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公开(公告)号：CN103907206A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051795.8
申请日：2012-08-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/107 , H01L27/14 , H01L27/146 , H01L31/02
CPC classification number: H01L27/1446 , H01L27/1443 , H01L27/14605 , H01L28/20 , H01L31/02005 , H01L31/02322 , H01L31/107 , H01L2224/11
Abstract: 本发明的半导体光检测元件（10）将包含以盖革模式动作的多个雪崩光电二极管（APD）、相对于各雪崩光电二极管（APD）串联连接的灭弧电阻（R1）、及并联连接有灭弧电阻（R1）的信号线（TL）的光电二极管阵列（PDA）作为一个信道且具有多个信道。搭载基板（20）与各信道对应的多个电极（E9）配置于主面（20a）侧，并且处理来自各信道的输出信号的信号处理部（SP）配置于主面（20b）侧。在半导体基板（1N）中，在各信道形成有与信号线（TL）电连接的贯通电极（TE）。贯通电极（TE）与电极（E9）经由凸块电极（BE）而电连接。
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公开(公告)号：CN103547528A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201280023910.0
申请日：2012-04-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01B9/02051 , G01B9/02056 , G01J3/4535 , G01J3/4537 , G02B5/08 , G02B26/0833
Abstract: 光模块具备具有通过蚀刻硅区域（11）而形成的光透过性光学部件（12）的第1板状构件（10）、以及具有用于反射透过了光透过性光学部件（12）的光的光反射性光学部件（镜（21～24））的第2板状构件（20），第1和第2板状构件（10,20）相互接合，透过光透过性光学部件（12）的光的光路沿着第1板状构件（10）的部件形成面和第2板状构件（20）的主面。由此，实现了能够将光反射性光学部件与光透过性光学部件接近地配置且即使在与基板的特性相关的要求根据光学部件而相反的情况下也可以满足这些要求的光模块及其制造方法。
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公开(公告)号：CN102628711A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210091508.8
申请日：2008-06-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0291
Abstract: 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。
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公开(公告)号：CN101542248B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200880000506.5
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)中，光检测元件(4)具有使入射于本体部(2)的光通过的光通过开口(4b)。因此，能够防止光通过开口(4b)和光检测元件(4)的光检测部(4a)的相对的位置关系发生偏移。并且，在光通过开口(4b)，配置有对入射于本体部(2)的光进行导光的光学元件(7)。因此，应该入射于本体部(2)的光的一部分不被光通过开口(4b)的光入射侧缘部遮蔽，能够切实地对应该入射于本体部(2)的光进行导光。所以，依照该分光模块(1)，能够提高可靠性。
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公开(公告)号：CN101542251A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000509.9
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/0259 , G01J3/0291
Abstract: 本发明涉及一种分光器(1)，其具备：封装体(2)，其设有导光部(7)；分光模块(3)，其收容于封装体(2)内；以及支撑构件(29)，其配置于封装体(2)的内壁面上，用于支撑分光模块(3)。分光模块(3)具有使从导光部(7)入射的光透过的本体部(11)，和在本体部(11)的规定的面侧将透过本体部(11)的光分光的分光部(13)；且在分光部(13)与内壁面离开的状态下，分光模块(3)在规定的面被支撑构件(29)支撑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115657297A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211330346.9
申请日：2018-08-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够高精度地形成梁部的光学器件的制造方法。本发明的光学器件的制造方法包括：第1步骤，准备具有与基底、可动部和弹性支承部对应的部分的半导体基板(100)；第2步骤，在第1半导体层(101)的与绝缘层(103)相反侧的表面中与基底对应的区域形成第1抗蚀层(104)；第3步骤，通过将第1抗蚀层(104)用作掩模对第1半导体层进行蚀刻直至厚度方向上的中间部，而在第1半导体层形成凹部(105)；第4步骤，在凹部(105)的底面(105a)中与梁部对应的区域、凹部的侧面(105b)和第1半导体层的与绝缘层(103)相反侧的表面(101a)形成第2抗蚀层(106)；第5步骤，通过将第2抗蚀层(106)用作掩模对第1半导体层(101)进行蚀刻直至绝缘层(103)，而形成梁部(224)。
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公开(公告)号：CN114815223A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210538604.6
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。光学器件还具有设置于基体的电极垫，电极垫在以到达第2半导体层的方式在第1半导体层的一侧的表面形成的开口内，配置在第2半导体层的一侧的表面上。
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公开(公告)号：CN110799887B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN201880043521.1
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08 , G01B9/02015 , G01J3/45
Abstract: 光学组件(1A)包括包含可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)、分束器单元(3)、光入射部(4)、第1光检测器(6)、第2光源(7)、第2光检测器(8)、保持单元(130)、第1反射镜(51)、第2反射镜(52)和第3反射镜(53)，保持单元(130)以使得第1光检测器(6)、第2光检测器(8)和第2光源(7)朝向同一侧且按第1光检测器(6)、第2光检测器(8)、第2光源(7)的顺序排列的方式保持第1光检测器(6)、第2光检测器(8)和第2光源(7)，分束器单元(3)与第1光检测器(6)之间的光路的长度比分束器单元(3)与第2光检测器(8)之间的光路的长度短，且比分束器单元(3)与第2光源(7)之间的光路的长度短。
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公开(公告)号：CN110418994B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN201880017386.3
申请日：2018-03-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块包括：支承层(2A)、设在支承层(2A)上的器件层(3A)、安装在器件层(3A)的可动镜(5A)。器件层(3A)具有：可动镜(5A)贯通的安装区域(31A)、与安装区域(31A)连接的驱动区域(32A)。在支承层(2A)与器件层(3A)之间，形成有至少与安装区域(31A)以及驱动区域(32A)对应的空间(S1A)，可动镜(5A)的一部分位于空间(S1A)。
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公开(公告)号：CN110799884B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880042645.8
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置具备：弹性支撑部，其以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有多个第2梳齿。弹性支撑部具有沿着与第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒、及连接于扭力棒与可动部之间的非线性缓和弹簧。非线性缓和弹簧构成为，在可动部在第1方向移动的状态下，非线性缓和弹簧绕第2方向的变形量小于扭力棒绕第2方向的变形量，且与第1方向及第2方向垂直的第3方向上的非线性缓和弹簧的变形量大于第3方向上的扭力棒的变形量。第2梳齿电极沿着可动部的外缘配置。
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