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公开(公告)号：CN104760828B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201510026293.5
申请日：2011-12-08
申请人： 联达科技设备私人有限公司
IPC分类号： B65G51/03
CPC分类号： H05K13/02 , B65G47/1492 , B65G51/03
摘要： 基于真空的用于分离部件的系统包括了具有配置成携带部件的进给轨道的部件递送单元，和配置成从进给轨道接收部件的部件接收台。部件递送单元包括真空组合件，其中将所述真空组合件配置成在一组进给轨道部位处施加真空压或真空力以可靠地使前导进给轨道部件的运动停止并且至少使得进给轨道所携带的其他部件的运动减速，因而防止来自进给轨道的不希望或失控的部件输出，除非部件接收台相对于该进给轨道适宜地定位并且准备好接收下一个部件。真空压可以借助相对于不同进给轨道部位所安排的真空单元施加。在某些实施方案中，此类真空压可以相对于其他真空单元以独立或可配制方式施加至特定真空单元。
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公开(公告)号：CN106465569A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201480066713.6
申请日：2014-12-11
申请人： 联达科技设备私人有限公司
发明人： 金剑平
IPC分类号： H05K13/02
摘要： 用于卷带式机器的带卷轴转塔装置包含中心毂和从该中心毂径向延伸的多个臂。第一致动器可以共同旋转多个臂，使得一个臂朝向馈送位置旋转，同时其它臂离开该馈送位置旋转。一旦给定的臂驻留在馈送位置，第二致动器可以使由该臂承载的带卷轴自旋，使得承载元件的柔性线性载带可以被加载到由该臂承载的带卷轴上或从该带卷轴卸载。在带卷轴加载或卸载之后，第一致动器围绕第一旋转轴共同旋转多个臂以将下一个臂设置在馈送位置，使得柔性线性载带可以被加载到由该臂承载的下一个带卷轴上或从该带卷轴卸载。经设置离开馈送位置的臂可以使带卷轴从该臂解耦/移开，和/或接收新的带卷轴，同时对应于该馈送位置的带卷轴被自旋。
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公开(公告)号：CN101603926B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN200910141024.8
申请日：2009-05-11
申请人： 联达科技设备私人有限公司
发明人： 阿曼努拉·阿杰亚拉里 , 葛汉成 , 陈发齐 , 黎庆添
CPC分类号： G01N21/8806
摘要： 本发明公开了一个实时检测元件的系统，系统包括置于检测项目运输路径下方的棱镜结构，一个图像数据系统置于棱镜结构的下方，一个光组件提供检测元件多个侧面照明的第一光源和检测物品底部的照明第二光源。
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公开(公告)号：CN101853797B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201010004240.0
申请日：2010-01-13
申请人： 联达科技设备私人有限公司
发明人： 阿杰亚拉里·阿曼努拉 , 阿尔伯特·阿齐瓦密提 , 郭宏图
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G06T7/001 , G06T7/41 , G06T2207/10152 , G06T2207/20212 , G06T2207/30148 , H01L22/12
摘要： 一种用于晶片检测的方法和系统。系统包括光学检测头、晶片工作台、晶片堆栈、XY工作台和振动隔离器。光学检测头包括一些照明器、图像采集装置、物镜和其他光学元件。本系统和方法能够采集明场图像、暗场图像、3D图像和复查图像。采集的图像被转换为图像信号并传输至可编程的控制器中进行处理。检测在晶片移动的过程中进行。将采集的图像与参考图进行比较来发现晶片上的缺陷。本发明提供了一种用于生成优选参考图像的过程方法和一种优选的图片检测的过程方法。参考图的生成过程是自动进行的。
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公开(公告)号：CN104641461A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380045369.8
申请日：2013-09-02
申请人： 联达科技设备私人有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/681 , B25J11/0095 , B25J15/0616 , B25J15/0658 , B25J15/0666 , G01B11/27 , G01N21/9501 , G01N2201/025 , H01L21/67144 , H01L21/67706 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , Y10T29/49826
摘要： 一种多功能晶圆和膜片架操持系统包括晶圆台组件，其具有提供被构造为承载晶圆或膜片架的超平面晶圆台表面的晶圆台；以及下述中的至少一个：展平设备，其被构造为在与晶圆台表面垂直方向上将向下的力自动地施加到翘曲或非平面的晶圆的各部分；移位限制设备，其被构造为在所施加的负压停止并且经由晶圆台将正压施加到晶圆的下侧之后自动地约束或防止晶圆相对于晶圆台表面的非受控的横向运动；以及旋转错位补偿设备，其被构造为自动地补偿安装在膜片架上的晶圆的旋转错位。
