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公开(公告)号：CN115882802A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211172459.0
申请日：2022-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。能够一并形成外形和槽。包括在石英基板的第1基板面上形成保护膜的保护膜形成工序以及隔着保护膜对石英基板进行干蚀刻的干蚀刻工序，在设位于形成第1振动臂的第1振动臂形成区域和形成第2振动臂的第2振动臂形成区域之间的臂间区域中的保护膜的厚度为T1、形成槽的槽形成区域中的保护膜的厚度为T2、第1振动臂形成区域和第2振动臂形成区域中除槽形成区域以外的区域中的保护膜的厚度为T3时，保护膜满足T1
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公开(公告)号：CN112444642B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202010875967.X
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，其具有优异的检测特性。该振动器件包含振动元件、基座和相对于基座支承振动元件的支承件。另外，从所述支承件的厚度方向俯视时，支承件具有框状的框架、配置在框架的外侧并固定于基座的底座、配置在框架的内侧并搭载有振动元件的元件保持架、从元件保持架起沿第1方向延伸并连接元件保持架和框架的一对第1梁、以及从框架起沿与第1方向不同的第2方向延伸并连接框架和底座的一堆第2梁。并且，在俯视时，将第1梁在第1方向上的长度设为L1(μm)、第1梁在与第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1(μm)时，满足W12/L1＜30。
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公开(公告)号：CN114826183A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210099654.9
申请日：2022-01-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。提供槽深的偏差较少、可得到稳定振动特性的振动元件的制造方法。在振动元件的制造方法中，该振动元件的制造方法具有基部以及从所述基部沿着第1方向延伸并沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列的第1振动臂和第2振动臂，在所述第1振动臂的两主面和所述第2振动臂的两主面具有带底的槽，该制造方法包含：准备工序，准备石英基板；保护膜形成工序，在所述石英基板的除了槽区域以外的区域形成保护膜，所述槽区域是形成所述槽的区域；以及干蚀刻工序，隔着所述保护膜对所述石英基板进行干蚀刻而形成所述槽，设置在所述第1振动臂和所述第2振动臂中的至少任意一方上的所述槽具有沿着所述第2方向排列的第1槽和第2槽。
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公开(公告)号：CN113257746A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110086506.9
申请日：2021-01-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L23/12
Abstract: 提供一种振动器件，具有优异的检测精度。振动器件具备具有第1面的振动体、具有与振动体的第1面侧对置的第2面的封装、与振动体的第1面侧对置地配置于封装的电路基板、设置于振动体的第1面的多个连接电极、设置于封装的第2面的第1连接布线、设置于电路基板的第2连接布线、以及将连接电极和第1连接布线电连接的接合材料，振动体在第1面侧具有比连接电极向封装侧突出的突起，突起与封装的第2面抵接。
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公开(公告)号：CN113141167A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202110060832.2
申请日：2021-01-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供小型化的振动器件。振动器件具备：具有正反的主面及连结正反的主面的侧面的振动体、收纳振动体的封装、以及将振动体固定于封装的接合材料，振动体具有连接部，该连接部包含从侧面朝向主面的中心侧凹陷的凹部及从凹部的侧面突出的突起，突起是从连接有多个振动体的晶片折取振动体的折取部，接合材料与凹部内的突起的侧面接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111682847A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010156758.X
申请日：2020-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，能够抑制大型化并且能够搭载更大的振动元件。振动器件具有：基座；中继基板，其被支承于所述基座；以及振动元件，其被支承于所述中继基板，所述中继基板具有：固定部，其直接或间接地固定于所述基座；载置部，其载置有所述振动元件；以及梁部，其连接所述固定部和所述载置部，所述载置部的与所述振动元件连接的部分在俯视观察以之间夹着所述固定部夹的方式位于所述固定部的两侧。
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公开(公告)号：CN110333370A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910242626.6
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/14 , G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。该传感器元件具有：基部；驱动臂，其经由从所述基部起在第1轴上延伸的连结臂而连接；第1检测臂和第2检测臂，在所述平面观察时，该第1检测臂从所述基部起朝与所述第1轴垂直的第2轴的正方向延伸，该第2检测臂朝所述第2轴的负方向延伸；驱动信号布线，在所述平面观察时，所述驱动信号布线在所述基部沿着所述第1轴配置；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，在所述平面观察时，它们配置于所述基部，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线的形状与在所述平面观察时关于所述第1轴线对称的形状不同。
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公开(公告)号：CN110071701A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910052463.5
申请日：2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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公开(公告)号：CN109217824A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810694946.0
申请日：2018-06-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0926 , H01L41/042 , H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/22 , H03H3/04 , H03H9/0528 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215 , H03H2003/0442 , H03B5/36 , H01L23/12 , H03B5/32
Abstract: 振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体。抑制振动泄漏，使飞沫难以残留。该振动元件的频率调整方法具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。
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公开(公告)号：CN108663038A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810241095.4
申请日：2018-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、传感器、电子设备以及移动体。该传感器元件的特征在于，具有：基部；驱动臂，其从所述基部或者与所述基部连结的部分起延伸；以及检测臂，其从所述基部起延伸，所述驱动臂具有：驱动臂部，其从所述基部或者与所述基部连结的部分起延伸，以及驱动施重部，其相对于所述驱动臂部设置于末端侧，宽度比所述驱动臂部宽，在设所述驱动施重部的沿着所述驱动臂的延伸方向的长度为DHL、所述驱动施重部的沿着俯视时的与所述延伸方向垂直的方向的宽度为DHW时，满足1.5≤DHL/DHW的关系。
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