公开(公告)号：CN100456512C

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200410095711.8

申请日：2004-11-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑元哲 ,  金亨俊 ,  朴哉炫 ,  郑椙旭

IPC: H01L45/00 ,  G11C11/56 ,  G11C13/00

CPC classification number: H01L45/06 ,  H01L45/122 ,  H01L45/126 ,  H01L45/143 ,  H01L45/144 ,  H01L45/1666

Abstract: 提供了相变存储器件和制造相变存储器件的方法，相变存储器件包括布置在衬底上的加热电极。加热电极包括加热电极中的电极孔。相变材料图形设置在电极孔中并接触电极孔的侧壁。在某些实施例中，电极孔贯穿加热电极。在某些实施例中，相可变材料图形仅仅在电极孔的侧壁处接触电极。

公开(公告)号：CN116741652A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310067605.1

申请日：2023-01-16

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 任种九 ,  金亨俊

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种检查装置及包括其的基板处理装置。本发明的检查装置包括设置于检查对象物的上方，且具有内部空间的壳体；连接于所述壳体，且拍摄向所述检查对象物的外周边缘照射光的所述检查对象物的上表面的整体图像的成像部；连接于所述壳体，向所述检查对象物的上表面照射光的同轴照明部；设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的光反射于所述成像部的光反射部；以及聚光由所述同轴照明部照射的光的透镜部。这种检查装置可以实现将同轴照明部和成像部连接为一体的紧凑结构，且可以实时一次性有效地对基板的边缘和表面的缺陷进行检查，从而有效地提高基板缺陷的检查性能。