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公开(公告)号：CN103972124A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410143477.5
申请日：2008-08-04
申请人： 联达科技设备私人有限公司
发明人： 阿曼努拉·阿杰亚拉里 , 京林 , 春林·卢克·曾
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/95607 , G01N21/9501
摘要： 本发明提供了一个检测半导体装置的系统。该系统包括了一个区域系统，从一个半导体晶圆选取多个区域。一个金模版系统，为每一个区域生成一个区域金模版，以使得一个晶片图象可以和多个区域的金模版相互对比。一个组金模版系统，从区域金模版中生成多个组金模版，以使得所述的晶片图象可以和多个组金模版中的金模版相互对比。
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公开(公告)号：CN104272449B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201380017817.3
申请日：2013-03-22
申请人： 联达科技设备私人有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/06
CPC分类号： H01L21/6838 , B25J15/0616 , H01L21/68707
摘要： 本发明公开了一种用于加工器件的端部处理器及其方法。该端部处理器包括与器械相配套的配套部分和用于支撑位于支撑表面的薄膜框架的支撑部分。支撑部分包括支撑底座部件，从支撑底座部件延伸的延伸部件，和支撑表面上的真空端口，以有助于支撑表面上的薄膜框架的配套。每个真空端口包括与至少一个真空源流体连通的至少一个真空开口。真空端口被配置为主要可维持最细长的轮廓和最强的吸力。
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公开(公告)号：CN106062509A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201480063423.6
申请日：2014-11-20
申请人： 联达科技设备私人有限公司
发明人： 阿曼努拉·阿杰亚拉里
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/95684 , G01N2021/8812 , G01N2201/062 , G01N2201/0634 , H01L22/12 , H04N5/2256
摘要： 本发明涉及一种部件检验过程，其包括定位部件（例如，半导体部件或其它的物体），使得部件侧壁沿对应于侧壁分束器的光学路径设置，所述分束器被配置成用于接收由一组侧壁照明器提供的侧壁照明，以及朝着部件侧壁传递穿过其中的该侧壁照明，并且传递到部件侧壁。入射到部件侧壁的侧壁照明从部件侧壁朝着侧壁分束器被反射回，该侧壁分束器沿对应于用于侧壁图像捕捉的图像捕捉设备的光学路径反射或重新定向该反射的侧壁照明，从而允许部件侧壁检验。侧壁照明器和侧壁分束器可形成包括明视野照明器、暗视野照明器以及图像捕捉分束器的五个侧面检验装置的部分，使得五个侧面检验装置可被配置成用于以选择性的/可选择的方式检验部件底表面和/或部件侧壁。
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公开(公告)号：CN102779775B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210151546.8
申请日：2012-05-14
申请人： 联达科技设备私人有限公司
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/67766 , H01L21/67778 , H01L21/6838
摘要： 一种用来将组件板（例如，膜框架）从组件板储存站传输至真空桌组合件的系统及方法。该系统包含数个组件板处理件（例如，两个组件板处理件）、以及拾取及放置机构或臂件。该组件板处理件将该组件板从该储存站传输至该拾取及放置机构。该系统包含对准模块或结构，当该组件板耦接至该组件板处理件或由该组件板处理件承载时，配置该对准模块或结构以促进或实现该组件板的空间对准。该对准模块可藉由该拾取及放置机构承载。在将该组件板从该组件板处理件传输至该拾取及放置机构之前，可实质上完成该组件板的空间对准。该拾取及放置机构包含一组真空（或吸引）组件或垫件，该真空组件或垫件使得从该组件板处理件拾取该组件板，且在该真空桌组合件处释放及拾取该组件板。
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公开(公告)号：CN104760828A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510026293.5
申请日：2011-12-08
申请人： 联达科技设备私人有限公司
IPC分类号： B65G51/03
CPC分类号： H05K13/02 , B65G47/1492 , B65G51/03
摘要： 基于真空的用于分离部件的系统包括了具有配置成携带部件的进给轨道的部件递送单元，和配置成从进给轨道接收部件的部件接收台。部件递送单元包括真空组合件，其中将所述真空组合件配置成在一组进给轨道部位处施加真空压或真空力以可靠地使前导进给轨道部件的运动停止并且至少使得进给轨道所携带的其他部件的运动减速，因而防止来自进给轨道的不希望或失控的部件输出，除非部件接收台相对于该进给轨道适宜地定位并且准备好接收下一个部件。真空压可以借助相对于不同进给轨道部位所安排的真空单元施加。在某些实施方案中，此类真空压可以相对于其他真空单元以独立或可配制方式施加至特定真空单元。
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