一种新型MEMS微加热芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN118387827A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410491744.1

    申请日:2024-04-23

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明公开一种新型MEMS微加热芯片及其制备方法。所述的新型MEMS微加热芯片包括:支撑层、加热层、绝缘层与功能层;所述的支撑层为沉积于承载衬底表面;所述的加热层沉积于所述支撑层表面,是一种柠檬形加热结构;所述的绝缘层沉积于所述加热层表面;所述的承载衬底刻蚀形成空腔结构,所述的支撑层、加热层与绝缘层悬浮在承载衬底空腔上形成悬臂梁结构,并设计有应力释放孔;所述的功能层为叉指电极层或红外辐射层,沉积于所述绝缘层表面。不同于传统MEMS微加热芯片,本发明公开的一种新型MEMS微加热芯片,稳定性高、温度场均匀,适用于便携式、微型化的气敏检测系统。

    一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法

    公开(公告)号:CN118215382A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202410348532.8

    申请日:2024-03-26

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明属于半导体器件制备领域,特别是涉及一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法。该探测器,从下至上依次包括支撑基板、隔热层、第一键合层、第二键合层、第一电极层、钽酸锂晶片、第二电极层、红外吸收层,支撑基板和隔热层共同构成复合支撑结构,实现了对钽酸锂晶片的整体支撑,没有悬空区域,从根源上避免了现有钽酸锂热释电红外探测器中钽酸锂晶片局部悬空的问题,改善了钽酸锂热释电红外探测器抵抗外界机械振动的能力,极大的降低了钽酸锂热释电红外探测器的麦克风效应,同时隔热层热导率小于等于0.05W/(m·K)能够确保隔热性能,使钽酸锂热释电红外探测器保持高的探测率。

    一种P型PbSe光电薄膜的敏化方法

    公开(公告)号:CN114180538B

    公开(公告)日:2023-09-26

    申请号:CN202111436517.1

    申请日:2021-11-29

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及光电薄膜,特指一种P型PbSe光电薄膜的敏化方法。首先将沉积于衬底上的P型PbSe薄膜置入强氧化剂溶液中进行氧化处理,在P型PbSe光电薄膜表面形成PbSexO1‑x,0.2≤x≤0.8化合物,其次将氧化处理后的P型PbSe光电薄膜浸入含碘化合物溶液中进行碘化处理,使得P型PbSe光电薄膜表面的PbSexO1‑x化合物转化成碘化物,完成碘元素的引入,最后在含氧气氛中进行退火处理,使得P型PbSe光电薄膜表面形成n型的PbSexO1‑xIy化合物,0.2≤x≤0.8,0.3≤y≤0.7,完成敏化处理。本发明很好地解决了现有PbSe敏化处理工艺存在的问题,同时简单方便,可重复性好。

    一种纳米多孔NiCr合金薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN112159964B

    公开(公告)日:2022-06-21

    申请号:CN202010883337.7

    申请日:2020-08-28

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及纳米薄膜材料的制备方法,特指一种纳米多孔NiCr合金薄膜及其制备方法。本发明首先利用磁控溅射技术在氧化铝衬底上沉积NiCr‑Ti前驱体薄膜,接着利用氢氟酸溶液进行刻蚀,目的为了去掉前驱体薄膜中的部分钛组元,最终形成以主要以镍铬合金为骨架的多孔薄膜材料。此种方法制备的纳米多孔镍铬合金薄膜多孔结构完整、连续,形状均匀、尺寸可控,且溅射面积大,厚度轻薄,所述薄膜孔径在80‑120nm,厚度在300‑1000nm。该薄膜对宽光谱具备高的吸收,在宽光谱吸收和发射涂层方面具有广阔的应用前景。

    一种炭/炭复合材料高温抗氧化涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN114262239A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202111626411.8

