公开(公告)号：CN102175305A

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN201110024892.5

申请日：2011-01-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  张国军 ,  关凌纲 ,  何常德 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  王晓瑶 ,  许姣 ,  刘细宝

IPC: G01H11/06 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了单片集成三维矢量振动传感器，包括二维矢量传感器和双T形敏感体，所述二维矢量传感器包括四梁臂、固定于四梁臂四梁中心的微型柱状体。可用于地层、空气、机械和水声等多种领域的振动测试；且单片集成体积小，重量轻，工艺简单，便于安装测试，提高了检测的灵敏度；本发明结构简单，但极具新颖性，且以当前的MEMS加工工艺可以单片集成加工制造，加工成本低，易于制作，功效高，适合批量化生产；整个三维结构上设置的应变压敏电阻与基准电阻采用基于硅微压阻效应的压敏电阻，不但性能稳定，而且功耗低。

公开(公告)号：CN101738250A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200910261830.9

申请日：2009-12-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  李汉清 ,  张国军 ,  王洪亮 ,  何常德 ,  关凌纲 ,  许姣 ,  王晓瑶 ,  王鹏

IPC: G01H11/06

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器的T形敏感体。解决了现有矢量水声传感器因加工工艺的原因无法在矢量探测和高灵敏上发挥最佳优势的问题，包括由长方体基座、长方体立柱构成的T形体，长方体基座上通过扩散工艺加工有三个阻值相等的基准电阻，长方体立柱上通过扩散工艺加工有位于长方体立柱根部的应变压敏电阻，应变压敏电阻R1的阻值与基准电阻的阻值相等，应变压敏电阻R1与基准电阻R2、R3、R4连接构成惠斯通电桥。结构简单、新颖，灵敏度高、体积小、功耗低、探测距离远、具有良好的“8”字形指向性，加工成本低，适合批量化生产，以其生产加工的矢量水听器应用范围广阔。

公开(公告)号：CN101738250B

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN200910261830.9

申请日：2009-12-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  张国军 ,  李汉清 ,  王红亮 ,  何常德 ,  关凌纲 ,  许姣 ,  王晓瑶 ,  王鹏

IPC: G01H11/06

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器的T形敏感体。解决了现有矢量水声传感器因加工工艺的原因无法在矢量探测和高灵敏上发挥最佳优势的问题，包括由长方体基座、长方体立柱构成的T形体，长方体基座上通过扩散工艺加工有三个阻值相等的基准电阻，长方体立柱上通过扩散工艺加工有位于长方体立柱根部的应变压敏电阻，应变压敏电阻R1的阻值与基准电阻的阻值相等，应变压敏电阻R1与基准电阻R2、R3、R4连接构成惠斯通电桥。结构简单、新颖，灵敏度高、体积小、功耗低、探测距离远、具有良好的“8”字形指向性，加工成本低，适合批量化生产，以其生产加工的矢量水听器应用范围广阔。

公开(公告)号：CN102176006A

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN201110024893.X

申请日：2011-01-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  薛晨阳 ,  张国军 ,  关凌纲 ,  熊继军 ,  刘细宝 ,  王晓瑶 ,  许姣

IPC: G01S7/52 ,  G01S7/521

CPC classification number: G01S7/521 ,  G01H3/00

Abstract: 本发明公开了一种硅基单片集成声纳基阵，包括悬臂梁式敏感阵列结构、透声护套、支撑结构；悬臂梁式敏感结构阵列结构固定在支撑结构上；悬臂梁式敏感结构阵列结构设置在透声护套内，并固定，透声护套内注入绝缘介质油，悬臂梁式敏感阵列结构浸润在绝缘介质油；密封并且透声护套整体做水密处理。该基阵可以用于水下超声成像或者超声测距、鱼雷的声自导等装置上，该探测基阵通过MEMS技术在单个硅片上集成多个水听器组阵，既可以解决一致性问题还能很大程度的缩小基阵尺寸，采用刚性连接，易于在船上装配，而且批量化制造的成本低。

公开(公告)号：CN102175305B

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201110024892.5

申请日：2011-01-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  侯卓 ,  张国军 ,  关凌纲 ,  何常德 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  王晓瑶 ,  许姣 ,  刘细宝 ,  薛南 ,  刘宏

IPC: G01H11/06 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了单片集成三维矢量振动传感器，包括二维矢量传感器和双T形敏感体，所述二维矢量传感器包括四梁臂、固定于四梁臂四梁中心的微型柱状体。可用于地层、空气、机械和水声等多种领域的振动测试；且单片集成体积小，重量轻，工艺简单，便于安装测试，提高了检测的灵敏度；本发明结构简单，但极具新颖性，且以当前的MEMS加工工艺可以单片集成加工制造，加工成本低，易于制作，功效高，适合批量化生产；整个三维结构上设置的应变压敏电阻与基准电阻采用基于硅微压阻效应的压敏电阻，不但性能稳定，而且功耗低。

公开(公告)号：CN102506990A

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN201110350625.7

申请日：2011-11-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  张国军 ,  刘林仙 ,  张文栋 ,  薛晨阳 ,  张斌珍 ,  何常德 ,  许姣 ,  尚剑宇 ,  张慧

IPC: G01H11/08 ,  G01S7/521

Abstract: 本发明公开了一种二维同振柱形仿生矢量水听器，该矢量水听器的灵敏度、指向性等各性能指标得到了进一步的提高。该矢量水听器包括圆柱体透声外壳、灌封于透声外壳内部的支撑体以及设于支撑体上的二维四梁纤毛式微敏感体和声压水听器，二维四梁纤毛式微敏感体安装在支撑体的圆盘上表面的中心处，在二维四梁纤毛式微敏感体的外部罩有半球形封闭的透声帽，且在透声帽内充有密度与水密度相同或相近的绝缘液体，声压水听器连接在支撑体的中空管的底部端口，该矢量水听器的各个输出为并联连接；透声外壳在其上、下端分别灌封有带挂钩的吊环。本发明矢量水听器结构简单，灵敏度高，指向性好，工作频带范围宽，上限可达3KHz，应用范围广阔。