诊断装置、诊断方法及程序

    公开(公告)号:CN105407796A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201380076333.6

    申请日:2013-05-10

    Abstract: 传感器部具有多个传感器单元,该多个传感器单元在检测诊断对象的脉动的区域内,以经由传感器对上述区域施加了压力的状态检测上述脉动,并以矩阵状设置于传感器。诊断装置根据在所施加的压力为一定的状态下检测出的脉动取得脉搏的分布,根据脉搏的分布确定上述区域内的多个观察位置,并且增加压力而在确定出的多个观察位置中确定具有最大振幅的脉搏。对根据在各观察位置获得具有最大振幅的脉搏时的压力将各观察位置的脉动数值化的分值进行运算,合并多个观察位置的分值。根据合并而得到的分值,参照预先储存有对于分值的、诊断对象被类推出的状态的数据库,来类推诊断对象的状态(症状),根据类推出的诊断对象的状态(症状)生成对于诊断对象的诊断结果并输出。

    制造MEMS器件的方法以及MEMS器件

    公开(公告)号:CN102190286B

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201110057805.6

    申请日:2011-03-04

    CPC classification number: H01G7/00 H01H57/00 H01R9/00

    Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件,并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤:在衬底上形成第一电极,其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部;在第一电极上形成牺牲层,其中牺牲层具有第一倾斜边缘,该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置,使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小;在第一电极上形成第一隔离体,其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触;在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极;以及在形成梁电极以后去除牺牲层。

    制造MEMS器件的方法以及为此使用的衬底

    公开(公告)号:CN102190285B

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201110043033.0

    申请日:2011-02-21

    CPC classification number: H01H59/0009 Y10T428/24521 Y10T428/24562

    Abstract: 本发明公开一种制造MEMS器件的方法以及为此使用的衬底。一种用于制造MEMS器件的方法,包括:制备具有第一衬底和第二衬底的衬底,其中在第一衬底中形成腔体,第二衬底被结合到第一衬底的、其上形成腔体的那一侧,并且包括在与腔体相对应的位置对可移动部分进行划界的狭缝,第二衬底包括面向第一衬底的第一表面并且设置有选择性地在与移动部分相对应的位置中形成在第一表面上的热氧化膜;在第二表面上形成第一电极层,该第二表面与其上形成用于可移动部分的热氧化膜第一表面相反;在第一电极层和第二衬底上形成牺牲层;在牺牲层上形成第二电极层;以及在形成第二电极层之后移除牺牲层和热氧化膜。

    具有可变电容元件的电子设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN103430260A

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201180069245.4

    申请日:2011-03-16

    CPC classification number: H01G5/16 H01G5/18

    Abstract: 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有:给予物理性支承的支承基板;一对固定部件,其被形成在支承基板上,并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部;可动电极,其被一对固定部件的支承部支承,对置的第一侧面和第二侧面构成电极面,并且至少一部分能够弹性变形;第一固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面;以及第二固定电极,其被支承在支承基板上,具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。

    可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备

    公开(公告)号:CN101515503B

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN200910007666.9

    申请日:2009-02-20

    CPC classification number: H01G5/16

    Abstract: 本发明提供一种可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备。可变电容器包括衬底、信号线,其设置在衬底的表面上用于馈送信号、接地电极,其设置在衬底的表面上、以及可动电极,其设置成与信号线和接地电极相对,可动电极可操作地朝着信号线和接地电极和远离信号线和接地电极移动。可动电极能被可动电极和信号线之间和可动电极和信号线之间的静电吸引移位,静电吸引由施加到可动电极的电压产生,并且可动电极的移位量根据电压量变化。

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