    申请日:2021-12-28

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明公开一种炭/炭复合材料高温抗氧化涂层的制备方法,属于材料制备技术领域。制备方法包括以MAX相材料作为主要原材料;球磨、干燥;对炭/炭复合材料基底清洗;采用超高速激光熔覆法制备MAX相高温抗氧化涂层,制得炭/炭复合材料高温抗氧化涂层。本发明采用MAX相粉末利用超高速激光熔覆技术对炭/炭复合材料表面进行抗氧化涂层处理。借助MAX相本身的韧性,克服了涂层在高温下开裂、剥落的问题,增强了涂层与基体的结合力,该方法工艺简单,操作时间短,效率高,有利于大规模生产。

    一种抗高温热震、宽光谱高吸收的光热涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN112194507B

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN202010996497.2

    申请日:2020-09-21

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及一种光热涂层及其制备方法,特别是抗高温热震、宽光谱高吸收的光热涂层及其制备方法。制备方法包括:(1)固相法合成宽光谱高吸收陶瓷粉体;(2)氧化铝陶瓷衬底预处理;(3)调制陶瓷粉体浆料;(4)在氧化铝基板正反两面涂敷陶瓷浆料;(5)在空气气氛炉中高温烧结制备多孔陶瓷涂层。该制备方法工艺简便、成本低,利用该方法制备的多孔陶瓷涂层为具有微米级大孔的网络多孔结构,在涂层和衬底之间形成一定厚度的过渡层,在0.3‑14μm波段范围内吸收率平均在92%以上,且耐高温、抗热震,可广泛应用于激光能量计、激光功率计、红外传感器、热辐射探测器等光热转换领域的元器件。

    一种陶瓷电容式压力传感器压力检测系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN112857627A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110147503.1

    申请日:2021-02-03

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明涉及压力传感器检测技术领域,具体是一种陶瓷电容式压力传感器压力检测系统及其测试方法。检测系统包括高压气泵、可调压容舱、膜片夹具及后端电路检测系统。该系统的可调压容舱设有一组进气通道、四组测试通道及气压显示端口,进气通道与测试通道均设有阀门装置;膜片夹具设有放置陶瓷膜片及调理电路板的凹腔,凹腔内设置O形密封圈,密封夹具一端设置带导线通孔的尼龙封盖,另一端设有螺纹连接头;后端电路检测系统包括信号采集装置及软件控制窗口。本发明具有快速封装、操作简便、多线程测量、可横向比对标定的优点,可用于电容式压力传感器的快速封装及测试。

    一种SrTiO3多面体的制备方法

    公开(公告)号:CN112723409A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011237201.5

    申请日:2020-11-09

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明属于无机非金属材料领域,具体涉及一种SrTiO3多面体的制备方法。本发明以氢氧化锶和二氧化钛为原料,氯化钠和碳酸氢钠为熔盐。包括如下步骤:(1)将氢氧化锶和二氧化钛原料与氯化钠和碳酸氢钠复合熔盐混合;(2)将得到的混料进行湿法研磨和干燥处理;(3)将得到的粉末颗粒在700~900℃下反应5~10h;(4)将所得产物洗涤、干燥,最终获得结晶度高、分散性良好、(001)和(110)晶面共同暴露的SrTiO3多面体粉体材料。本发明操作步骤简单、无其它副产物,可大批量制备,便于工业化生产。

    一种电机用石墨烯改性炭/炭电刷的制备方法

    公开(公告)号:CN108462016B

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201810210291.5

    申请日:2018-03-14

    Applicant: 江苏大学

    Abstract: 本发明属于电动机和发动机配件技术领域,具体涉及一种电机用石墨烯改性炭/炭电刷的制备方法。本发明利用石墨烯具有高强度、高导电性以及高导热性能的特点,采用石墨烯对炭/炭复合材料进行功能化改性,将石墨烯通过有机溶剂与树脂混合稀释后,加压浸入多孔的经过化学气相沉积处理后的炭/炭复合材料坯体内,然后采用固化、炭化和石墨化工艺制得的石墨烯改性炭/炭复合材料电刷,具有力学性能优异,机械强度高、抗冲击韧性好、电阻率低、自润滑性能好以及抗摩擦磨损能力强等优点。

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