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公开(公告)号：CN110819698B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN201911030850.5
申请日：2019-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C12Q1/6851 , C12M1/38 , C12M1/34
Abstract: 本发明公开了一种高压液体浸入式数字PCR方法、数字PCR芯片及其制备方法，该数字PCR方法包括以下步骤：S1.将经过进样处理的数字PCR芯片浸入高压反应室的液体中；S2.排空高压反应室内的空气，对排空空气后的高压反应室增压；S3.将增压后的高压反应室放到PCR仪上进行PCR反应；S4.对PCR反应后的高压反应室冷却；S5.将冷却后的高压反应室降压；S6.将高压反应室中的数字PCR芯片取出，对数字PCR芯片进行荧光信号分析。本发明芯片进样不依赖泵、阀等复杂设备，也不需要使用高粘度热聚合分离油，进样完成后芯片不需要密封，操作简单；芯片厚度小，导热快，反应迅速；芯片结构简单，容易制作，成本低，自动化程度高。
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公开(公告)号：CN115876835A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211574079.X
申请日：2022-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种差分量热式MEMS气体传感器及气体检测方法，该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环，检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜，其中，隔热空腔位于单晶硅衬底内，多个单晶硅热偶对串联连接且通过支撑膜支撑以悬设于隔热空腔之上实现热隔离，单晶硅热偶对包括串联的N型单晶硅热偶及P型单晶硅热偶，其中，检测热电堆的中心设置有催化剂材料。本发明的传感器对于痕量气体催化吸放热非常灵敏，且响应及恢复速度快，气体的浓度线性检测范围宽，可用于各种基于催化吸放热的气体浓度检测。本发明的检测方法对气体具有良好的选择性，能够实现目标气体的快速、超灵敏检测。
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公开(公告)号：CN114371551B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202011096018.8
申请日：2020-10-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳加工技术领域，特别涉及一种微镜结构及其制备方法。衬底晶圆包括相对的第一表面和第二表面，所述驱动电极层设置在所述第一表面；所述衬底晶圆和所述驱动电极层上设有通孔；所述第一绝缘层设置在所述驱动电极层的表面和所述通孔的内壁上；所述支撑梁的第一端穿过所述通孔与所述固定层连接，所述支撑梁与所述通孔之间存在第一预设间隙；所述固定层设置在所述第二表面；所述驱动电极层中设有第一驱动电极、第二驱动电极和屏蔽电极；所述微镜设置在所述支撑梁的第二端上，所述微镜与所述第一绝缘层之间存在第二预设间隙。本申请实施例所述的微镜结构可以在减小单元尺寸的同时保证微镜的面内横向位移可与入射光波长相比拟。
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公开(公告)号：CN110627014B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN201910888537.9
申请日：2019-09-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法，所述方法包括：在衬底中形成侧壁保护层；形成纵向腐蚀引导层和侧向腐蚀引导层；淀积牺牲层；制作热偶层及吸收膜层；淀积热偶保护层，刻蚀形成腐蚀孔，通过腐蚀孔去除侧向腐蚀引导层、纵向腐蚀引导层及衬底，形成隔热空腔；去除热偶保护层，淀积引线绝缘层，刻蚀引线绝缘层形成接触孔，再形成金属引线；去除牺牲层及部分引线绝缘层，获得悬浮红外热堆。本发明采用单面加工工艺，可用于实现微传感器与集成电路的单片集成，有利于小尺寸、低成本、大批量生产。另外，本发明的方法可突破晶向的限制实现更深的隔热空腔的制备，大大提高器件的红外传感性能，并且利用牺牲层增强结构强度，提高生产良率。
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公开(公告)号：CN114965549A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210515530.4
申请日：2022-05-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/12 , G01N5/04 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20008
