基于线阵角谱照明的准共焦环形微结构测量装置与方法

    公开(公告)号:CN103411556A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310354894.X

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 基于线阵角谱照明的准共焦环形微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域;该装置设计有角谱扫描照明光路,从线阵LED发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后,平行照射到圆对称被测微结构样品表面;线阵LED的不同LED对应不同的角谱照明;该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像,然后利用共焦三维测量原理,判断每个像素的轴向坐标,最后拟合出被测微结构样品的三维形貌;这种设计使圆对称被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度,避免圆对称被测微结构样品自身表面轮廓的高低起伏导致的某些区域无法照明或者发生复杂反射,提高探测信号强度,降低背景噪声,提高测量精度。

    基于空间载波的干涉共焦测量装置与方法

    公开(公告)号:CN101520306A

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:CN200910071664.6

    申请日:2009-03-30

    Abstract: 基于空间载波的干涉共焦测量装置与方法属于表面形貌测量技术领域;该装置包括:激光器、准直聚焦物镜、针孔、准直扩束物镜、偏振分光镜、四分之一波片、分光镜、探测聚焦物镜、第二微驱动器、收集物镜;沿激光器主光轴方向的分光镜后面依次配置辅助参考镜和第一微驱动器,主参考镜配置在分光镜与探测聚焦物镜之间,在收集物镜的焦点处,放置CCD相机,主控计算机与CCD相机、第一微驱动器连接;采用二次共焦方法,建立位移相位关系,通过倾斜辅助参考镜,引入载波信号,获得载波干涉图,利用空间载波移相算法求解被测表面相位信息,最后拟合出表面形貌和三维轮廓,适用于微结构三维形貌的动态、快速、高精度测量。

Patent Agency Ranking