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公开(公告)号：CN1712894A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN200510027717.6
申请日：2005-07-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的电磁驱动动力调谐挠性转子微陀螺，包括：陀螺转子、上定子、壳体、下定子、驱动转子、轴、两个宝石轴承。上定子、下定子设置在壳体的上部和下部，一个宝石轴承设置在上定子的中心孔处，一个宝石轴承设置在下定子的中心孔处，轴设置在两个宝石轴承上，驱动转子设置在轴上，且驱动转子位于上定子和下定子之间，陀螺转子设置在轴上，且位于上定子之上。本发明工作可靠性及抗振性得到提高，陀螺转子为金属带多孔圆盘，上、下定子为微加工一体化结构，因而，需手工装配的零件少，结构简单，可靠性得到提高。同时，本发明体积小，重量轻，便于实现，可作为方位陀螺使用，应用场合广。
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公开(公告)号：CN1622430A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410093086.3
申请日：2004-12-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K15/08
Abstract: 一种用于堆积微加工技术的电机定子绕组布线方法，步骤为：根据给定极对数p和相数m，计算绕组数w值；将2×p×m槽从1到2×p×m依次编号，划分成w个绕组区；将w个绕组区同相绕组配伍，分别从每个配伍绕组中依次选取尾槽号和首槽号将其相连，得到绕组布线联接图；对于每一个绕组区，将有连接线的单个槽号化成多个槽；将各绕组区内按步骤4的多个槽按照由内向外的用螺旋线联接，得到多匝螺旋线圈；从w个多匝螺旋线圈的起止点开始，垂直于螺旋线圈平面，朝一个方向设置等高度连接柱；按照绕组布线连接图，通过连接柱自由端设计引线，形成引线层，至此定子绕组布线完成。本发明促使电磁驱动器的尺寸小，可批量生产，从而降低成本。
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公开(公告)号：CN1558549A
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：CN200410015989.X
申请日：2004-01-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于微机电系统的单向步进反向自锁的电磁驱动器。属于微机电系统和安全保险装置领域。本发明包括：定子，硬磁软磁混合转子，机械储能器、转轴及外壳，其连接方式为：硬磁软磁混合转子安装在转轴上，转轴安装在定子的轴承上，在转轴上安装垫片，转轴和定子通过轴承相连，机械储能器与转轴相连，两个定子及机械储能器设置在电磁驱动器的外壳上，硬磁软磁混合转子极数与两个定子极数相同。本发明能方便地实现单向步进反向自锁，并且结构简单，输出力矩大，非常适合采用微机电系统加工技术，尺寸小，可批量生产，从而降低成本。
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公开(公告)号：CN100434866C
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200510027930.7
申请日：2005-07-21
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的高温超导稳悬永磁转子微陀螺，液氮杜瓦盖设置在液氮杜瓦之上，液氮设置在液氮杜瓦盖和液氮杜瓦围成的腔内，陀螺下壳体通过陀螺支撑柱设置在液氮杜瓦上。陀螺下定子、陀螺上定子均由高温超导体、氮化硅绝缘材料、定子驱动检测加矩层构成，高温超导体设置在陀螺上壳体之上，氮化硅绝缘材料设置在高温超导体之上，定子驱动检测加矩层设置在氮化硅绝缘材料之上。陀螺转子由两层转子驱动检测加矩层、两层圆柱氮化硅绝缘材料、圆柱永磁材料构成，两层圆柱氮化硅绝缘材料分别设置在圆柱永磁材料的两边，两层转子驱动检测加矩层设置在两个圆柱氮化硅绝缘材料外表面之上。本发明液氮使用少，实现方便，尺寸小，功耗低。
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公开(公告)号：CN100350215C
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200410018015.7
申请日：2004-04-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/24
Abstract: 一种利用静电和电荷驰豫工作的悬浮转子MEMS微陀螺，用于卫星、汽车等导航控制领域。本发明由两定子、周边结构、转子构成，两定子上下设置，并通过周边结构相连构成一个笼式结构，周边结构设置在转子周围，转子置于这个笼式结构的中间，周边结构由径向悬浮电极和径向检测电极对构成，径向检测电极对位于径向悬浮电极和之间。本发明结构简单，利用电荷驰豫，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动。通过在轴向设置轴向检测和轴向悬浮电极，径向检测电极和径向悬浮电极实现转子的稳定悬浮及位置检测。整个器件采用MEMS微加工技术制成，易于实施。具有尺寸小，重量轻，成本低，精度高，低功耗的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1858552A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200610027406.4
