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公开(公告)号：CN102495460B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201110413581.8
申请日：2011-12-13
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光学器件技术领域，具体为一种全景成像镜头。该全景成像镜头由位于同一光轴上的全景环形透镜、后继透镜组、光阑和像面组成；其中，全景环形透镜材料采用透明介质，形状为绕中心光轴旋转对称的凸多面体，该凸多面体包括两个折射面和两个反射面；后继透镜组由一系列不同的透明介质的球面透镜组成；光阑位于全景环形透镜和后继透镜组之间；像面位于系统的最底端。本发明的全景成像镜头具有分辨率高、径向畸变小、进行图像还原后不失真等优点。其结构简单，易加工，成本低。把该全景镜头安装在照相机前面，即可用照相机拍摄出简单的全景图像。本发明可用于管道检测、医用内窥镜观察、视频监控等领域。
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公开(公告)号：CN103412977A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310293470.7
申请日：2013-07-12
Applicant: 复旦大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明属于材料科学技术领域，具体涉及一种晶圆级电子封装器件焊点进一步破坏可能性的评估方法。本发明基于焊点已经产生了初始破坏的基础上，对破坏进一步恶化的可能性的预测，其步骤为：获取电子封装器件各个组成部分的性能材料参数，确定焊点的本构模型；根据所预测电子封装器件的结构建立二维有限元模型，并根据实际的服役条件添加边界条件和相应的载荷，进行有限元数值仿真；焊点的可靠性分析及预测，焊点初始破坏尖端为塑性应变区域采用J积分的数值处理方法。本发明方法简单，精度高，不需要进行大量真实的实验，可节约成本，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101477300B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200910045520.3
申请日：2009-01-19
Applicant: 复旦大学 , 上海现代先进超精密制造中心有限公司
Abstract: 本发明涉及光学成像系统领域，特别是一种应用于数字X光诊断系统的光学成像系统，其由一光阑、一梯形平面反光镜、大孔径平场投影物镜作为光学镜头和密封制冷式探测器组成，物与大孔径平场投影物镜间设置梯形平面反光镜，所述的大孔径平场投影物镜由负光焦度的第一透镜组和正光焦度的第二透镜组组成，该透镜组是与光阑及影像感应组件呈一线性排列以定义出一光程路径于物面与影像感应件之间，光学镜头的第一透镜组的焦距范围为1.6f＜-f21＜2.2f，第二透镜组的焦距范围为1.1f＜f22＜1.4f，2f＜d＜4f，其中，f为系统焦距，f21为第一透镜组焦距值，f22为第二透镜组焦距值，d为第一透镜组的后主面与第二透镜组的前主面的距离。用于X光医疗器械。
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公开(公告)号：CN113702039B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202110913783.2
申请日：2021-08-10
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种静压轴承主轴的回转精度测量系统及测量方法，该测量系统包括：标准球，标准球固定在一个静压轴承主轴上，实现随静压轴承主轴的同轴运动；光学测量系统；数据处理系统，静压轴承主轴旋转时，同时光学测量系统对标准球的外轮廓进行位移量采集，采集到的位移数据传到数据处理系统中，进行误差分离的计算。本发明通过激光外差干涉与共焦显微系统相结合的方式，对静压轴承主轴回转误差进行测量，并通过三点法实现误差分离，不仅通过高灵敏度的光学测量系统采集到更高精度的回转位移量，提高了静压轴承主轴回转测量精度。
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公开(公告)号：CN118936306A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410996820.4
申请日：2024-07-24
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光学检测技术领域，公开了一种大陡度光学元件表面面形的测量方法，包括（1）对被测工件调心调平；（2）标定初始位置；（3）将被测面母线分为多个区域；移动对应倾角的反射镜组，适配合适角度的反射镜到色散共焦传感器测量光路；传感器模组移动到轨迹中的预设位置，持续转动被测工件，使传感器模组实现整圈轮廓的测量并保存数据；（4）全部轮廓测量完成，输出测量结果，各个轴和传感器模组恢复到初始安全状态。本发明通过设计一组反射镜来扩展色散共焦传感器的测量范围，避免了传感器在测量过程中绕被测件轮廓母线法向的旋转，引入的误差源更少，降低了误差监测要求，同时本发明具有更简单的机械结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118424144A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410552494.8
