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公开(公告)号：CN107425128B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201710367124.7
申请日：2017-05-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。
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公开(公告)号：CN104051674B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201410097639.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置(100)包括能够抽成真空的处理容器(1)、用于在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、与支承在载置台(3)上的基板(S)相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部(5)、以及控制部(6)。溶剂收集部(5)还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置(7)。溶剂收集部(5)包括与载置在载置台(3)上的基板(S)相对且与该基板(S)的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板(50)。在收集板(50)中形成有多个贯通开口(50a)。
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公开(公告)号：CN107878044A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201710899704.0
申请日：2017-09-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 在既进行基板上的溶剂的减压干燥处理又进行溶剂捕获部上的溶剂的脱离处理的减压干燥装置中，以简单的装置结构缩短上述减压干燥处理的时间和上述脱离处理的时间。减压干燥装置(1)使收纳在腔室(10)内的基板(W)上的溶液在减压状态下干燥，包括由网状板构成的、暂时地捕获从基板(W)汽化的溶液中的溶剂的溶剂捕获部(30)，溶剂捕获部(30)以与基板(W)相对的方式设置在腔室(10)内，构成溶剂捕获部(30)的网状板的开口率为60％以上80％以下，单位面积的热容为850J/K·m2以下。
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公开(公告)号：CN107768278A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201710723809.0
申请日：2017-08-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , B41J29/393 , B41J2/07
CPC classification number: H01L21/6715 , B41J2/07 , B41J29/393
Abstract: 本发明基于线传感器对检查排出的功能液的液滴的拍摄结果适当修正功能液的液滴的排出条件。液滴排出装置(1)用于使搭载有工件(W)的工件台(40)相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动，从液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到工件(W)上进行描绘，其包括线传感器，在工件(W)上预先形成有规定大小的标记，从液滴排出喷嘴将液滴检查排出到工件台(40)上的工件(W)，由线传感器(31)进行工件(W)上的被检查排出的液滴和上述标记的拍摄，基于所拍摄的标记在所述主扫描方向上的长度，修正上述液滴的拍摄结果，基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自液滴排出喷嘴的排出条件。
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公开(公告)号：CN107650520A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201710611980.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B41J25/24
Abstract: 本发明提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置，其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘，其包括：设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23)；拍摄工件(W)的摄像部；和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上，基于该功能液的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107618265A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710573623.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。液滴排出装置(1)包括：向工件排出功能液的液滴的喷头(24)；由检查膜(52)的具有憎液性的表面接受来自该喷头(24)的检查排出的排出检查单元(50)；对检查排出到检查膜(52)的表面上的液滴进行拍摄的排出检查照相机(31)；和对检查膜(52)的具有憎液性的表面进行除电的除电单元(80)，在进行液滴的检查排出之前，通过除电单元(80)对检查膜(52)的表面进行除电。
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公开(公告)号：CN107464877A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201710417403.X
申请日：2017-06-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种检查装置，其能够基于利用功能液滴的拍摄结果的功能液的排出状态的检查结果适当校正功能液的排出条件。检查装置(1)检查来自喷嘴的功能液的排出状态。检查装置(1)包括拍摄由从喷嘴排出的功能液在检查片(20)上形成的多个液滴(21)的拍摄部(10)；基于拍摄部(10)的拍摄结果，测量液滴(21)的形成状态的测量部(11a)；和利用拍摄部(10)的拍摄结果，将多个液滴(21)中作为测量部(11a)的测量对象的液滴基于该液滴的形成状态进行选择的选择部(11b)。
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公开(公告)号：CN107425128A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710367124.7
申请日：2017-05-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L51/5088 , H01L51/0005 , H01L51/001 , H01L51/5016 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。
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公开(公告)号：CN106972114A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201610849761.3
申请日：2016-09-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , B41J11/0015 , H01L51/0005 , H01L51/0029
Abstract: 本发明提供在对基板上的有机材料膜进行干燥处理时尽量地降低混入到处理容器内的水分的影响的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）和用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为基板支承部的基板支承部（3），在干燥处理期间，在处理容器（1）内的压力为大气压～500Pa的范围内，将基板（S）保持在第1高度位置，在处理容器（1）内的压力为3Pa以下时，使基板（S）下降到比第1高度位置低的第2高度位置。通过在将基板（S）保持在第1高度位置的状态下进行减压排气，能够使处理容器（1）内的水分自底壁（11）的排气口（11a）快速地排出。
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公开(公告)号：CN104488358B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380039479.3
申请日：2013-06-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L51/0026 , H01L21/67161 , H01L21/67748 , H01L21/68742
Abstract: 烘焙处理系统(100)包括：真空烘焙装置((VB)1)，其用于以大气压以下的压力对利用外部的喷墨打印装置((IJ)200)形成于基板(S)上的有机材料膜进行焙烧；输送装置(11)，其用于将基板(S)向真空烘焙装置((VB)1)输送；输送室((TR)10)，其能抽成真空，用于容纳输送装置(11)；加载互锁装置((LL)20)，其构成为能够在大气压状态和真空状态之间切换；以及输送装置(31)，其配置于基板输送路径中的位于喷墨打印装置((IJ)200)和加载互锁装置((LL)20)之间的部分，用于进行基板(S)的交接。
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