知搜-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

4723 条记录 (耗时 0.081 秒)

    数据检索
    3.
    发明公开
    数据检索

    公开(公告)号：CN118974716A

    公开(公告)日：2024-11-15

    申请号：CN202380031646.3

    申请日：2023-03-01

    申请人： ASML荷兰有限公司

    发明人： J·L·范吉南

    IPC分类号： G06F16/242

    摘要： 一种从存储多个数据集的至少一个数据存储器检取数据的方法，其中每个数据集具有表格数据结构，该方法包括：接收查询，该查询包括语义信息并且从数据存储器请求与语义信息相关联的数据；根据语义信息确定是否可以使用从多个数据集中的一个或多个候选数据集中选择和/或得出的数据来服务查询；如果多个候选数据集可以为查询服务，则使用成本函数来确定多个候选数据集中的至少一个候选数据集来服务查询，并且确定至少一个候选数据集中的每一者的一部分来服务查询；并且返回对查询的响应，该响应包括使用至少一个候选数据集中的每一者的一部分获得的数据。

    包括温度调节板的真空腔系统
    5.
    发明公开
    包括温度调节板的真空腔系统 审中-公开

    公开(公告)号：CN118922925A

    公开(公告)日：2024-11-08

    申请号：CN202380026812.0

    申请日：2023-02-10

    申请人： ASML荷兰有限公司

    发明人： 余东驰 ,  林峮立 ,  傅绍维 ,  林易辰 ,  范宏博

    IPC分类号： H01L21/67

    摘要： 一种真空腔系统包括：支撑结构，被配置为支撑待热稳定的物体；板，具有面向物体的第一表面，当物体被放置在支撑结构上时，该板被定位为使得第一表面位于距物体的预定距离内，该板与热传导源热耦合；以及腔，其包围支撑结构和板。

    用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法
    6.
    发明公开
    用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法 审中-公开

    公开(公告)号：CN118915395A

    公开(公告)日：2024-11-08

    申请号：CN202410943928.7

    申请日：2019-10-08

    申请人： ASML荷兰有限公司

    发明人： M·C·西蒙 ,  林晨希 ,  伍健一

    IPC分类号： G03F7/20

    摘要： 一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案(例如热点图案)；以及经由经训练的生成器模型(例如CNN)的模拟，基于输入图案生成特征图案，其中，输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。

    适用于粒子束装置的台架装置
    7.
    发明授权
    适用于粒子束装置的台架装置 有权

    公开(公告)号：CN113767446B

    公开(公告)日：2024-11-08

    申请号：CN202080027751.6

    申请日：2020-03-26

    申请人： ASML荷兰有限公司

    发明人： H·W·H·赛维特 ,  J-G·C·范德托恩 ,  R·范德威尔克 ,  A·E·库伊克

    IPC分类号： H01J37/20

    摘要： 粒子束装置包括导电物体(402)和载物台(404)，载物台被配置为支撑物体(414)。载物台包括台体和导电涂层(420)，导电涂层被提供在台体的表面的至少一部分上。导电物体被设置为与导电涂层邻近并且台体被提供有与导电涂层的边缘部分邻近的特征(502)。该特征被布置为使得当电压被施加到导电物体和导电涂层两者时，降低导电涂层的边缘部分的附近区域的电场强度。

    带电粒子装置和方法
    8.
    发明公开
    带电粒子装置和方法 审中-公开

    公开(公告)号：CN118901117A

    公开(公告)日：2024-11-05

    申请号：CN202380028776.1

    申请日：2023-02-27

    申请人： ASML荷兰有限公司

    发明人： M·J-J·维兰德

    IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/153

    摘要： 一种带电粒子设备将带电粒子束沿着束路径朝向样品位置投射。该设备包括：用于操纵束的带电粒子透镜组件、和控制器。透镜组件包括板，每个板具有用于使束路径通过的孔径阵列。板位于沿着束路径的不同板位置处。控制器控制带电粒子设备，使得束的带电粒子在沿着束路径的不同板位置处具有不同能量值。透镜组件包括校正器，该校正器包括被配置为彼此独立地在相应的孔径处执行像差校正的单独的校正器。校正器与位于如下这样的板位置处的板相关联，在这样的板位置处，能量值最小、邻近板的电场的强度最大、和/或能量值与邻近板的电场的强度之比最小。