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公开(公告)号：CN214201317U
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202023154496.8
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种基于电磁阀自动进样的气相色谱装置，所述气相色谱装置包括：第一三通电磁阀，所述第一三通电磁阀包括第一端口K1、第二端口K2及第三端口K3；第二三通电磁阀，所述第二三通电磁阀包括第一端口K4、第二端口K5及第三端口K6；第三三通电磁阀，所述第三三通电磁阀包括第一端口K7、第二端口K8及第三端口K9；基于电磁阀进行有序的流路切换，可实现气相色谱装置的吹扫、采样、进样及检测等功能，且采用功耗低的微型电磁阀，可降低气相色谱装置的功耗，且基于微型电磁阀的体积小、重量轻的特性，还有利于气相色谱装置的微小型化，从而本实用新型有利于实现气相色谱装置的低功耗和微小型化的发展，以提高气相色谱装置的操作便捷性，扩大气相色谱装置的应用范围。
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公开(公告)号：CN214201316U
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202023154438.5
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种基于六通隔膜阀自动进样的气相色谱装置，六通隔膜阀基于高压载气驱动，功耗较低，且与之联用的微型电磁阀功耗较低，从而可整体降低气相色谱装置的功耗；六通隔膜阀体积小、重量轻，且与之联用的微型电磁阀体积小、重量轻，从而可整体降低气相色谱装置的体积及重量，实现气相色谱装置的微小型化；基于六通隔膜阀及电磁阀可实现气相色谱装置的自动吹扫、采样、进样及检测等功能，从而本实用新型有利于实现气相色谱装置的低功耗和微小型化，以提高气相色谱装置的操作便捷性，扩大气相色谱装置的应用范围。
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公开(公告)号：CN209797478U
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201920133417.3
申请日：2019-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种富集器芯片结构，包括：衬底，形成有凹槽结构；若干个微柱结构，相邻所述微柱结构基于开口嵌套设置；微流控端口，与所述凹槽结构相连通；及盖板，形成于所述衬底形成有所述凹槽结构的一侧，并至少覆盖所述凹槽结构。本实用新型通过在凹槽结构形成的腔体内设计嵌套设置的微柱结构阵列，可以获得大的表面积，并使得流场均匀分布，且延长气体流路路径，进而提高吸附材料的均匀性，提高吸附气体的富集率，另外，通过在腔体内表面构筑一层高比面积的介孔氧化硅，如纳米介孔氧化硅，可极大地增加腔体内的内表面积，从而进一步提高吸附材料的承载量，提高富集器芯片结构的富集率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207623298U
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201721816757.3
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种微色谱柱及微热导检测器的集成芯片，包括：双抛硅片，具有第二面及相对的第一面；图形化堆叠结构，包含交叉网状结构，其下方具有释放槽，图形化堆叠结构悬挂于释放槽中；盖基片，键合于第一面，盖基片具有微沟槽，图形化堆叠结构位于微沟槽内；微色谱柱的微沟道，形成于第二面中，微沟道内具有微柱阵列，微沟道与释放槽连通；底基片，键合于第二面，以形成包含微沟槽、释放槽及微沟道的微通道。本实用新型的微热导检测器和微色谱柱分别位于双抛硅片的第一面和第二面上，增加了设计的灵活性和工艺制作的可控性。本实用新型无需额外的连接部件，具有死体积低、灵敏度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206583873U
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201621343162.6
申请日：2016-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供一种薄膜型微热导检测器，该薄膜型微热导检测器具有三明治结构，从下而上依次是玻璃衬底、带微沟槽的硅片和带微沟道的玻璃；交叉网状结构制作于硅片表面并悬浮于微通道之中，其结构是由两层氧化硅/氮化硅薄膜所保护的热敏电阻；关键工艺包括通过深反应离子刻蚀（DRIE）工艺刻蚀硅片背面硅释放交叉网状结构，通过两次静电键合完成微热导检测器芯片的制作。本实用新型的热敏电阻的上下两层氧化硅/氮化硅薄膜不仅对其起到保护作用，并且由于结构的对称分布还能起到应力平衡的作用，减小了交叉网状结构的形变，大大提高了热敏电阻支撑结构的强度及稳定性；采用一步DRIE工艺释放交叉网状结构，使得微沟槽侧壁陡直，器件死体积小。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206460008U
