上，并根据依序逐一感应方式，在该多个薄膜晶体管中感应出一光电导通回应；一电流感应电路，是与该扫描器同步运作，用以测量关联于一晶体管的该光电导通回应的感应输出，并产生光电导通回应的输出值，该光电导通响应的输出值代表在该多个薄膜晶体管中依序逐一由该光束感应的一光电导通回应；以及一侦错装置，用以分析该电气响应输出值并纪录每一晶体管的特征。
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公开(公告)号：CN101153854A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710153935.3
申请日：2007-09-14
申请人： 以色列商奥宝科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/64 , G01N21/55
摘要： 本发明提供一种用于电路装置的光学检验系统，包含：光学检验功能，其提供在所检验电路装置上至少一区域的光学检验输出；算法检验功能，其提供所述至少一区域的算法检验输出，所述算法检验输出指示在所述至少一区域处存在可能的缺陷；显示器，其根据所述光学检验输出向操作员提供所述至少一区域的视觉感应显示；以及显示控制器，其可相应指示在所述至少一区域处未识别出一缺陷的所检测操作员行为、以及相应指示在所述至少一区域处存在可能缺陷的所述算法检验输出，以提供在所述所检测操作员行为与所述至少一区域的所述算法检验输出间存在不一致性的指示。
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公开(公告)号：CN110198395A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201910138615.3
申请日：2019-02-25
申请人： 奥宝科技股份有限公司
IPC分类号： H04N5/225 , H04N5/232 , G02B7/28 , H04N13/271
摘要： 一种用于自动聚焦的范围区别器，所述范围区别器包括：图像产生器，提供在各种物理深度处的场景的图像；深度区别器，将图像的在低于预定阈值的深度处的部分区分开，而无论所述部分的形状如何，并提供深度区别图像；以及焦距确定器，基于所述深度区别图像来确定焦距。
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公开(公告)号：CN106462049A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580012027.5
申请日：2015-05-04
申请人： 以色列商奥宝科技股份有限公司
摘要： 一种光学装置包含一固持一工件的架座。一由复数个光学头形成的阵列将各自辐射图案投射至该工件上。一校正总成撷取该等各自图案的影像。一上面安装有该校正总成的运动总成在该等光学头的该阵列与该架座间的复数个不同位置之间输送该校正总成，以在各该不同位置处对一由该等光学头其中的一不同者投射的各自图案进行拦截及成像。一处理器处理由该校正总成在该等不同位置处撷取的该等影像，以监视该装置的运作。
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公开(公告)号：CN105705671A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480054603.8
申请日：2014-10-07
申请人： 奥宝科技股份有限公司
IPC分类号： C23C14/28 , H01L21/268 , H05K3/12 , B23K26/08
摘要： 一种用于材料沉积的方法包括：提供透明供体衬底(56、60)，所述透明供体衬底具有相对的第一表面与第二表面以及位于所述第二表面上的多个供体膜(62、64)，所述供体膜分别包含不同的材料。将所述供体衬底靠近受体衬底(41)定位，使所述第二表面面朝所述受体衬底。引导激光辐射的脉冲穿过所述供体衬底的所述第一表面并照射在所述供体膜上，以诱发熔融的小滴从所述供体膜喷至所述受体衬底上，所述熔融的小滴含有所述不同材料的整体混合物。
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