-
公开(公告)号：CN118173435A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202211571167.4
申请日：2022-12-08
Applicant: 张江国家实验室
Inventor： 请求不公布姓名
IPC: H01L21/027 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供一种用于制造鳍式场效应晶体管的鳍片的制造方法，其利用效率高、成本低、操作简单且能够实现线条密度倍增的光刻工艺来制造鳍式场效应晶体管的鳍片，从而能够以更高效率、更低成本、更简单的操作来形成更高密度的FinFET结构。
-
公开(公告)号：CN118123232A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202211542944.2
申请日：2022-12-02
Applicant: 张江国家实验室
IPC: B23K26/21 , B23K26/70 , B23K101/36
Abstract: 本申请实施例提供了一种激光焊接装置和方法，涉及集成电路技术领域，该激光焊接装置包括：空间光调制器、至少一个透镜。空间光调制器对入射的目标激光束进行调制并输出调制光束。至少一个透镜对调制光束进行傅里叶变换并输出目标焊接光束，目标焊接光束绕过待焊接的元器件并将光束焦点置于元器件与印制线路板之间的焊接材料处，实现元器件与印制线路板之间的焊接。采用空间光调制器对激光束进行调制，并将获得的调制光束输入至少一个透镜进行傅里叶变换，获得可以绕过元器件的目标焊接光束，故针对印制线路板上被元器件遮挡的焊点也能实现准确焊接，从而增加了激光焊接技术在微型电子器件加工方面的适用范围，提高了激光焊接的精度和效率。
-
公开(公告)号：CN118068463A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202211475375.4
申请日：2022-11-23
Applicant: 张江国家实验室 , 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本申请涉及生成微透镜阵列的方法、匀光性调控光学器件和装置、处理器和介质。该方法包括以下步骤：根据微透镜单元的分布密度和微透镜阵列的尺寸确定微透镜单元的数量，并且在一平面区域上生成数量的随机点；以每个随机点作为每个微透镜单元的特征点，在平面区域中生成每个微透镜单元的多边形边界，其中相邻的微透镜单元紧密贴合；以及在相应微透镜单元的多边形内形成具有曲率半径的微透镜单元，从而生成微透镜阵列。
-
公开(公告)号：CN117991428A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202211366073.3
申请日：2022-10-31
Applicant: 上海集成电路研发中心有限公司 , 张江国家实验室
Abstract: 本发明提供了一种光栅及其制造方法。所述光栅包括衬底、介质层、第一波导和包含第二波导的滤波结构。所述第二波导包含不同高度的若干顶部凸起结构；每个所述顶部凸起结构顶面顺次堆叠有均位于所述介质层内的层间介质层和多晶半导体层，实现了对不同波长信号的频率响应。所述光栅的制造方法得到第一波导图形、第二图形以及各硬掩模层后进行退火工艺使所述第一波导图形、所述第二图形和各所述硬掩模层的侧壁实现熔融外延以及使各所述硬掩模层中的非晶半导体层转换为多晶半导体层，改善了表面粗糙度，从而有利于降低光传输损耗。
-
公开(公告)号：CN117805965A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211174340.7
申请日：2022-09-26
Applicant: 上海集成电路研发中心有限公司 , 张江国家实验室
IPC: G02B6/10
Abstract: 本发明提供了一种波导结构及其制造方法。所述波导结构包括衬底、包含若干第一波导层的底部波导层和包含若干第二波导层的顶部波导层。相邻两个所述第二波导层中，远离所述衬底的第二波导层覆盖靠近所述衬底的第二波导层的露出表面，并覆盖所述底部波导层的部分顶面，使相邻两个所述第二波导层的顶面边缘靠近，且所述顶部波导层所呈现的外表面轮廓形状近似弧形，有利于降低光传输中的损耗。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117494783A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311539083.7