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201720071546.5
申请日：2017-01-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本实用新型提供一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱，所述微色谱柱包括：微沟道；以及椭圆微柱阵列，周期性排列于所述微沟道内，椭圆微柱的长轴与待测组分的流动方向平行，短轴方向与待测组分的流动方向相垂直，所述椭圆微柱的长轴与短轴的长度比为2:1~4:1。本实用新型将微色谱柱的微柱设计为具有流线型结构的椭圆微柱，一方面可以使得微柱后所形成的“准零流速区”的区域大大缩小，以提高微色谱柱内固定相涂敷的均匀性；另一方面可以使得柱内的流速分布更均匀，以抑制色谱峰型的展宽。
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公开(公告)号：CN217747109U
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202221396546.X
申请日：2022-05-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01J20/286 , B01J20/30 , B01D53/02
Abstract: 本实用新型提供一种具有高深宽比的全硅微色谱柱，分别在第一硅衬底及第二硅衬底中形成对应的微沟道及微流控端口，而后通过硅硅键合工艺形成具有闭合微沟道及闭合微流控端口的复合硅基底，从而形成仅具有一种硅材质的全硅微色谱柱，有利于获得均匀的固定相，且可形成具有高深宽比的闭合微沟道，使待分析组分分子在固定相和流动相之间快速达到平衡，有利于提高微色谱柱的分离性能和柱容量。
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公开(公告)号：CN210825412U
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201920951256.9
申请日：2019-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型提供基于硅纳米线阵列的微富集器芯片，包括：衬底，且所述衬底中形成有凹槽结构；若干个微柱结构，形成于所述衬底上并位于所述凹槽结构中，所述微柱结构包括依次连接的第一延伸部、连接部以及第二延伸部，所述第一延伸部、所述连接部及所述第二延伸部围成一具有开口的空间区域，且相邻所述微柱结构基于所述开口嵌套设置；至少两个微流控端口，形成于所述衬底中，并与所述凹槽结构相连通；以及盖板，形成于所述衬底形成有所述凹槽结构的一侧，并至少覆盖所述凹槽结构。本实用新型可以获得大表面积，使得流场均匀分布，延长气体流路路径，而提高吸附材料的均匀性，提高吸附气体的富集率，提高基于硅纳米线阵列的微富集器芯片的富集率。
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公开(公告)号：CN208839602U
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201820970265.8
申请日：2018-06-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01J20/281 , B01J20/30 , B01D53/02
Abstract: 本实用新型提供一种双固定相气相色谱柱，包括：衬底，衬底中形成有微沟道，且微沟道具有第一端口及第二端口；封装盖板，键合于衬底表面，封装盖板封闭微沟道形成双固定相气相色谱柱的微通道；以及第一固定相及第二固定相，形成于微沟道的底部、侧壁及对应位于微沟道上方的封装盖板的内表面，且第一固定相靠近第一端口，第二固定相靠近第二端口。本实用新型提供的双固定相气相色谱柱及其制备方法，在同一气相色谱柱上实现了两种固定相的涂覆，使得一根气相色谱柱能很好地分离两类混合气体组分，增强了气相色谱柱的分离能力，同时减少了为了分离鉴别不同种类混合气体组分时更换气相色谱柱的频率，使用起来更为方便。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207623299U
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201721816759.2
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本实用新型提出了一种硅基微气相色谱柱，在硅微色谱柱的微沟道的内表面上设计并制备出一层细密的硅纳米线森林，纳米线线径一般分布在几纳米至几十纳米之间。这种细密的硅纳米线森林极大地增大了硅微色谱柱的表面积，从而有效地提高了硅微色谱柱的柱容量、分离度和柱效。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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