申请日：2006-06-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机械技术领域的主动悬浮永磁环形转子异步感应微机械陀螺陀螺仪。本发明陀螺仪包括：上定子、环形转子、下定子，下定子上设有侧向电容板，下定子通过侧向电容板与上定子连接；这些侧向电容板与上定子和下定子一起围成一个环形空腔，环形转子设置在这个空腔中。本发明永磁环形转子采用环形且厚度大，相同转速下转动惯量大，该环形转子通过直流电悬浮稳定，电控简单，异步感应电机能便利地实现环形转子高速转动，电容设计方便了陀螺信号的提取。本发明有效克服了扁平环形转子结构、没有侧向稳定结构、侧向稳定性差的缺点，在作为方位陀螺使用时更有优势，同时采用MEMS技术制作工艺，成本低，在微小卫星、微机器人、虚拟现实等需要惯性技术的场合都可以使用。
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公开(公告)号：CN100458366C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200610027406.4
申请日：2006-06-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机械技术领域的主动悬浮永磁环形转子异步感应微机械陀螺陀螺仪。本发明陀螺仪包括：上定子、环形转子、下定子，下定子上设有侧向电容板，下定子通过侧向电容板与上定子连接；这些侧向电容板与上定子和下定子一起围成一个环形空腔，环形转子设置在这个空腔中。本发明永磁环形转子采用环形且厚度大，相同转速下转动惯量大，该环形转子通过直流电悬浮稳定，电控简单，异步感应电机能便利地实现环形转子高速转动，电容设计方便了陀螺信号的提取。本发明有效克服了扁平环形转子结构、没有侧向稳定结构、侧向稳定性差的缺点，在作为方位陀螺使用时更有优势，同时采用MEMS技术制作工艺，成本低，在微小卫星、微机器人、虚拟现实等需要惯性技术的场合都可以使用。
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公开(公告)号：CN100392354C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200510027336.8
申请日：2005-06-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺，包括：上定子结构层、高磁导率软磁转子、下定子结构层。上定子结构层中，轴向吸悬电磁铁对和轴向吸悬电感检测元件布置在上定子基板的表面的同一圆周上，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在上定子基板的表面上；下定子结构层中，在下定子基板设置径向吸悬电磁铁对，在每个径向吸悬电磁铁对之间设置径向吸悬电感检测元件，径向吸悬电磁铁对和径向吸悬电感检测元件设置在一个圆周上，在此圆周内侧，设置轴向吸悬组件，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在下定子基板的中心区域上，线圈设置在带凸极的高磁导材料结构上。本发明特别适合多层微细加工工艺，具有尺寸小，功耗小，实现容易的特点。
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公开(公告)号：CN1710384A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200510027336.8
申请日：2005-06-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺，包括：上定子结构层、高磁导率软磁转子、下定子结构层。上定子结构层中，轴向吸悬电磁铁对和轴向吸悬电感检测元件布置在上定子基板的表面的同一圆周上，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在上定子基板的表面上；下定子结构层中，在下定子基板设置径向吸悬电磁铁对，在每个径向吸悬电磁铁对之间设置径向吸悬电感检测元件，径向吸悬电磁铁对和径向吸悬电感检测元件设置在一个圆周上，在此圆周内侧，设置轴向吸悬组件，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在下定子基板的中心区域上，线圈设置在带凸极的高磁导材料结构上。本发明特别适合多层微细加工工艺，具有尺寸小，功耗小，实现容易的特点。
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公开(公告)号：CN1570563A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN200410018015.7
申请日：2004-04-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/24
Abstract: 一种利用静电和电荷驰豫工作的悬浮转子MEMS微陀螺，用于卫星、汽车等导航控制领域。本发明由两定子、周边结构、转子构成，两定子上下设置，并通过周边结构相连构成一个笼式结构，周边结构设置在转子周围，转子置于这个笼式结构的中间，周边结构由径向悬浮电极和径向检测电极对构成，径向检测电极对位于径向悬浮电极和之间。本发明结构简单，利用电荷驰豫，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动。通过在轴向设置轴向检测和轴向悬浮电极，径向检测电极和径向悬浮电极实现转子的稳定悬浮及位置检测。整个器件采用MEMS微加工技术制成，易于实施。具有尺寸小，重量轻，成本低，精度高，低功耗的特点。
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