公开(公告)号：CN104789942B

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201510024653.8

申请日：2015-01-19

申请人： 塞莱斯技术公司

发明人： E·沃克 ,  R·L·迪卡洛 ,  D·V·谢奈-卡特哈特

IPC分类号： C23C16/455

CPC分类号： C23C16/4482 ,  B01B1/005 ,  B01B1/06 ,  B01D1/14 ,  B01J4/002 ,  B01J4/004 ,  B01J4/02 ,  C23C16/4407 ,  C23C16/45561 ,  Y10T137/0391 ,  Y10T137/2076

摘要： 本文公开了一种递送装置，其包括腔室、气体进口、气体出口、浸渍管和套筒，所述浸渍管包含在所述腔室中并且具有上部和下部，所述浸渍管的上部与所述气体进口流体连通，并且可操作以允许载气进入，所述浸渍管的下部延伸进入所述腔室，所述浸渍管的下部在出口端终止，所述套筒具有第一端和第二端，所述第一端与所述浸渍管的下部过盈配合，所述套筒在受到干扰时发生振动。