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公开(公告)号：CN112964197B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202110307642.6
申请日：2021-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置，涉及一种光学小球表面检测装置，目的是为了克服现有时域移相点衍射干涉测量方法对于环境振动引入的随机误差较为敏感，存在一定量的残余误差的问题，包括第一激光器、第二激光器、第一λ/2波片、第二λ/2波片、第三λ/2波片、直角反射镜、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、第二角锥棱镜、第三角锥棱镜、锁相移相器、平面反射镜、第一二向色镜、4f系统、第一显微物镜、针孔反射镜、D形反射镜、第一准直透镜、λ/4波片、第二显微物镜、被测微球、第二准直透镜、检偏器、第二二向色镜、第一单色滤光片、面阵相机、第二单色滤光片和随机移相量检测装置。
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公开(公告)号：CN112902833B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110240950.1
申请日：2021-03-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪，涉及光学检测空间物体表面三维信息的技术领域。本发明解决了时域移相式斐索干涉仪受环境振动等随机误差源影响严重的问题。本发明包括短相干激光器、第一λ/2波片、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、移相器、第二角锥棱镜、延迟平台、显微物镜、微小针孔、分光平片、第一准直镜、标准参考镜、第二准直镜、第一分光棱镜、4f系统、第三角锥棱镜、第四角锥棱镜、第二λ/2波片、分光棱镜组、波片组、检偏器和面阵相机；采用短相干光路结构结合时空混合移相方式，充分发挥时域移相和空域移相的优势，大幅度提高其在振动环境下的检测性能。本发明的主要用于采集被测样品的干涉图样。
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公开(公告)号：CN112946611A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110154331.0
申请日：2021-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S7/497 , G01S7/4861 , G01S17/08
Abstract: 基于相似三角插值采样的扫频非线性矫正测距方法,涉及扫频干涉测量(FSI)测量、FMCW激光雷达等技术领域,针对现有方法不能提供准确的重采样序列，扫频非线性消除不彻底、导致扫频干涉测量精度下降的问题，本申请用于消除由于扫频激光器的扫频非线性产生的频谱展宽效应，可有效提高测量频谱半高全宽的优良性质。尤其是对于测量极限距离时，相比于取近零点作为采样点，误差更小。同时，相似插值算法因使用矩阵乘法在信号处理速度上有所加快。该发明确保了绝对距离测量系统在进行远距离测量时测量结果的高精度、高实时性处理。
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公开(公告)号：CN105115419B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510423528.4
申请日：2015-07-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于机器视觉的自动跟踪监测系统及采用该系统实现的靶丸、充气管的装配监测方法，属于惯性约束聚变中(ICF)靶自动装配领域。解决了现有靶丸充气管装配过程中需熟练技术人员通过高倍率显微镜目视观测对准，导致装配精度低和装配效率低问题。它包括3个显微视觉系统、充气管微调辅助夹持件、反射镜、负压吸附头、靶丸微调整平台；负压吸附头放置在靶丸微调整平台上，负压吸附头用于吸附靶丸，一个显微视觉系统用于通过反射镜的反射对靶丸成像，监测靶丸上的靶孔的位置，剩余两个显微视觉系统成正交角度放置，反射镜与水平面成45度夹角，两路系统监测充气管的空间位置和姿态。它主要用于对靶丸、充气管的装配。
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公开(公告)号：CN105070323B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510423529.9
申请日：2015-07-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G21B1/19
CPC classification number: Y02E30/16
Abstract: ICF靶丸充气管装配的精密标定方法，属于惯性约束聚变中(ICF)靶自动装配领域。为了解决目前采用技术人员通过高倍率显微镜目视观测对准进行靶丸充气管的方式存在装配精度低的问题。所述方法采用三组显微视觉系统从三个不同角度监测靶丸的中心坐标，将获得的三个靶丸中心坐标进行统一，确定三组显微视觉系统的坐标系；利用确定坐标系的三组显微视觉系统监测靶丸孔的中心坐标和充气管的下端坐标；调整靶丸孔和充气管的位置，使靶丸孔的中心坐标和充气管的下端坐标与统一的靶丸中心坐标重合，实现精密对准，完成精密标定。本发明用于冷冻靶精密装配。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104330027B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410658169.6
申请日：2014-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于误差互补修正的移相干涉测量位相提取方法，本发明涉及基于误差互补修正的移相干涉测量位相提取方法。本发明的目的是为了解决(1)现有线性移相误差普遍存在于各类干涉系统中，影响位相信息提取精度；(2)现有线性误差超过5％时，位相提取误差急剧增大；(3)以及现有公式繁琐，运算量大，包含乘方开方运算，易出现虚数位相解和超大误差点的奇异位相解情况的问题。具体是按照以下步骤进行的：步骤一、传统五帧算法表达形式；步骤二、采用与传统五帧算法相同帧序的光强，代入构造的新五帧算法，得到新五帧算法的位相信息，构造的五帧算法形式；步骤三、构造了误差互补五帧算法。本发明应用于光学检测空间物体三维形貌的技术领域。
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公开(公告)号：CN106226775A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610560747.1
申请日：2016-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01S17/32 , G01S7/4814 , G01S17/50
Abstract: 一种基于扫频干涉仪的绝对距离动态测量系统及其测量方法，属于绝对距离动态测量领域。为了解决现有的测量系统在振动影响下测量精度低的问题。本发明的测量系统包括两个部分，一部分进行FSI绝对距离测量，另一部分利用单频激光器加上声光调制器构成额外的一个外差干涉仪对目标的位移进行实时监测，消除了测量路光程变化引入的多普勒效应带来的影响。所述测量方法为利用所述测量系统中1号探测器、2号探测器和平衡探测器探测到的信号，获得的绝对距离： 本发明利用2号探测器得到的信号用来校正声光调制器调制频率不稳定引入的误差。
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公开(公告)号：CN105954735A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610560748.6
申请日：2016-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于FMCW绝对距离测量技术中改进的高速色散失配校正方法，属于绝对距离测量领域。为了解决现有绝对距离测量高速色散失配校正方法测量效率低的问题。所述方法包括：采用光纤搭建辅助干涉仪，得到存在色散的辅助干涉仪信号，并将该信号作为数据采集卡采样时钟对测量路的信号进行采样，获得距离测量信号Im(m)；对距离测量信号Im(m)进行处理后，获得测量信号的距离谱；对测量信号Im(m)进行倍数为d的降采样，得到的测量信号DIm，距离谱为：当P(k)最大时，从Im(m)中获得对应的高速色散失配校正后的距离。
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公开(公告)号：CN103162616B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310071146.0
申请日：2013-03-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于微球表面形貌检测的瞬时移相干涉测量仪及采用该测量仪实现微球表面形貌的测量方法，涉及光学检测空间物体三维形貌领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。参考光经单模光纤传递给光纤准直器，准直后形成入射参考光束；测量光束经透射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束，入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束，依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束，四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。
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公开(公告)号：CN103151704B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201310050543.X
申请日：2013-02-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法，属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littman结构外腔式激光器的调谐连续性差、调谐速度慢、受环境震动影响大的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器、闪耀光栅以及平面反射镜；方法为使半导体激光器发射的激光束入射至液晶空间光调制器及声光调制器，声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅，闪耀光栅的衍射光中原路返回的光在激光器的内腔和外腔之间形成谐振；改变声光调制器加载的超声波频率，在液晶空间光调制器的折射率随声光调制器的一级衍射角变化的过程中，实现所述Littman外腔激光器的调谐。本发明适用于激光器的调谐。
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