公开(公告)号：CN118116833A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202311204779.4

申请日：2023-09-18

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 任种九

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/52 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种拾取装置以及拾取方法，能够拾取形成有焊球面等的半导体封装件或超薄型半导体芯片等敏感材料，可以包括：拾取头，为了利用在高速流动的空气周围产生负压的伯努利原理在空气流动的状态下吸附所述材料，形成有与所述材料的表面相对的空气流动面，以形成至少一部分与所述材料的表面有间隔的缝隙空间；以及空气吸入管线，与所述拾取头连接，吸入空气，以在所述拾取头的所述缝隙空间产生空气的流动。

公开(公告)号：CN117055235A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310356857.6

申请日：2023-04-04

Applicant: 三星电子株式会社 ,  细美事有限公司

Inventor： 崔成一 ,  金亨俊 ,  任种九 ,  金京范 ,  柳成润 ,  朴美罗 ,  李精汉 ,  李政熙

IPC: G02B27/09

Abstract: 提供了一种可以轻松且准确地执行光纤的卷绕任务的光源均匀度调节装置。光源均匀度调节装置包括：基板，包括位于其中的多个孔；在基板的一侧上的第一固定部分，用于固定光纤的第一部分；设置在基板的另一侧上的第二固定部分，用于固定光纤的第二部分；以及插入多个孔中的至少一个孔内的柱状部分，该柱状部分在基板上路由光纤，使得光纤在第一部分和第二部分之间具有至少一个弯曲形状。

公开(公告)号：CN116741652A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310067605.1

申请日：2023-01-16

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 任种九 ,  金亨俊

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种检查装置及包括其的基板处理装置。本发明的检查装置包括设置于检查对象物的上方，且具有内部空间的壳体；连接于所述壳体，且拍摄向所述检查对象物的外周边缘照射光的所述检查对象物的上表面的整体图像的成像部；连接于所述壳体，向所述检查对象物的上表面照射光的同轴照明部；设置于所述成像部的光轴上，且将由所述同轴照明部照射的光反射于所述检查对象物，或者将被照射于所述检查对象物的光反射于所述成像部的光反射部；以及聚光由所述同轴照明部照射的光的透镜部。这种检查装置可以实现将同轴照明部和成像部连接为一体的紧凑结构，且可以实时一次性有效地对基板的边缘和表面的缺陷进行检查，从而有效地提高基板缺陷的检查性能。