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公开(公告)号：CN102259825B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201110164720.8
申请日：2011-06-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室。腔室采用阳极键合技术，由Pyrex玻璃片-硅片-Pyrex玻璃片键合构成。Pyrex玻璃片作为腔室的窗口，硅片刻蚀或腐蚀出腔室空间。腔室中放入石蜡封装的碱金属铷或铯，同时充入适当压力的缓冲气体。石蜡作为碱金属的封装材料，实现活泼的碱金属与环境中的氧气、水蒸汽等氧化剂隔离；同时作为腔室的镀层材料，减缓了Rb或Cs原子与腔壁的碰撞。利用CO2激光器消融石蜡释放碱金属，在腔壁上形成均匀的石蜡镀层。本发明克服了现场制作方式产生的反应残留物所导致的长期漂移问题，并减缓了Rb或Cs原子与腔壁的碰撞，提高了碱金属原子共振线宽的对比度。
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公开(公告)号：CN104241035A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410441394.4
申请日：2014-09-01
Applicant: 清华大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明公开了属于微机械开关器件领域的一种双段式静电驱动微机械开关。所述静电驱动微机械开关由两组驱动梳齿和两组弹性结构组成，第一组驱动梳齿通过第一组弹性结构固定到锚区上，第二组驱动梳齿通过第二组弹性结构与第一组驱动梳齿相连；第一组驱动梳齿的动电极设有限位块，使其行程小于触点间隙。本发明具有两组不同的驱动梳齿，其驱动合力可以兼具不同驱动梳齿的驱动力的优点，对于两组弹性结构的弹性系数设计，可以使得系统的弹性系数在不同的驱动阶段可变，使得系统刚度可以同时兼顾到机械稳定性和驱动性能，同时实现较好的驱动性能与较高的结构稳定性。
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公开(公告)号：CN104198060A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410426020.5
申请日：2014-08-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种耐高温无线MEMS温度传感系统，包括：无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将温度数据作为最终传感信号；声表面波谐振装置，用于接收来自所述无线问询单元的电磁波信号，并将电磁波信号转换为声表面波后，再次将声表面波转换为新的电磁波信号，以及将新的电磁波信号反馈给无线问询单元；显示装置，用于接收并显示来自无线问询单元的温度测量结果。本系统具有无源、无线、耐高温、体积小、能够实时测量的优点。
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公开(公告)号：CN102241389B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201110155061.1
申请日：2011-06-10
Applicant: 清华大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种碱金属单质微封装方法，应用于碱金属原子蒸汽反应腔室技术领域，其特征在于含有制作蜡封成型模具，在底模上涂覆石蜡层，在石蜡层上用阳模或是激光加工出微盲孔阵列，用微量进样装置把液态碱金属单质注入到石蜡层上的微盲孔阵列中，在顶模的台阶层涂覆一层石蜡，把顶模与底模沿台阶槽对准并压合，将压合好的顶模和底模均匀加热使得顶模和底模结合处的石蜡层处于熔化或临界熔化状态，把扣合好的顶模与底模用氢氧化钾溶液腐蚀去硅，得到蜡包阵列，分离后得到包覆有微量碱金属单质的蜡包。所述碱金属是铷(Rb)或铯(Cs)。本发明具有避免了碱金属单质变质、减少原子蒸气腔室中杂质以及便于批量制作、工艺简单、易于与后级系统集成等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103000410A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210469926.6
申请日：2012-11-19
Applicant: 清华大学
Abstract: MEMS桥膜结构静电驱动继电器的制备方法属于MEMS器件的设计制造领域，其特征在于：（1）该继电器工艺采用绝缘体上硅SOI（Silicon On Insulator）与玻璃片（或硅片）键合的方式；（2）通过键合形成硅—玻璃或硅—硅整体结构；（3）SOI片的顶层硅厚度决定了桥膜结构中桥膜厚度。本继电器桥膜结构以体硅工艺为主，避免了表面硅工艺牺牲层释放不彻底的问题，从而有效提高桥膜结构质量，在MEMS继电器、开关、传感器等方面有重要应用。
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公开(公告)号：CN102259825A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201110164720.8
申请日：2011-06-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室。腔室采用阳极键合技术，由Pyrex玻璃片-硅片-Pyrex玻璃片键合构成。Pyrex玻璃片作为腔室的窗口，硅片刻蚀或腐蚀出腔室空间。腔室中放入石蜡封装的碱金属铷或铯，同时充入适当压力的缓冲气体。石蜡作为碱金属的封装材料，实现活泼的碱金属与环境中的氧气、水蒸汽等氧化剂隔离；同时作为腔室的镀层材料，减缓了Rb或Cs原子与腔壁的碰撞。利用CO2激光器消融石蜡释放碱金属，在腔壁上形成均匀的石蜡镀层。本发明克服了现场制作方式产生的反应残留物所导致的长期漂移问题，并减缓了Rb或Cs原子与腔壁的碰撞，提高了碱金属原子共振线宽的对比度。
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公开(公告)号：CN102241389A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110155061.1
申请日：2011-06-10
Applicant: 清华大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种碱金属单质微封装方法，应用于碱金属原子蒸汽反应腔室技术领域，其特征在于含有制作蜡封成型模具，在底模上涂覆石蜡层，在石蜡层上用阳模或是激光加工出微盲孔阵列，用微量进样装置把液态碱金属单质注入到石蜡层上的微盲孔阵列中，在顶模的台阶层涂覆一层石蜡，把顶模与底模沿台阶槽对准并压合，将压合好的顶模和底模均匀加热使得顶模和底模结合处的石蜡层处于熔化或临界熔化状态，把扣合好的顶模与底模用氢氧化钾溶液腐蚀去硅，得到蜡包阵列，分离后得到包覆有微量碱金属单质的蜡包。所述碱金属是铷(Rb)或铯(Cs)。本发明具有避免了碱金属单质变质、减少原子蒸气腔室中杂质以及便于批量制作、工艺简单、易于与后级系统集成等优点。
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公开(公告)号：CN101257016A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810103810.4
申请日：2008-04-11
Applicant: 清华大学
IPC: H01L27/00 , H01L27/115 , H01L21/02 , H01L21/82 , H01L21/8247 , H01G4/33 , H01G4/08
Abstract: 三维结构PZT电容及其MOCVD制备方法属于金属氧化物薄膜电容制备技术，其特征在于，所述PZT薄膜是由Pb0.5(Zr1－xTix)0.5O3薄膜制成的，其中X＝0.4，Pb为27％，Zr为55％，Ti为18％，由所述PZT薄膜作为介质层形成的三维结构PZT电容，其形态致密，均匀性大于95％，厚度为1500埃，相应的提出了制备时所用的DLI－MOCVD方法，以及各阶段控制参数和系统参数。
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公开(公告)号：CN101250691A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810103811.9
申请日：2008-04-11
Applicant: 清华大学
IPC: C23C16/40
Abstract: 控制MOCVD淀积PZT的先驱体溶液配置方法属于PZT薄膜制备技术领域，具体特征在于，以溶质摩尔浓度为0.14mol/L，四氢呋喃30ml，四－乙二醇二甲醚4ml，Pb为27％，Zr为55％，Ti为18％，制成总溶剂体积为0.034L的特定组分PZT的先驱体溶液。用此溶液制备的Pb0.5(Zr0.4Ti0.6)0.5O3组分PZT薄膜，衬底为1～8英寸，均匀性大于95％，厚度为1500埃。
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