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公开(公告)号：CN102426054A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201110334236.5
申请日：2011-10-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明为一种单片集成复合量程矢量水听器，解决了现有矢量水听器由于灵敏度和有效工作频带的相互制约而不能满足在同一个测试过程中测量各种频率信号的问题。本发明包括田字形支架，弹性梁以及通过弹性梁分别支悬于田字形支架的四个小框体中部的质量块，每个质量块的四边分别通过一根弹性梁与田字形支架固定，每根弹性梁的端部和根部分别集成有一个阻值相等的压敏电阻，四个质量块中部分别垂直设有一根直径相同的纤毛柱体，四根纤毛柱体长短不一。本发明可通过其上的四根不同长度的纤毛柱体，检测到不同量程范围内的声信号，可用于变频率值的测定，拓宽了其有效工作频带。
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公开(公告)号：CN101738250B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200910261830.9
申请日：2009-12-30
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器的T形敏感体。解决了现有矢量水声传感器因加工工艺的原因无法在矢量探测和高灵敏上发挥最佳优势的问题，包括由长方体基座、长方体立柱构成的T形体，长方体基座上通过扩散工艺加工有三个阻值相等的基准电阻，长方体立柱上通过扩散工艺加工有位于长方体立柱根部的应变压敏电阻，应变压敏电阻R1的阻值与基准电阻的阻值相等，应变压敏电阻R1与基准电阻R2、R3、R4连接构成惠斯通电桥。结构简单、新颖，灵敏度高、体积小、功耗低、探测距离远、具有良好的“8”字形指向性，加工成本低，适合批量化生产，以其生产加工的矢量水听器应用范围广阔。
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公开(公告)号：CN101514919B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200910073993.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是一种微机电矢量水听器。解决了现有矢量水听器的封装结构影响其整体性能提高的问题，包括敏感转化微结构、用于固定敏感转换微结构的支持体、罩于敏感转换微结构外并与支持体密封固定的封装壳体，敏感转化微结构含十字形悬臂梁结构、微型柱状体，微型柱状体垂直固定于十字形悬臂梁结构的中央，十字形悬臂梁结构的四梁端部上设置有转换元件，封装壳体为采用聚氨酯灌封材料制成的透声橡胶帽，透声橡胶帽顶部灌封有将微型柱状体顶端与透声橡胶帽固定的聚氨酯。通过对封装结构的改进和敏感转换结构转换元件的替换，提高了水听器的灵敏度、改善了水听器的频响，低频高信噪比，使得水听器能够表现出更加优异的性能。
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公开(公告)号：CN101539127A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910074195.3
申请日：2009-04-15
Applicant: 中北大学
IPC: F03H99/00
Abstract: 本发明涉及微胶体推进器，具体是一种基于MEMS技术的微型阵列式胶体推进器。实现了胶体推进器的微型化、微推力，解决了喷射极喷头供液、喷射控制不易等问题，包括喷射极、抽取极、玻璃支撑框体，喷射极的基板上刻蚀有若干按列设置的管状喷头，喷射极的基板上刻蚀有若干相互平行的条状刻蚀槽，条状刻蚀槽内仅设置一列管状喷头，各刻蚀槽槽底及其内管状喷头顶部溅射有铝层，各刻蚀槽一端分别设有与其槽底铝层连通的接线柱，管状喷头输液通道内采用HF刻蚀工艺加工为多孔硅结构；抽取极为栅栏状，其条形栅缝与喷射极的刻蚀槽正对设置。具有性能稳定、对准精度高、便于加工、供液喷射易于控制等优点，能实现分批控制喷头喷射的目的。
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公开(公告)号：CN101514919A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910073993.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是一种微机电矢量水听器。解决了现有矢量水听器的封装结构影响其整体性能提高的问题，包括敏感转化微结构、用于固定敏感转换微结构的支持体、罩于敏感转换微结构外并与支持体密封固定的封装壳体，敏感转化微结构含十字形悬臂梁结构、微型柱状体，微型柱状体垂直固定于十字形悬臂梁结构的中央，十字形悬臂梁结构的四梁端部上设置有转换元件，封装壳体为采用聚氨酯灌封材料制成的透声橡胶帽，透声橡胶帽顶部灌封有将微型柱状体顶端与透声橡胶帽固定的聚氨酯。通过对封装结构的改进和敏感转换结构转换元件的替换，提高了水听器的灵敏度、改善了水听器的频响，低频高信噪比，使得水听器能够表现出更加优异的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114955980B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202210612658.2
