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公开(公告)号:CN1847916A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200610074386.6
申请日:2006-04-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B6/357 , G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/3584 , Y10S359/90
Abstract: 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元,该微移动单元包括:框架;可移动部件,其能够转动;扭转连接部件,连接该框架与该可移动部件;以及致动器,用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间,用于电连接该致动器与该内部互连结构。
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公开(公告)号:CN1690766A
公开(公告)日:2005-11-02
申请号:CN200410078620.3
申请日:2004-09-14
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件包括框架、可动功能部件、驱动机构、从该功能部件延伸到该驱动机构的横梁、以及使该框架和该横梁相互连接的扭转接头。该接头限定了一个旋转轴,该功能部件绕该旋转轴旋转。该旋转轴与该横梁的纵向垂直。在该旋转轴纵向上该横梁比该功能部件短。
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公开(公告)号:CN1580863A
公开(公告)日:2005-02-16
申请号:CN200410028718.8
申请日:2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H02N1/008
Abstract: 一种微型振荡元件包括:可移动主部件;第一框架和第二框架;和第一连接部件,连接该可移动主部件和该第一框架,并且限定用于该可移动主部件相对于该第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴。该元件还包括第二连接部件,连接该第一框架和该第二框架,并且限定用于该第一框架和该可移动主部件相对于该第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴。设有产生用于该第一旋转操作的驱动力的第一驱动机构。设有产生用于该第二旋转操作的驱动力的第二驱动机构。该第一旋转轴和该第二旋转轴不垂直。
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