烧结接合用片、带基材的烧结接合用片、以及带烧结接合用材料层的半导体芯片

    公开(公告)号:CN111690339A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010170995.1

    申请日:2020-03-12

    Abstract: 提供适于防止/抑制接合对象物间的烧结接合用材料的溢出且适于确保形成的烧结层的接合强度的、烧结接合用片、带基材的烧结接合用片、及带烧结接合用材料层的半导体芯片。烧结接合用片包含:含有导电性金属的烧结性颗粒和粘结剂成分,经过对5mm见方的Si芯片具有的银平面的规定条件下的加压处理从而转印到银平面上的烧结接合用材料层的面积相对于银平面的面积的比率为0.75~1。带基材的烧结接合用片即片体(X)具有包含基材和烧结接合用片的层叠结构。带烧结接合用材料层的半导体芯片具备半导体芯片和该烧结接合预定面上的源自烧结接合用片的烧结接合用材料层,烧结接合用材料层的面积相对于烧结接合预定面的面积的比率为0.75~1。

    半导体装置制造方法
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111383934A

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201911357387.5

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 提供半导体装置制造方法,其包括:转印工序、临时固定工序和接合工序。转印工序中,使片材体X中的含有烧结性颗粒的接合用片材(10)一侧粘贴在半导体元件组件(20)中的接合对象部(21)后,将在接合用片材(10)中压接在接合对象部(21)上的部位作为接合用材料层(11)残留于该接合对象部(21)上且使其他部位伴随于基材B的同时,进行基材B的剥离。临时固定工序中,将带有接合用材料层(11)的接合对象部(21)借助该接合用材料层(11)临时固定在基板上。接合工序中,由夹设于临时固定的接合对象部(21)与基板之间的接合用材料层(11)经过加热过程形成接合层,将接合对象部(21)接合在基板上。

    中空型电子器件密封用片
    63.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105826278B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201610040558.1

    申请日:2016-01-21

    Abstract: 提供一种中空型电子器件密封用片,其可得到能够将中空型电子器件适宜地埋入热固化性密封用片并抑制了热固化性密封用片的上表面的凹凸的中空型电子器件封装件。一种中空型电子器件密封用片,其具有隔片和热固化性密封用片,隔片的厚度(mm)与25℃时的拉伸弹性模量(N/mm2)之积为200N/mm以上,热固化性密封用片在50℃~100℃范围内的最低熔融粘度为100kPa·s以上。

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