申请日：2023-11-17
Abstract: 本发明提供了一种RRAM/SRAM比特级混合存算一体片上训练加速器，包括顶层控制器、激活值缓冲、前向传播、层输出缓冲、权重梯度计算和权重更新模块，其中，前向传播模块包括RRAM存算一体单元合SRAM存算一体单元，分别存储有MSB(高有效位)权重和LSB(低有效位)权重，用于根据控制指令和激活值进行神经网络前馈计算，得到前馈输出值；权重梯度计算根据激活值和前馈输出值进行计算，得到权重梯度；权重更新模块根据LSB权重、权重梯度和学习率，对前向传播模块的LSB权重和MSB权重分别进行密集更新合稀疏更新，前馈输出值为神经网络的一层的最终计算结果。总之，本方法能够实现神经网络训练的高耐久度和推理的高能效。
-
公开(公告)号：CN117130227A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202210596447.4
申请日：2022-05-18
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本公开提供了一种自对准深紫外光刻方法，可以应用于半导体技术领域。该方法包括：制备多层结构，其中，所述多层结构包括：衬底；设置于所述衬底的第二金属层；设置于所述第二金属层远离所述衬底一侧的第二光刻胶层；设置于所述第二光刻胶层远离所述衬底一侧的第一金属层；设置于所述第一金属层远离所述衬底一侧的硬掩膜层；和设置于所述硬掩膜层远离所述衬底一侧的第一光刻胶层；对所述第一光刻胶层执行第一光刻工艺，得到第一光刻胶图案；以所述第一光刻胶图案作为掩膜，在所述硬掩膜层中形成纳米光栅；以及利用所述纳米光栅对所述第二光刻胶层执行第二光刻工艺，得到第二光刻胶图案，其中，所述第二光刻胶图案的线宽小于第一光刻胶图案的线宽。
-
公开(公告)号：CN118294472B
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202311587297.1
申请日：2023-11-24
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本发明实施例提供一种评估测量的不确定度方法及装置，应用于测量分析领域，包括：获取待检测对象在不同角度的待检测三维图像；三维图像包括亮斑结构和暗部细节结构；将按照设定检测顺序获取的不同角度的待检测三维图像进行降维处理，得到待检测对象的二维图像；将二维图像分别输入至K个待使用模型中，输出K个测量数据和N个不确定度，其中N为不大于K的正整数；根据K个测量数据和N个不确定度，确定待检测对象的目标测量数据和目标测量数据对应的目标不确定度。可以实现较快速的得到目标测量数据和目标不确定度，从而便于后续根据确定目标测量数据的精度。
-
公开(公告)号：CN119668552A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411739195.1
申请日：2024-11-29
Abstract: 本发明提供了一种高速混合浮点除法和开方运算系统，包括查表模块，查表模块接收并处理待处理数据，并输出待处理数据经浮点运算后的初始近似数据；迭代模块，连接于查表模块，并接收初始近似数据，迭代模块对初始近似数据进行至少两次乘法处理，并获取第一近似数据；以及舍入模块，连接迭代模块，并接收第一近似数据，根据浮点运算为单精度浮点运算或双精度浮点运算，调整第一近似数据的位数，得到并输出第二近似数据。本发明提供了一种高速混合浮点除法和开方运算系统，在节约硬件资源的同时，实现了高效的误差分析，并兼顾了对硬件配置的普适性。
-
公开(公告)号：CN119598945A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411639992.2
申请日：2024-11-15
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G06F30/392 , G06N3/042 , G06N3/08 , G06T11/40
Abstract: 本发明提供一种版图拆分方法，通过利用策略网络，根据基于当前待染色节点周围的染色信息得到的当前待染色节点的特征信息、以及基于预定的DSA规则得到的当前待染色节点可行的染色种类，来选择出最优的颜色进行染色，从而无需针对每一个新的DSA工艺重新训练模型，可以将DSA规则与学习模型解耦，极大地加强了版图拆分算法的泛化性。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
129
records
(took 0.026 seconds)