Abstract: 本发明提供一种纳米材料物相转变温度的测量方法，包括以下步骤：悬臂梁老化、测量基线获取、样品制备、样品预处理、测试曲线获取、数据处理。通过利用集成式谐振悬臂梁和数据采集处理系统，得到纳米材料在不同气氛下程序升温过程的热重曲线，进而可以分析得到样品的合适物相转变温度点，另外，还包括原位透射电子显微镜样品制备装载及原位透射电子显微镜观察的步骤，与气相原位透射电子显微镜联用，可以实时观察纳米材料在升温过程中的形貌变化，以得到能保持形貌稳定且物相转变的合适温度点，本发明的测量方法具有精确度高、效率高、所需样品量少、反馈及时等优点，可为材料的煅烧工艺提供关键的定量数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112924510B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202110112833.7
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/414 , G01N27/30
Abstract: 本发明提供一种石墨烯基高熵合金纳米颗粒及其制备方法和应用，石墨烯基高熵合金纳米颗粒的制备方法包括：获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将预设量的氧化石墨烯粉末分散至所述前驱体溶液中，形成混合溶液；对所述混合溶液进行抽滤处理，获取负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜；采用激光直写技术对所述负载有金属盐的氧化石墨烯自支撑膜进行辐射加热处理，获取石墨烯基高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够实现石墨烯载体上吸附的金属盐的快速热分解；能够有效抑制低元合金杂质相的析出，得到具有单一物相结构的高熵合金纳米颗粒；且能够实现高熵合金纳米颗粒的简单且快速的大规模合成。
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公开(公告)号：CN110208345B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201910511358.3
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海理工大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于半导体传感技术领域，具体涉及到一种制备用于检测苯系物的敏感元件的方法。敏感元件为双层结构，其包括位于底层的敏感材料层和位于上层的催化材料层。方法包括：通过水热法获得ZnO纳米片后进一步通过丝网印刷或者旋涂工艺涂覆到印刷有加热电极和叉指电极的平板式陶瓷基片上获得底层气敏材料；通过水热法在其表面均匀生长CeO2纳米片薄膜即得到敏感元件，对其进行焊接、老化、封装后制得苯系物检测气敏元件。本发明所制得的气敏元件具有对苯系物气体灵敏度较高、检测下限低、选择性好、工作温度低、具有长期稳定性等优点，可用于室内苯系物污染气体的检测，对于人类身体健康的保护及室内污染物监控等方面具有重要意义。
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公开(公告)号：CN110182753B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201910317690.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高灵敏度加速度传感器结构的制作方法,包括：提供衬底；于衬底的正面及背面形成钝化层；于衬底的正面形成释放窗口；形成深槽；形成内部刻蚀缓冲腔体；去除钝化层；于释放窗口的侧壁、内部刻蚀缓冲腔体的侧壁及内部刻蚀缓冲腔体的上下表面形成低应力多晶硅层；于低应力多晶硅层表面形成氧化硅钝化层；于衬底正面进行硼离子注入；于衬底的背面形成沟槽；去除位于内部刻蚀缓冲腔体底部的氧化硅钝化层，并将进行高温退火形成压敏电阻；于衬底的正面制作引线孔、金属引线及焊盘；提供键合衬底，将键合衬底键合于所述衬底的背面；释放悬臂梁及质量块。本发明可以避免对悬臂梁过刻蚀，从而可以确保任意尺寸悬臂梁的厚度的可控性及均匀性。
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公开(公告)号：CN112935274A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110112853.4
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性衬底上生长高熵合金纳米颗粒的方法，包括：获取柔性衬底；采用激光直写技术在所述柔性衬底上生长具有预设形状的三维石墨烯薄膜；获取高熵合金纳米颗粒的前驱体溶液；将所述前驱体溶液滴加至所述三维石墨烯薄膜上，形成预处理样品；采用激光直写技术对所述预处理样品上的三维石墨烯薄膜进行辐射加热处理，获取所述高熵合金纳米颗粒。基于上述技术方案，能够有效提高高熵合金纳米颗粒尺寸的均一性及合金总的负载量；且有效避免对柔性衬底造成高温热损伤；同时，脉冲激光热解生长机制也有利于得到具有单一物相的高熵合金纳米颗粒。
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公开(公告)号：CN111721456A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010152321.9
申请日：2020-03-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，本发明公开了一种复合触觉传感器，其包括力传感器，用于检测目标物体的压力值；摩擦发电机，该摩擦发电机与该力传感器连接，该摩擦发电机用于检测该目标物体与该摩擦发电机的接触滑移；支撑层，该支撑层上设有该力传感器和该摩擦发电机，该支撑层用于承载集成该力传感器和该摩擦发电机。本发明提供的复合触觉传感器具有能耗低的特点。
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