-
公开(公告)号：CN111288900B
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202010238600.7
申请日：2020-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法，包括：建立遮挡孔径点扩散函数及边缘遮挡共焦成像模型；利用边缘遮挡共焦成像模型计算理想沟槽强度像，并进行归一化处理，获得理想沟槽归一化强度像；提取理想沟槽归一化强度像复振幅的轮廓线，找到沟槽边缘与归一化强度像交点的强度值INor；从实际测量三维数据中提取沟槽下表面轴向包络曲线，通过质心法确定沟槽下表面准焦位置及沟槽下表面准焦图像并归一化，得到实际测量的沟槽归一化强度像；寻找实际测量获得的沟槽归一化强度像中强度值为INor的坐标点，该点对应的横向位置即为实际测量中沟槽边缘位置，进而可以确定沟槽宽度，为反射式共焦显微镜提供一种更加准确且合理的沟槽宽度定值方法。
-
公开(公告)号：CN107861230B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201711238079.1
申请日：2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 变焦光镊共聚焦显微成像装置及方法，属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：共聚焦照明模块、共聚焦扫描模块、共聚焦探测模块、光镊聚焦模块和光镊轴向调焦模块。本发明在常规光镊显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置，实现共光路光镊共聚焦显微镜中光镊焦面的轴向移动，从而抓取悬浮样品实现轴向移动，完成共聚焦三维层析扫描成像。该发明具有装调简单，变焦与轴向层析速度快，观测成本低的优点。
-
公开(公告)号：CN106643557B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201710104131.8
申请日：2017-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于共焦显微原理的宏微结合面形测量装置及其测量方法，属于光学精密测量技术领域，本发明为解决现有微观结构的测量方法测量范围有限，无法进行大口径光学元件测量的问题。本发明包括共焦显微模块、直线运动平台模块和旋转运动平台模块，共焦显微三维测量模块包括第一激光器、第一分光棱镜、二维扫描振镜、扫描透镜、管镜、第一物镜、第一收集透镜和第一光电探测器；共焦光学探针模块包括第二激光器、第二分光棱镜、第二物镜、第二收集透镜和第二光电探测器；共焦光学探针模块用于完成宏观结构的三维测量，共焦显微三维测量模块用于完成微观结构的三维测量。本发明用于测量复杂面形的光学元件。
-
公开(公告)号：CN109443240A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811495500.1
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于中介层散射的激光三角光测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决激光三角光无法测量光滑透明的光学元件样品。首先，首先使待测样品成为镀膜样品，然后激光器发出激光经过光纤输出，经过透镜变为平行光束，平行光束被物镜聚焦到样品表面激发荧光，荧光被收集透镜汇聚到光电探测器，通过光斑在探测器上的偏移量从而测量被测样品的相对位置。本发明适用于大口径光滑透明光学元件面形测量。
-
公开(公告)号：CN106705881A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201611142561.0
申请日：2016-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 基于共聚焦显微原理的大口径光学元件母线轮廓测量方法，属于光学精密测量技术领域，解决了现有大口径光学元件的共聚焦轮廓测量方法的效率低的问题。本发明所述的方法基于大口径光学元件母线轮廓测量装置实现，其包括建立三维直角坐标系、使激光入射至母线的一端并形成聚焦光斑、使所述聚焦光斑沿着所述母线连续移动至所述母线的另一端、激光器自其初始位置沿Z轴方向以预设的位移朝向待测大口径光学元件做周期性的往返运动、复合轴向包络响应曲线生成模块根据光电探测器发来的电信号生成复合轴向包络响应曲线、动态复合运动模型模块根据该曲线计算得到待测大口径光学元件的母线轮廓的步骤。本发明所述方法用于测量大口径光学元件的母线轮廓。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106403843A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201611129169.2
申请日：2016-12-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法，涉及光学精密测量技术领域，为了解决现有测量大口径高曲率光学元件的方法检测难度大、测量速度慢、误差大的问题。激光器发出的激光经依次经过准直镜、光阑、二向色镜和物镜，物镜将激光聚焦至待测样品，待测样品表面激发出的荧光依次经物镜、二向色镜、滤光片转换器、汇聚透镜和针孔，最终入射至光电探测器。本发明适用于测量大口径高曲率光学元件及微结构光学元件。
-
公开(公告)号：CN103411558B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310355082.7
申请日：2013-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种角谱扫描照明阵列式共焦微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；该装置包括角谱扫描照明光路，从LED阵列发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后，平行照射到被测微结构样品表面；包括准共焦测量光路，成像部分采用针孔阵列配合图像传感器的结构；该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像，然后利用共焦三维测量原理，判断每个像素的轴向坐标，最后拟合出被测微结构样品的三维形貌；这种设计使被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度，提高探测信号强度，降低背景噪声，进而提高测量精度；同时实现高速测量。
-
-
公开(公告)号：CN103411560A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310355084.6
申请日：2013-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 角谱扫描照明荧光随动针孔探测微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域，主要涉及一种基于角谱扫描照明荧光随动针孔探测的微结构测量装置与方法；本发明设置有角谱扫描照明光路和荧光随动针孔探测光路，并提出一种三维微结构样品测量方法；本发明不仅可以避免现有会聚光束照明技术导致的某些区域无法照明或复杂反射的问题，有效解决探测信号强度衰减和背景噪声增强，造成的测量精度降低，甚至无法测量的问题。而且可以实现每个CCD相机像素前均有对应的荧光针孔存在，从而使得荧光随动针孔与CCD相机像素之间无需进行精密装调。
-
公开(公告)号：CN103411557A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310355081.2
申请日：2013-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 阵列照明的角谱扫描准共焦环形微结构测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；该装置设计有角谱扫描照明光路，从同心圆环光源发出的光束依次经过成像透镜、分光棱镜、显微物镜后，平行照射到圆对称被测微结构样品表面；同心圆环光源的不同圆环对应不同的角谱照明；该方法首先获得所有像素在不同角谱扫描照明下的层析图像，然后利用共焦三维测量原理，判断每个像素的轴向坐标，最后拟合出被测微结构样品的三维形貌；这种设计使圆对称被测微结构样品的每一部分都能找到对应的最佳照明角度，避免圆对称被测微结构样品自身表面轮廓的高低起伏导致的某些区域无法照明或者发生复杂反射，提高探测信号强度，降低背景噪声，提高测量精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
83
records
(took 0.06 seconds)