申请日：2024-05-07
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于工装夹具技术领域，具体为一种用于高陡度曲面工件内轮廓测量的传感器夹持装置。本发明包括主轴转接板、连接轴、调节螺环、连接芯轴、电磁铁、传感器安装板、定位销以及导向螺钉以及锁紧螺钉等。主轴转接板、连接轴、调节螺环、连接芯轴、传感器安装板依次连接紧固；其中，主轴转接板、连接轴与传感器安装板形成曲柄结构，使得装置在测量过程中可有效避让待测工件，避免产生碰撞干涉，扩大传感器可达高陡度曲面测量区域；传感器安装板与连接芯轴间采用电磁吸附方式，针对不同类型工件的测量需求，可快速实现传感器模组的切换。本发明可实现高陡度曲面工件内轮廓大范围精密测量。
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公开(公告)号：CN114615427B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202210153767.2
申请日：2022-02-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于波前编码技术领域，具体为一种基于小样本的波前编码场景数据集增强方法。本发明方法包括：获取小样本数据集，使用普通相机和波前编码优化后的相机对相似场景成像进行数据获取；随机抽样定理估计点扩散函数，将图像划分为内点进行多次迭代获得点扩散函数；数据集增强，对获得的点扩散函数进行几何变换等数据增强的操作并在图像卷积后加噪。本发明可以解决自然条件下波前编码数据集获取工作量过大、对图像清晰度要求高的问题。
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公开(公告)号：CN116772747A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310715836.9
申请日：2023-06-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光学对准技术领域，具体为平面反射镜胶合过程中垂直度误差监控方法。本发明采用由两组自准直仪以及一个标准立方体棱镜所组成的光学系统，实现待胶合反射镜间垂直度误差的监测与控制；光学系统包括两个自准直仪、用于放置两个待胶合平面反射镜的机架、标准立方体棱镜、多维调整台、光学平台及数据分析系统；数据分析系统根据两个自准直仪的测量数据，分析立方体棱镜四个工作面间的平行度误差，用于平面反射镜垂直度测量的补偿，分析胶合过程中两个长条平面反射镜之间的垂直度误差实时数据，并及时进行胶合工艺过程的调整。本发明可实现胶合过程中平面反射镜间垂直度误差的高精度监测，提高平面反射镜胶合质量。
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公开(公告)号：CN113889436B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202111070720.1
申请日：2021-09-13
Applicant: 上海集成电路制造创新中心有限公司 , 复旦大学
IPC: H01L21/8234 , H01L27/088 , H01L29/423
Abstract: 本发明提供了一种环栅结构源漏的外延制备方法以及环栅结构，其中的方法包括：提供一衬底，在所述衬底上形成多个鳍片，沿沟道方向，相邻的两个鳍片之间具有凹槽；在所述衬底上淀积非晶硅层；对所述非晶硅层进行退火，以使所述非晶硅层结晶形成单晶硅层；以所述单晶硅层的表面为起始表面，外延生长锗硅材料，形成锗硅体层；在所述锗硅体层形成环栅结构的源/漏区；通过在凹槽淀积非晶硅层，然后将非晶硅层经过退火处理结晶成单晶硅层，以单晶硅层为起始表面生长锗硅体层的方法，能够制备出无位错高质量的硅锗体层，为沟道提供足够的应力，提升环栅器件的空穴迁移率，进而提高环栅器件的开启电流。
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公开(公告)号：CN116666220A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310543733.9
申请日：2023-05-15
Applicant: 复旦大学 , 上海集成电路制造创新中心有限公司
IPC: H01L21/336 , H01L29/78 , H01L21/306 , H01L21/3065
Abstract: 本发明提供了一种内侧墙沟槽的制备方法，包括：提供一待刻蚀对象；待刻蚀对象包括：衬底以及形成于衬底上的沿远离衬底方向上间隔堆叠的若干沟道层与若干牺牲层；对待刻蚀对象沿第一方向进行刻蚀，直至衬底的表层，以形成源漏空腔；同时对待刻蚀对象中的牺牲层沿第二方向进行刻蚀，以形成内侧墙空腔；其中，第一方向表征了若干沟道层与若干牺牲层堆叠的方向；第二方向垂直于第一方向；其中，对牺牲层沿第二方向进行刻蚀时，刻蚀速率为：0.05nm/s‑0.3nm/s。本发明提供的技术方案，解决了沟道层过久暴露在刻蚀环境中造成刻蚀损伤的问题，进而实现了器件电学性能的提升，同时避免了后续的源漏SiGe外延工艺可能产生的不利影响。
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