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公开(公告)号：CN109478013B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201780043378.1
申请日：2017-06-23
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明提供一种方法，所述方法包括：获得规定光刻图案的布局的数据；获得所述布局的计算分析的多个性能指标，所述多个性能指标指示执行所述计算分析的相应部分的一台或更多台计算机过程的性能；使所述多个性能指标与在相应性能指标的测量期间处理的所述布局的多个部分相关联；以及基于使所述多个性能指标与在测量期间处理的所述布局的多个部分相关联的结果，产生三维或更高维显像，其中，显像维度中的至少一些维度指示所述布局的多个部分的相对位置，并且显像维度中的至少一些维度指示与相应部分相关联的性能指标。
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公开(公告)号：CN112740110A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201980062893.3
申请日：2019-09-20
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本文中所描述的是一种从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法，所述方法包括：获得(i)图案化过程的图案集合、(ii)具有第一特征和第二特征的搜索图案、和(iii)包括介于所述搜索图案的所述第一特征与所述第二特征之间的相对位置的第一搜索条件；和从所述图案集合确定满足与所述搜索图案的所述第一特征和所述第二特征相关联的所述第一搜索条件的候选图案的第一集合。
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公开(公告)号：CN118915395A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410943928.7
申请日：2019-10-08
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案(例如热点图案)；以及经由经训练的生成器模型(例如CNN)的模拟，基于输入图案生成特征图案，其中，输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。
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公开(公告)号：CN118605091A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410810951.9
申请日：2019-09-20
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , G06F30/398
摘要： 本文中所描述的是一种从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法，所述方法包括：获得(i)图案化过程的图案集合、(ii)具有第一特征和第二特征的搜索图案、和(iii)包括介于所述搜索图案的所述第一特征与所述第二特征之间的相对位置的第一搜索条件；和从所述图案集合确定满足与所述搜索图案的所述第一特征和所述第二特征相关联的所述第一搜索条件的候选图案的第一集合。
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公开(公告)号：CN109478013A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780043378.1
申请日：2017-06-23
申请人： ASML荷兰有限公司
摘要： 本发明提供一种方法，所述方法包括：获得规定光刻图案的布局的数据；获得所述布局的计算分析的多个性能指标，所述多个性能指标指示执行所述计算分析的相应部分的一台或更多台计算机过程的性能；使所述多个性能指标与在相应性能指标的测量期间处理的所述布局的多个部分相关联；以及基于使所述多个性能指标与在测量期间处理的所述布局的多个部分相关联的结果，产生三维或更高维显像，其中，显像维度中的至少一些维度指示所述布局的多个部分的相对位置，并且显像维度中的至少一些维度指示与相应部分相关联的性能指标。
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公开(公告)号：CN112889005B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN201980068610.6
申请日：2019-10-08
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案(例如热点图案)；以及经由经训练的生成器模型(例如CNN)的模拟，基于输入图案生成特征图案，其中，输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。
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公开(公告)号：CN112740110B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201980062893.3
申请日：2019-09-20
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本文中所描述的是一种从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法，所述方法包括：获得(i)图案化过程的图案集合、(ii)具有第一特征和第二特征的搜索图案、和(iii)包括介于所述搜索图案的所述第一特征与所述第二特征之间的相对位置的第一搜索条件；和从所述图案集合确定满足与所述搜索图案的所述第一特征和所述第二特征相关联的所述第一搜索条件的候选图案的第一集合。
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公开(公告)号：CN112889005A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201980068610.6
申请日：2019-10-08
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案(例如热点图案)；以及经由经训练的生成器模型(例如CNN)的模拟，基于输入图案生成特征图案，其中，输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。
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