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公开(公告)号：CN112119291A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201980032117.9
申请日：2019-07-16
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 在流体控制设备中，即使在流体的漏出微小的情况下也能够检测漏出。另外，将流体的漏出异常识别为伴随流体控制设备的动作的变化，以高精度检测流体的漏出。能够检测异常的流体控制设备(V1)设置有流路和通过隔膜(22)与流路隔离的封闭空间(S2)，具有检测封闭空间(S1)内的压力的压力传感器(P)、执行给定的信息处理的处理模块以及检测流体控制设备(V1)的动作的动作检测机构，处理模块执行如下处理：通过对由压力传感器(P)检测出的检测值与给定的阈值进行比较来判别流体控制设备(V1)的异常的判别处理、以及根据流体控制设备(V1)的动作来校正给定的阈值的校正处理。
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公开(公告)号：CN109312874B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201780039076.7
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。接头块体(20)的流体流路(23)包括垂直流路(23a)和水平流路(23c)，接头块体(20)以能够沿长度方向(G1、G2)移动的方式约束在导轨构件(50)上，流体控制设备(110)借助接头块体(20)支承于导轨构件(50)，具有螺纹孔(25a)，贯穿流体控制设备(110A)的主体(113)的紧固螺栓(BT)螺纹结合于该螺纹孔(25a)，接头块体(20)与主体(113)之间的垫片(120)在紧固螺栓(BT)的紧固力的作用下，在主体(113)与接头块体(20)之间被压缩，螺纹孔(25a)的顶端部在水平流路(23c)的上方封闭，并且在俯视时螺纹孔(25a)的至少一部分与水平流路(23c)重合。
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公开(公告)号：CN111819383A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201880091025.3
申请日：2018-03-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 本发明提供能够确保流体的流量并且能够精密地调整流量的阀装置。该阀装置具有：主致动器(60)，其承受所供给的驱动流体的压力，并且使操作构件(40)向开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其配置为主致动器(60)产生的力的至少一部分作用于该调整用致动器(100)，用于对定位于开位置的操作构件的位置进行调整；以及压力调节器(200)，其设于驱动流体向主致动器(60)的供给路径，对所供给的所述驱动流体的压力进行调压，以便抑制向主致动器(60)供给的驱动流体的压力的变动。
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公开(公告)号：CN111316026A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880071444.0
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。
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公开(公告)号：CN111201396A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201880066457.9
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明能准确且简便地诊断阀的动作异常。能探测动作异常的阀(V1)具备：磁铁(M1)，安装于随着阀(V1)的打开关闭动作进行滑动的阀杆(53)的按压适配器(52)附近；以及磁性传感器(M2)，安装于对隔膜(51)的周缘进行按压的按压适配器(52)的内侧的与阀杆(53)对置的面，检测与磁铁(M1)之间的距离变化。进而，异常判定单元将由磁性传感器(M2)检测出的异常诊断时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化与预先测量出的正常时的磁铁(M1)和磁性传感器(M2)之间的距离变化进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN111133239A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880062388.4
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测部(210)，其检测与在压电元件发生的应变量相关的电信号；以及控制部(210)，其基于与压电元件的应变量相关的电信号控制调整用驱动器(100)，以使由阀芯引起的流路的开度变为目标开度。
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公开(公告)号：CN110998803A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880052631.4
申请日：2018-07-31
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/67 , B01J4/00 , B05B12/00 , B05C11/10 , B05D3/00
Abstract: 提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2)，其连结贮存器(140)与泵(160)，用于利用在贮存器(140)贮存的液体的自重向泵(160)输送该液体；以及排出用配管(5)，其一端与主配管(2)在该主配管(2)的最低位置MB连接，另一端部向大气开放，该排出用配管(5)用于使贮存器(140)和主配管(2)内的液体气化并向外部排出，排出用配管(5)形成为：在贮存器(140)和主配管(2)内的液体全部排出后，在排出用配管(5)内暂时地产生将排出用配管(5)的大气侧的空间和主配管(2)侧的空间隔开的积液。
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公开(公告)号：CN109563942B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201780039064.4
申请日：2017-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化，并且能够大幅度削减组装工时，还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置，下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置，在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f)，该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分，使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。
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公开(公告)号：CN110914773A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201880032768.3
申请日：2018-05-15
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 在由流体控制器具等多个部件构成的半导体制造装置中，管理者能够直观地识别各部件。此外，能够容易理解地向管理者提供所识别的部件的信息。在管理者终端(3)和信息处理装置(2)被构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信的系统中，管理者终端(3)从信息处理装置(2)接收半导体制造装置(1)的部件信息。利用确定处理部(32)针对半导体制造装置(1)的拍摄图像确定构成半导体制造装置(1)的部件的位置时，利用合成处理部(33)针对拍摄图像生成使部件信息与所确定的部件的位置合成而成的合成图像，利用图像显示部(34)显示合成图像。另一方面，信息处理装置(2)参照部件信息存储部(2A)，由提取处理部(21)提取部件信息，对管理者终端(3)发送部件信息。
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公开(公告)号：CN110709634A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880036391.9
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种小型并且对弯矩的耐力得到了改善的阀装置。具有：块状的阀体(30)；壳体(11)，其为筒状，其内置有驱动用于开闭流路的阀芯的驱动机构，该壳体与阀体(30)连接，自该阀体(30)的上表面(30t)朝向上方延伸；以及保护构件(50)，其与筒状的壳体(11)和阀体(30)抵接，用于抑制在弯矩作为外力作用于壳体(10)时在位于壳体(10)的根基部分的壳体构件(12)与阀体(30)之间产生的应力集中。
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