公开(公告)号：CN207198565U

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201720997294.9

申请日：2017-08-10

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 高健 ,  刘亚超 ,  陈新 ,  陈云 ,  汤晖 ,  张昱 ,  杨志军 ,  贺云波 ,  张凯

IPC: G05B13/04

Abstract: 本实用新型公开了一种自抗扰控制系统，包括采取预报补偿措施的跟踪微分器TD‑T、微分器、扩张状态观测器ESO和非线性误差反馈控制律NLSEF，微分器不包括采取预报补偿措施的微分器，其中：TD‑T的输入端与原始信号输出单元连接，输出端与NLSEF的第一输入端连接，用于接收原始信号，并从原始信号提取出跟踪信号；微分器的输入端与原始信号输出单元连接，输出端与NLSEF的第二输入端连接，用于接收原始信号，并从原始信号提取出微分信号。可见，本申请的自抗扰控制系统对跟踪信号进行相位补偿的同时还保证了微分信号的品质，从而进一步提高了自抗扰控制器的控制性能。

公开(公告)号：CN208189548U

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201820872388.8

申请日：2018-06-06

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 贺云波 ,  叶文涛 ,  陈新 ,  高健 ,  杨志军 ,  陈桪 ,  崔成强 ,  张凯 ,  陈云 ,  汤晖 ,  张昌 ,  何作雄

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开一种多设备间配合偏差的检测系统，包括安装于晶圆工作台的激光发射器和安装于机器人夹持端的误差显示器，误差显示器上设置有基准点，基准点与机器人夹持端的中心重合。本实用新型提供的检测系统，在晶圆工作台上可拆卸地设置有激光发射器，同时在晶圆搬运机器人机械手位置可替换地设置有误差显示器，应用时将激光发射器和误差显示器分别安装到晶圆工作台和搬运机器人上，激光发射器的光斑至误差显示器上，误差显示器显示激光点位置，可进一步调整搬运机器人和晶圆工作台相对位置的误差，保证了晶圆在晶圆工作台上的位置精准。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207542223U

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201721780591.4

申请日：2017-12-15

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 贺云波 ,  张昌 ,  陈新 ,  高健 ,  杨志军 ,  陈桪 ,  张凯 ,  陈云 ,  汤晖 ,  叶文涛 ,  何作雄

IPC: H01L21/68

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆盘定位装置，包括支撑架和用于定位晶圆盘的定位块，支撑架内侧定位面的横截面的中心为定位中心，定位面用于与校准装置定位贴合连接，在定位状态下定位中心与校准装置的中心重合；定位块设于支撑架的上端面，定位块至少有两个且每个定位块到定位中心的距离均相同。本实用新型公开的晶圆盘定位装置在进行校准之前，使晶圆盘和校准装置同心得放置在一起，减小了晶圆盘与校准装置的偏心距离，提高了校准前晶圆盘在校准装置上的定位精度，同时提高校准效率。