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公开(公告)号：CN104789942B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510024653.8
申请日：2015-01-19
申请人： 塞莱斯技术公司
发明人： E·沃克 , R·L·迪卡洛 , D·V·谢奈-卡特哈特
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/005 , B01B1/06 , B01D1/14 , B01J4/002 , B01J4/004 , B01J4/02 , C23C16/4407 , C23C16/45561 , Y10T137/0391 , Y10T137/2076
摘要： 本文公开了一种递送装置，其包括腔室、气体进口、气体出口、浸渍管和套筒，所述浸渍管包含在所述腔室中并且具有上部和下部，所述浸渍管的上部与所述气体进口流体连通，并且可操作以允许载气进入，所述浸渍管的下部延伸进入所述腔室，所述浸渍管的下部在出口端终止，所述套筒具有第一端和第二端，所述第一端与所述浸渍管的下部过盈配合，所述套筒在受到干扰时发生振动。
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公开(公告)号：CN107254674A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710442144.6
申请日：2013-07-17
申请人： 塞莱斯技术公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/52
CPC分类号： C23C16/45512 , B01F3/028 , B01F15/00331 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , C23C16/45561 , C23C16/52 , C30B25/14 , C30B25/165 , C30B29/40 , Y10T137/0318 , Y10T137/2509
摘要： 一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括液体前体化合物的输送装置。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流从所述输送装置排出之后和第二物流合并，形成第三物流，这样所述第三物流中液体前体化合物的蒸气露点低于将所述蒸气传输至一个或多个CVD反应器的导管装置的温度。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
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公开(公告)号：CN103572258B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201310300292.6
申请日：2013-07-17
申请人： 塞莱斯技术公司
IPC分类号： C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45512 , B01F3/028 , B01F15/00331 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , C23C16/45561 , C23C16/52 , C30B25/14 , C30B25/165 , C30B29/40 , Y10T137/0318 , Y10T137/2509
摘要： 一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括液体前体化合物的输送装置。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流从所述输送装置排出之后和第二物流合并，形成第三物流，这样所述第三物流中液体前体化合物的蒸气露点低于将所述蒸气传输至一个或多个CVD反应器的导管装置的温度。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
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公开(公告)号：CN103547894B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201280024752.0
申请日：2012-04-18
申请人： 塞莱斯技术公司
发明人： D·B·罗杰斯
CPC分类号： G05D7/0647 , G01F23/164 , G01G17/06 , Y10T137/0396 , Y10T137/6416 , Y10T137/7303 , Y10T137/7355 , Y10T137/8326
摘要： 液体质量测量和流体输送装置包括对其中的流体质量进行测量的容器。传感器与容器耦合，该传感器测量容器内的流体的质量，而不依赖于容器内的压强的变化。膜片传感器可位于容器的底部，从而用于表示圆筒内的流体质量的电信号由通过膜片之上的流体的质量导致的膜片的运动所产生。用于均衡容器内的压强与膜片的背侧的压强的压强均衡器允许不依赖于容器中的任何变化和压强而对质量进行测量。容器内的液体的质量中的液体能被准确测量，如此以使期望的液体质量可被输送以待将来使用。液体可被汽化并且被作为蒸汽输送。
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公开(公告)号：CN103547894A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201280024752.0
申请日：2012-04-18
申请人： 塞莱斯技术公司
发明人： D·B·罗杰斯
CPC分类号： G05D7/0647 , G01F23/164 , G01G17/06 , Y10T137/0396 , Y10T137/6416 , Y10T137/7303 , Y10T137/7355 , Y10T137/8326
摘要： 液体质量测量和流体输送装置包括对其中的流体质量进行测量的容器。传感器与容器耦合，该传感器测量容器内的流体的质量，而不依赖于容器内的压强的变化。膜片传感器可位于容器的底部，从而用于表示圆筒内的流体质量的电信号由通过膜片之上的流体的质量导致的膜片的运动所产生。用于均衡容器内的压强与膜片的背侧的压强的压强均衡器允许不依赖于容器中的任何变化和压强而对质量进行测量。容器内的液体的质量中的液体能被准确测量，如此以使期望的液体质量可被输送以待将来使用。液体可被汽化并且被作为蒸汽输送。
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