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公开(公告)号：CN114371551B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202011096018.8
申请日：2020-10-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳加工技术领域，特别涉及一种微镜结构及其制备方法。衬底晶圆包括相对的第一表面和第二表面，所述驱动电极层设置在所述第一表面；所述衬底晶圆和所述驱动电极层上设有通孔；所述第一绝缘层设置在所述驱动电极层的表面和所述通孔的内壁上；所述支撑梁的第一端穿过所述通孔与所述固定层连接，所述支撑梁与所述通孔之间存在第一预设间隙；所述固定层设置在所述第二表面；所述驱动电极层中设有第一驱动电极、第二驱动电极和屏蔽电极；所述微镜设置在所述支撑梁的第二端上，所述微镜与所述第一绝缘层之间存在第二预设间隙。本申请实施例所述的微镜结构可以在减小单元尺寸的同时保证微镜的面内横向位移可与入射光波长相比拟。
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公开(公告)号：CN110627014B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN201910888537.9
申请日：2019-09-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法，所述方法包括：在衬底中形成侧壁保护层；形成纵向腐蚀引导层和侧向腐蚀引导层；淀积牺牲层；制作热偶层及吸收膜层；淀积热偶保护层，刻蚀形成腐蚀孔，通过腐蚀孔去除侧向腐蚀引导层、纵向腐蚀引导层及衬底，形成隔热空腔；去除热偶保护层，淀积引线绝缘层，刻蚀引线绝缘层形成接触孔，再形成金属引线；去除牺牲层及部分引线绝缘层，获得悬浮红外热堆。本发明采用单面加工工艺，可用于实现微传感器与集成电路的单片集成，有利于小尺寸、低成本、大批量生产。另外，本发明的方法可突破晶向的限制实现更深的隔热空腔的制备，大大提高器件的红外传感性能，并且利用牺牲层增强结构强度，提高生产良率。
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公开(公告)号：CN114965549A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210515530.4
申请日：2022-05-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/12 , G01N5/04 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20008
Abstract: 本发明提供一种纳米材料物相转变温度的测量方法，包括以下步骤：悬臂梁老化、测量基线获取、样品制备、样品预处理、测试曲线获取、数据处理。通过利用集成式谐振悬臂梁和数据采集处理系统，得到纳米材料在不同气氛下程序升温过程的热重曲线，进而可以分析得到样品的合适物相转变温度点，另外，还包括原位透射电子显微镜样品制备装载及原位透射电子显微镜观察的步骤，与气相原位透射电子显微镜联用，可以实时观察纳米材料在升温过程中的形貌变化，以得到能保持形貌稳定且物相转变的合适温度点，本发明的测量方法具有精确度高、效率高、所需样品量少、反馈及时等优点，可为材料的煅烧工艺提供关键的定量数据。
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公开(公告)号：CN112924510B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202110112833.7
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/414 , G01N27/30
Abstract: 本发明提供一种石墨烯基高熵合金纳米颗粒及其制备方法和应用，石墨烯基高熵合金纳米颗粒的制备方法包括：获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将预设量的氧化石墨烯粉末分散至所述前驱体溶液中，形成混合溶液；对所述混合溶液进行抽滤处理，获取负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜；采用激光直写技术对所述负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜进行辐射加热处理，获取石墨烯基高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够实现石墨烯载体上吸附的金属盐的快速热分解；能够有效抑制低元合金杂质相的析出，得到具有单一物相结构的高熵合金纳米颗粒；且能够实现高熵合金纳米颗粒的简单且快速的大规模合成。
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公开(公告)号：CN110208345B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201910511358.3
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海理工大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于半导体传感技术领域，具体涉及到一种制备用于检测苯系物的敏感元件的方法。敏感元件为双层结构，其包括位于底层的敏感材料层和位于上层的催化材料层。方法包括：通过水热法获得ZnO纳米片后进一步通过丝网印刷或者旋涂工艺涂覆到印刷有加热电极和叉指电极的平板式陶瓷基片上获得底层气敏材料；通过水热法在其表面均匀生长CeO2纳米片薄膜即得到敏感元件，对其进行焊接、老化、封装后制得苯系物检测气敏元件。本发明所制得的气敏元件具有对苯系物气体灵敏度较高、检测下限低、选择性好、工作温度低、具有长期稳定性等优点，可用于室内苯系物污染气体的检测，对于人类身体健康的保护及室内污染物监控等方面具有重要意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110182753B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201910317690.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高灵敏度加速度传感器结构的制作方法,包括：提供衬底；于衬底的正面及背面形成钝化层；于衬底的正面形成释放窗口；形成深槽；形成内部刻蚀缓冲腔体；去除钝化层；于释放窗口的侧壁、内部刻蚀缓冲腔体的侧壁及内部刻蚀缓冲腔体的上下表面形成低应力多晶硅层；于低应力多晶硅层表面形成氧化硅钝化层；于衬底正面进行硼离子注入；于衬底的背面形成沟槽；去除位于内部刻蚀缓冲腔体底部的氧化硅钝化层，并将进行高温退火形成压敏电阻；于衬底的正面制作引线孔、金属引线及焊盘；提供键合衬底，将键合衬底键合于所述衬底的背面；释放悬臂梁及质量块。本发明可以避免对悬臂梁过刻蚀，从而可以确保任意尺寸悬臂梁的厚度的可控性及均匀性。
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公开(公告)号：CN112935274A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110112853.4
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性衬底上生长高熵合金纳米颗粒的方法，包括：获取柔性衬底；采用激光直写技术在所述柔性衬底上生长具有预设形状的三维石墨烯薄膜；获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将所述前驱体溶液滴加至所述三维石墨烯薄膜上，形成预处理样品；采用激光直写技术对所述预处理样品上的三维石墨烯薄膜进行辐射加热处理，获取所述高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够有效提高高熵合金纳米颗粒尺寸的均一性及合金总的负载量；且有效避免对柔性衬底造成高温热损伤；同时，脉冲激光热解生长机制也有利于得到具有单一物相的高熵合金纳米颗粒。
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公开(公告)号：CN111721456A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010152321.9
申请日：2020-03-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种复合触觉传感器，其包括力传感器，用于检测目标物体的压力值；摩擦发电机，该摩擦发电机与该力传感器连接，该摩擦发电机用于检测该目标物体与该摩擦发电机的接触滑移；支撑层，该支撑层上设有该力传感器和该摩擦发电机，该支撑层用于承载集成该力传感器和该摩擦发电机。本发明提供的复合触觉传感器具有能耗低的特点。
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公开(公告)号：CN111362226A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN107215844B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201710444180.6
申请日：2017-06-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种膜片结构，所述膜片结构至少包括悬空支撑在单晶硅片上方的膜片和沿所述膜片外围排列的释放孔。本发明另提供一种基于上述膜片结构的压力敏感膜结构，所述压力敏感膜结构包括梁‑岛结构、外框、薄膜、沿外框排布的释放孔和分布在岛上的释放孔。膜片结构的释放孔没有贯穿整个膜片区域，保证了膜片结构的完整性和对称性，具有更好的机械性能，同时膜片中部可以自由地设计各种结构，不需要受释放孔的限制，具有更广阔的应用空间。本发明所述的压力敏感膜结构由上述膜片结构经局部刻蚀减薄加工而成，避免了在脆弱的薄膜区域布置释放孔，在改善机械性能的同时提高可靠性。同时在岛上的释放孔可以显著缩短腐蚀时间，大幅提高成品率。
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