-
公开(公告)号：CN115966453A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211699795.0
申请日：2018-10-11
Applicant: 先进能源工业公司
Inventor： G·J·J·范兹尔
IPC: H01J37/32 , H03H7/40 , C23C16/513
Abstract: 在参考点处(例如，在发生器输出端处)具有有效源阻抗Zg的射频(RF)发生器包括参考输入端，并在所述参考点处，控制K(v+Zgi)的幅值以及相对于在参考输入端处接收到的信号的相位，其中v和i分别是参考点处的电压和在参考点处从发生器流出的电流，并且K是标量。发生器在传输功率时和在吸收功率时保持对K(v+Zgi)的控制。
-
公开(公告)号：CN115662868A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211425596.0
申请日：2018-07-05
Applicant: 先进能源工业公司
Inventor： G·J·J·范齐尔
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种发生器产生输出，例如输送的功率、电压、电流、正向功率等，其遵循预定的输出对时间的规定模式，其中，通过基于在过去的一个或多个重复周期中进行的测量来控制模式的各部分而以重复周期重复该模式。可变阻抗匹配网络可以控制呈现给射频发生器的阻抗，同时发生器产生的输出遵循规定输出对时间变化的模式，其中，通过基于在过去的一个或多个重复周期取得的测量结果控制所述模式的部分期间的匹配中的可变阻抗元件，以重复周期重复所述模式。
-
-
公开(公告)号：CN109844899A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780060510.X
申请日：2017-07-26
Applicant: 先进能源工业公司
Abstract: 公开了用于减少沉积在大面积基底(诸如玻璃，例如建筑玻璃)上的薄膜堆叠体中的龟裂的系统、方法和设备。一旦沉积了导体-绝缘体-导体系列的膜，就会发生龟裂，从而有效地形成电容器，并且在基底跨越多个沉积腔室的情况下，腔室之间的耦合可以导致有效的电容器电压击穿两个导体层之间的绝缘体层。通过将辅助导体层之一的沉积的AC电源的输出接地来减少(如果未消除)。接地是通过整流通道，诸如二极管或二极管的串，使得避免了AC电源的输出降至地电位以下。
-
公开(公告)号：CN108886345A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780018175.7
申请日：2017-01-29
Applicant: 先进能源工业公司
Inventor： G·万兹尔
CPC classification number: H01J37/32146 , H01J37/32183 , H02J9/00 , H02M3/155 , H03F3/189 , H03F3/20 , H03F2200/451
Abstract: 提供了一种生成受控过冲的射频(RF)发生器。一个实施例包括RF功率放大器以及包括主DC电源、辅DC电源、半桥电路和控制电路的直流(DC)电源。所述半桥电路在第一开关状态下使辅DC电源与主DC电源电串联连接，在第二开关状态下使辅DC电源与主DC电源电断开。所述控制电路在第一时间周期内将所述半桥电路置于第一开关状态下，在第二时间周期内将所述半桥电路置于第二开关状态下，从而贯穿第一时间周期在所述RF发生器生成的功率当中产生受控过冲。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103748972B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201280040741.1
申请日：2012-06-21
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H05H1/46 , C23C16/50 , C23C16/517 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/3266 , H01J37/32697 , H01J37/32862
Abstract: 本公开描述了用于经由远程等离子体源产生电离电磁场的系统、方法和装置，使得该场可控地穿过其中该场被衰减的场投射部分延伸到等离子体处理部分，其中该场被衰减，但仍然强到足以维持等离子体。等离子体具有低电压和RF能量，并可用于各种半导体和薄膜处理操作，该操作包括经由基团产生进行的室清洁、蚀刻和沉积。
-
公开(公告)号：CN104756238B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201380056068.5
申请日：2013-08-26
Applicant: 先进能源工业公司
IPC: H01L21/3065 , H05H1/24
CPC classification number: H01J37/32091 , H01J37/32146 , H01J37/32422 , H01J37/32706
Abstract: 公开了用于调节等离子体室内的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑部的系统、方法和设备。示范性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的定义的离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述定义的离子能量分布。
-
公开(公告)号：CN107396526A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710831581.7
申请日：2012-01-24
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H01J37/32541 , H01J37/32091 , H01J37/32183 , H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32568 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4675 , H05H1/03
Abstract: 本发明涉及一种静电远程等离子体源。本公开描述了用于向等离子体内电容耦合能量，从而点着并维持远程等离子体源内的等离子体的系统、方法和设备。通过至少部分包围第二电极或者至少部分被第二电极包围的第一电极提供所述功率。可以使所述第二电极接地或浮置。可以将所述第一和第二电介质部件布置为使所述电极之一或两者与所述等离子体隔开，由此使所述等离子体与所述电极之一或两者DC隔离。
-
公开(公告)号：CN105144850A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480023725.0
申请日：2014-02-25
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H01J37/3299 , H01J37/32935
Abstract: 本公开内容描述了针对连续波(CW)和脉冲功率传送两者的在点火时期期间经由提供增大的瞬时功率确保等离子体处理室中的等离子体的期望的点火的系统、方法和装置。系统、方法和装置可以应用于等离子体的初始点火以及在脉冲功率传送导致等离子体的周期性熄灭的情况下的等离子体的再点火。
-
公开(公告)号：CN104885349A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201380068716.9
申请日：2013-11-01
Applicant: 先进能源工业公司
CPC classification number: H01J37/32064 , H01J37/32027 , H01J37/32055 , H01J37/34 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/4682
Abstract: 本公开描述了一种非耗能缓冲器电路，所述非耗能缓冲器电路被配置为在负载的阻抗快速地上升之后升高施加到所述负载的电压。电压升高从而能够在由所述负载的阻抗上升导致的到所述负载的电力递送的降低之后引起更加快速的电流斜坡变化。尤其地，缓冲器能够包括单向开关、电压倍增器、以及电流限制器的组合。在一些情况下，这些部件能够分别是二极管、电压两倍器、以及电感器。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
105
records
(took 0.203 seconds)
