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公开(公告)号：CN100510626C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200510110656.X
申请日：2005-11-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层，两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面，电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面，环形线圈层设置在另一个绝缘材料层的外表面，电极层中心设置公共电极，从内向外依次设置扇形检测加矩电极、扇形旋转电极；下定子结构与上定子相同，也设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层；转子为外齿转子或者内含齿转子。本发明解决了上述背景技术中的问题，集成了大的悬浮转子陀螺精度高和MEMS微陀螺成本低、可批量化的特点。
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公开(公告)号：CN101216500A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032477.2
申请日：2008-01-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁反磁敏感质量微加速度计，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向及径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微加速度计的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101216310A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032474.9
申请日：2008-01-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向径向充磁反磁转子电荷驰豫旋转微陀螺，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，利用电荷驰豫，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动。同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微陀螺的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101109633A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710042301.0
申请日：2007-06-21
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电技术领域双模式反磁转子静电旋转微陀螺。本发明由上定子，转子和下定子构成，上定子倒扣在下定子上，上定子和下定子两个正面相对，从而形成空腔，转子则悬浮在此空腔内，所述上定子其基体正面设有上定子静电旋转电容极板组，背面设有上定子十字分隔结构和上定子永磁块，上定子十字分隔结构分隔成的四个区域上粘附着上定子永磁块；所述下定子其基体正面设有下定子静电旋转电容极板组和下定子侧向静电电极对，背面设有下定子十字分隔结构和下定子永磁块，下定子十字分隔结构分隔成的四个区域上粘附着下定子永磁块。本发明降低了转子的起支过程和起支控制难度，也就降低了工艺复杂度和控制难度，可同时检测多个自由度的加速度。
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公开(公告)号：CN1858552A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200610027406.4
申请日：2006-06-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机械技术领域的主动悬浮永磁环形转子异步感应微机械陀螺陀螺仪。本发明陀螺仪包括：上定子、环形转子、下定子，下定子上设有侧向电容板，下定子通过侧向电容板与上定子连接；这些侧向电容板与上定子和下定子一起围成一个环形空腔，环形转子设置在这个空腔中。本发明永磁环形转子采用环形且厚度大，相同转速下转动惯量大，该环形转子通过直流电悬浮稳定，电控简单，异步感应电机能便利地实现环形转子高速转动，电容设计方便了陀螺信号的提取。本发明有效克服了扁平环形转子结构、没有侧向稳定结构、侧向稳定性差的缺点，在作为方位陀螺使用时更有优势，同时采用MEMS技术制作工艺，成本低，在微小卫星、微机器人、虚拟现实等需要惯性技术的场合都可以使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1776366A
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200510110655.5
申请日：2005-11-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电技术领域的永磁介磁组合悬浮转子微陀螺，包括：上定子、支撑环、下定子、转子，上定子设置介磁材料层，在介磁材料层上表面设置绝缘支撑层，在绝缘支撑层外表面的中心设置公共电极，从内向外在绝缘支撑层外表面依次设置8个扇形检测加矩电极、18个扇形旋转电极，在介磁材料层下表面设置永磁材料层；下定子设置介磁材料层，在介磁材料层上设置绝缘支撑层，在绝缘支撑层上外表面的中心设置公共电极，从内向外在绝缘支撑层外表面依次设置8个扇形检测加矩电极、18个扇形旋转电极；转子为外齿型转子或者内含齿转子。本发明微功耗、尺寸小，使用微加工技术一体化制造，无需手工装配，大大提高了器件的可靠性，具有成本低、可批量化的特点。
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公开(公告)号：CN119688796A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411879785.4
申请日：2024-12-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种基于PT对称的三自由度弱耦合高灵敏MEMS传感器及其制备方法，包括双端固定音叉谐振器，其两两呈镜面对称，质量和大小相等；三个双端固定音叉谐振器位于同一直线上；可调机械弱耦合结构将相邻的双端固定音叉谐振器耦合连接；可动梳齿电容结构位于各个双端固定音叉谐振器的两侧；检测梳齿和驱动梳齿位于两个双端固定音叉谐振器对应的可动梳齿电容结构的外侧；两个可调阻尼电路通过引线与电极层，与两个双端固定音叉谐振器对应连接；玻璃作为传感器的基底。本发明为微机电系统的设计提供新原理和新思路，有利于谐振型MEMS传感器实现对微弱信号的超灵敏测量。
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公开(公告)号：CN118025512A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410221453.0
申请日：2024-02-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种六足四扑翼微型无尾飞爬一体机器人及其工作方法，包括扑翼机构、姿态控制机构、爬行机构和机身组件，扑翼机构在机身两侧各有一组，每组包含扑动机构和两个对称的柔性翅膀；姿态控制机构包含两个控制舵机与舵机连杆，用于分别改变两侧扑翼机构相对于机身的角度；爬行机构包含六条仿生腿与两个电机，每个电机分别驱动一侧的三条仿生腿；该机器人的工作方法包括空中飞行六自由度运动方法、地面爬行运动方法和飞爬运动转换方法。本发明可以在地面利用六足爬行或在空中利用四翅实现六自由度飞行，并且爬行飞行模式的转换快速灵活，具备体型小、重量轻、功耗低、续航时间长的特点；机动性好，运动方式切换灵活，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN117920082A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410142441.9
申请日：2024-02-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种聚合物空心微球及其制备方法，制备方法包括：搭建控温微流控平台，控温微流控平台包括温度控制机构和微流控芯片，微流控芯片包括由内至外同轴嵌套的第一管道、第二管道和第三管道，温度控制机构对流经微流控芯片的溶液进行温度控制；提供中间油相溶液、内水相溶液和外水相溶液，内水相溶液流入第一管道，中间油相溶液流入第二管道，外水相溶液流入第三管道，采用控温微流控平台制备水包油包水多重乳液；水包油包水多重乳液依次经旋转固化、清洗、老化、酒精置换和干燥处理，得到聚合物空心微球。本发明可以实现大直径、厚球壁空心微球的批量化制备，所制备的聚合物空心微球适用于惯性约束聚变实验。
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公开(公告)号：CN115810432A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211663038.8
申请日：2022-12-23
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种多层调制结构聚变调制靶的制备方法，包括：建立调制靶三维模型，所述调制靶三维模型包括基底层模型和设于所述基底层模型上的多块调制结构层模型，多块调制结构层模型依次排布且存在高度差；根据所述调制靶三维模型，打印所述基底层；根据所述调制靶三维模型，于所述基底层上按序依次打印多块调制结构层；经紫外固化和等离子体表面处理后，得到多层调制结构聚变调制靶。本发明基于3D打印制备分区、分层、多样化的调制结构，并进行等离子体粗糙化处理，具有调制图形精确可控、结构复杂可变、尺寸分辨率高、工艺简单高效和成本低等优点，有助于模拟靶丸表面的多种不均匀因素对聚变点火过程的影响。
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