-
公开(公告)号：CN105606215A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510551247.7
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)中，由于本体部(2)为板状，因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部(2)为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即，通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块(1)。如此，能够容易地大量生产分光模块(1)。
-
公开(公告)号：CN103424187A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310359016.7
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块（1）中，由于本体部（2）为板状，因而能够通过本体部（2）的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部（2）为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块（1）。即，通过对作为多个本体部（2）的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部（3）、衍射层（4）、反射层（6）以及光检测元件（7）设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块（1）。如此，能够容易地大量生产分光模块（1）。
-
公开(公告)号：CN101542250B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200880000508.4
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a)，以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有矩形环状的凸部(43)。
-
公开(公告)号：CN101542250A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000508.4
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a)，以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有矩形环状的凸部(43)。
-
公开(公告)号：CN101542247A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000504.6
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 在分光模块(1)中，光吸收层(6)通过图案化而一体成形，该光吸收层(6)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(6a)、以及使向光检测元件(4)的光检测部(4a)行进的光(L2)通过的光通过孔(6b)。因此，能够防止光通过孔(6a)和光通过孔(6b)的相对的位置关系发生偏移。并且，由于通过该光吸收层(6)来抑制杂散光的产生并吸收杂散光，因而能够抑制向光检测元件(4)的光检测部(4a)入射。所以，依照分光模块(1)，能够提高可靠性。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103424187B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201310359016.7
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块（1）中，由于本体部（2）为板状，因而能够通过本体部（2）的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部（2）为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块（1）。即，通过对作为多个本体部（2）的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部（3）、衍射层（4）、反射层（6）以及光检测元件（7）设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块（1）。如此，能够容易地大量生产分光模块（1）。
-
公开(公告)号：CN102628711B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210091508.8
申请日：2008-06-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0291
Abstract: 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。
-
公开(公告)号：CN102628711A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210091508.8
申请日：2008-06-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0291
Abstract: 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。
-
公开(公告)号：CN101542248B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200880000506.5
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)中，光检测元件(4)具有使入射于本体部(2)的光通过的光通过开口(4b)。因此，能够防止光通过开口(4b)和光检测元件(4)的光检测部(4a)的相对的位置关系发生偏移。并且，在光通过开口(4b)，配置有对入射于本体部(2)的光进行导光的光学元件(7)。因此，应该入射于本体部(2)的光的一部分不被光通过开口(4b)的光入射侧缘部遮蔽，能够切实地对应该入射于本体部(2)的光进行导光。所以，依照该分光模块(1)，能够提高可靠性。
-
公开(公告)号：CN101542249B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200880000507.X
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，光通过孔(42)的光入射开口(42a)的一部分被光透过板(16)覆盖。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
17
records
(took 0.024 seconds)