申请日：2022-06-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器，属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成，硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区，合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层，经过浓硼扩散后形成欧姆接触区，刻蚀顶层硅后形成压阻区，溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区，刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构，钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构，最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度，同时由于柔性基底PDMS，增加了传感器的适应性和便捷性。
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公开(公告)号：CN118817829A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411296038.8
申请日：2024-09-18
IPC: G01N29/024
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，公开了一种基于CMUT的茶多酚浓度测量装置及方法；其中，所述茶多酚浓度测量装置包括：超声波探头模块、电源模块以及信号获取计算模块；其中，超声波探头模块包括发射端CMUT和接收端CMUT；电源模块包括信号发生器和直流电压源；信号获取计算模块用于获取发射端CMUT、接收端CMUT之间的距离以及超声飞行时间并计算获得待测茶多酚溶液的声速，与已标定茶多酚浓度的茶多酚溶液中的声速对比，得到待测茶多酚溶液的茶多酚浓度。本发明公开的技术方案，具有精度高、稳定性好、成本低、小型化、可靠性高、操作简单等优点，在茶多酚浓度检测领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN118787384A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410866200.9
申请日：2024-07-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 公开了一种乳腺超声CT成像系统及方法，包括：超声探头，其设置在容纳超声耦合液体介质的水箱内，上有检测孔以及在围绕检测孔圆周面布置的超声传感器阵列，超声传感器阵列包含若干用于产生超声波的阵元，一层阵元对应一层水平切片；位移定位台，用于带动超声探头沿着轴线做轴向运动以及绕轴线旋转；以及电脑，用于对采集到的超声信号进行重建成像。超声探头对乳腺做电子扫描，位移定位台调整超声探头扫描位置以覆盖阵元的间隙，这种通过电子扫描与机械扫描相结合的方式，降低了高精度断层扫描成像对CMUT超声探头的传感器密度要求。使用分时复用的方法，在降低设备硬件制造成本的同时，提高了超声成像的精度，实现了对乳腺的高精度三维立体成像。
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公开(公告)号：CN115265752B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202210833867.X
申请日：2022-07-16
Applicant: 中国人民解放军92578部队 , 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供了一种同轴封装姿态自校准MEMS矢量水听器。该水听器采用同轴封装技术，将高精度的电子罗经与MEMS矢量水声传感器一体化封装，将MEMS矢量水听器X轴方向与指北方向相重合，利用动态校准测试获得的数据对矢量测向误差进行补偿修正，给出水下目标的真方位。相比于普通的MEMS矢量水听器，本发明采用同轴封装技术，提高了定位精度，具有低频响应好，灵敏度高，体积小，功耗低等优点。
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公开(公告)号：CN114838806B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202210357558.X
申请日：2022-04-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于尾流探测技术领域，具体为一种MEMS尾流探测传感器，解决了背景技术中的技术问题，其包括纤毛式MEMS矢量水听器、中间连接体、仿鱼类侧线保护罩和保护筒体；仿鱼类侧线保护罩将纤毛式MEMS矢量水听器罩设其中且与中间连接体的顶端固定连接；仿鱼类侧线保护罩的顶部开有四个侧线孔；保护筒体由内到外依次包括固定连接的内筒体、减振橡胶套筒和外筒体，保护筒体的顶端与中间连接体的底端密封连接。本申请将仿鱼类侧线系统和纤毛式MEMS矢量水听器结合，组合成了能够测量湍流尾流的传感器，仿鱼类侧线保护罩减少了纤毛‑十字梁换能微结构被异物碰撞的几率，同时降低了海水冲击的影响，提高了传感器探测尾流信号的准确性。
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