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公开(公告)号：CN118805334A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202380025006.1
申请日：2023-03-08
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 木村哲也
IPC分类号： H03H9/145
摘要： 本发明抑制杂散并且抑制压电层的挠曲、压电层的破坏。弹性波装置具备压电层和IDT电极，压电层具有第1主面和第2主面，第2主面是第1主面的相反侧，并且相对于第1主面处于第1方向上，IDT电极具有：第1电极，具有在与第1方向交叉的第2方向上延伸的电极指；以及第2电极，具有在第2方向上延伸并且在与第2方向正交的第3方向上与第1电极的电极指对置的电极指。IDT电极包含在第3方向上连续地排列的多个第1组的电极指、在第3方向上连续地排列的多个第2组的电极指、以及在第3方向上连续地排列的多个第3组的电极指。第1组的电极指具有最大的第1宽度，第2组的电极指具有最小的第2宽度，第3组的电极指具有比第2宽度大的第3宽度。在第3方向上观察，按第3组的电极指、第2组的电极指、第1组的电极指、第2组的电极指、第3组的电极指的顺序排列。
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公开(公告)号：CN117529883A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202280042695.2
申请日：2022-06-16
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 木村哲也
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 本发明能够减小通带内的杂散。弹性波装置具备：支承基板，在第1方向上具有厚度；中间层，设置在支承基板之上；压电层，设置在中间层之上；和IDT电极，具有设置在压电层的第1方向上且在与第1方向交叉的第2方向上延伸的第1电极指、连接了第1电极指的第1汇流条电极、在与第2方向正交的第3方向上与第1电极指的任意者对置且在第2方向上延伸的第2电极指、和连接了第2电极指的第2汇流条电极。在中间层，在俯视时至少一部分与IDT电极重叠的位置有空间部，中间层的内侧壁的表面粗糙度(Ra)为0.0055μm以上。
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公开(公告)号：CN117529882A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202280042662.8
申请日：2022-06-09
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 木村哲也
IPC分类号： H03H9/145
摘要： 本发明能够抑制压电层产生过度地挠曲的部分。弹性波装置具备：支承基板构件，具备支承基板；压电层，设置在支承基板构件之上；空间部，与压电层的至少一部分重叠；和功能电极，设置在压电层之上。在支承构件，在俯视时至少一部分与功能电极重叠的位置有空间部，功能电极具有第1金属层和层叠于第1金属层的至少一部分的第2金属层，第2金属层的线膨胀系数小于第1金属层的线膨胀系数。
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公开(公告)号：CN117121380A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280025213.2
申请日：2022-03-30
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 本发明兼顾空间部的粘附的抑制和干燥时间的缩短。弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；以及多个谐振器，分别具有设置在压电层的第1方向上的功能电极。支承构件在第1方向上俯视时与谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有多个空间部，多个空间部包含第1空间部和在第1方向上俯视时面积比第1空间部大的第2空间部，在压电层设置有与第1空间部连通的第1贯通孔和与第2空间部连通的第2贯通孔，在第1方向上俯视时，第1贯通孔的面积比第2贯通孔大。
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公开(公告)号：CN116458061A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202180075647.9
申请日：2021-11-09
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 木村哲也
IPC分类号： H03H9/145
摘要： 提供一种滤波器装置，能够抑制杂散。滤波器装置(10)具备第1、第2弹性波谐振器。第1、第2弹性波谐振器具有：支承构件；压电层(17)，具有作为晶轴的X轴、Y轴及Z轴且包括Y切割的铌酸锂；以及IDT电极。IDT电极具有多个第1、第2电极指。在将压电层(17)的厚度设为d并将相邻的第1、第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在将连结了多个第1电极指的前端的假想线设为包络线时，在第1弹性波谐振器中，将包络线延伸的方向和X轴的方向所成的角的角度并且0°以外的角度设为第1倾斜角α1，在第2弹性波谐振器中，将包络线延伸的方向和X轴的方向所成的角的角度并且0°以外的角度设为第2倾斜角α2，此时，第1倾斜角α1的绝对值和第2倾斜角α2的绝对值不同。
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公开(公告)号：CN116438741A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180075929.9
申请日：2021-11-11
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的第1方向；以及IDT电极，其设置在所述压电层，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在第2方向上延伸，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，在所述第1方向上不与所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指重叠且与所述空洞部重叠的区域中，在所述空洞部内具有在第1方向上延伸的加强支柱。
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公开(公告)号：CN115298958A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202180021986.9
申请日：2021-03-17
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 提供一种弹性波装置，即便在推进了小型化的情况下，也能够提高Q值，能够降低弹性波谐振器中的杂散，且能够抑制滤波器特性中的杂散。弹性波装置具备包括铌酸锂或钽酸锂的压电层(2)及在与压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置且具有长度方向的多对电极，该弹性波装置利用厚度剪切一次模式的体波，或者在将压电层(2)的厚度设为d、将多对电极中相邻的电极间的中心间距离设为p时d/p为0.5以下，多对电极具有构成第一弹性波谐振器的至少一对第一电极和构成第二弹性波谐振器的至少一对第二电极，与第二弹性波谐振器中的第二电极的长度方向正交的方向相对于与第一弹性波谐振器中的第一电极的长度方向正交的方向成为超过0°且小于360°的角度。
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公开(公告)号：CN114467255A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066154.4
申请日：2020-09-25
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值的弹性波装置。弹性波装置(1)具备包含铌酸锂或者钽酸锂的压电层(2)、和在与压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置的第1电极(3)以及第2电极(4)，第1电极(3)以及所述第2电极(4)彼此为相邻的电极，在将压电层(2)的厚度设为d，将第1电极(3)和第2电极(4)的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。
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公开(公告)号：CN108028637B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201680055793.4
申请日：2016-07-25
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/145
摘要： 本发明提供一种具备声音反射层的弹性波装置，其中，能够降低特性劣化的可能性。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声音多层膜(3)；设置在声音多层膜(3)上的压电基板(4)；以及设置在压电基板(4)上的IDT电极(5)，声音多层膜(3)具有至少4层声阻抗层，该至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)和声阻抗比低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)高的至少一层高声阻抗层(3b、3d、3f)，还具备接合层(9)，该接合层(9)设置在从由压电基板(4)侧朝向支承基板(2)侧的第四层声阻抗层(3d)中起直到声音多层膜(3)与支承基板(2)的界面为止的任一位置。
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公开(公告)号：CN112470298A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H01L41/047 , B81B7/02 , H01L41/09 , H03H9/17
摘要： MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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