公开(公告)号：CN105705671A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201480054603.8

申请日：2014-10-07

Applicant: 奥宝科技股份有限公司

Inventor： M·瑞欧 ,  Z·寇特勒

IPC: C23C14/28 ,  H01L21/268 ,  H05K3/12 ,  B23K26/08

Abstract: 一种用于材料沉积的方法包括：提供透明供体衬底(56、60)，所述透明供体衬底具有相对的第一表面与第二表面以及位于所述第二表面上的多个供体膜(62、64)，所述供体膜分别包含不同的材料。将所述供体衬底靠近受体衬底(41)定位，使所述第二表面面朝所述受体衬底。引导激光辐射的脉冲穿过所述供体衬底的所述第一表面并照射在所述供体膜上，以诱发熔融的小滴从所述供体膜喷至所述受体衬底上，所述熔融的小滴含有所述不同材料的整体混合物。

公开(公告)号：CN105705671B

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201480054603.8

申请日：2014-10-07

Applicant: 奥宝科技股份有限公司

Inventor： M·瑞欧 ,  Z·寇特勒

IPC: C23C14/28 ,  H01L21/268 ,  H05K3/12 ,  B23K26/08

Abstract: 一种用于材料沉积的方法包括：提供透明供体衬底(56、60)，所述透明供体衬底具有相对的第一表面与第二表面以及位于所述第二表面上的多个供体膜(62、64)，所述供体膜分别包含不同的材料。将所述供体衬底靠近受体衬底(41)定位，使所述第二表面面朝所述受体衬底。引导激光辐射的脉冲穿过所述供体衬底的所述第一表面并照射在所述供体膜上，以诱发熔融的小滴从所述供体膜喷至所述受体衬底上，所述熔融的小滴含有所述不同材料的整体混合物。