一种用于丝网检测的多动子扫描方法及系统

    公开(公告)号:CN114858820B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202210544678.0

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本发明提供一种用于丝网检测的多动子扫描方法及系统,包括:X轴导轨、多个Z轴导轨、多个相机动子、Y轴导轨、支撑机台以及工控机;每个相机动子包括:相机和激光传感器;相机用于拍摄丝印网版的图像,激光传感器用于测量相机的高度,以辅助Z轴导轨完成相机的对焦;工控机根据待检测丝印网版的面积大小,以及每个相机的视场大小,划分每一个相机动子的扫描成像区域;根据每个相机动子的扫描成像区域,设置相机动子的扫描起点和扫描路径;并模拟所有相机动子的扫描路径,确保任意两个相机动子不会发生碰撞,之后通过控制X轴导轨和Y轴导轨使每个相机动子按照对应的扫描起点和扫描路径采集丝印网版对应区域的图像。本发明可以提高检测效率。

    具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置和方法

    公开(公告)号:CN112731346B

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202011518546.8

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的显微型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光扫频测距领域,包括第一、二二向色镜、分束器、显微镜、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,载物台和分束器之间设显微镜,分束器有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对显微镜,第三端口正对可运动反射器件,第四端口正对第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置相机,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设光谱仪,光谱仪连通采集控制单元,采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。

    一种用于深微孔几何参数的大量程谱域光学干涉测量系统

    公开(公告)号:CN117053706A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311089258.9

    申请日:2023-08-25

    Abstract: 本发明公开了一种用于深微孔几何参数的大量程谱域光学干涉测量系统,属于深微孔测量领域。包括:样品臂,沿光路依次由第一准直器、XY振镜和F‑θ镜组成,用于将第一光束经过所述样品臂照射到待测深微孔样品后,生成样品光,返回至光纤耦合器;参考臂,沿光路依次由第二准直器和空间光调制器组成,用于将第二光束经过参考臂,照射到空间光调制器后生成的参考光,返回至光纤耦合器,以便参考光与所述样品光在光纤耦合器中发生干涉,生成干涉光。本发明的参考臂使用空间光调制器设计,利用空间光调制器通过不同样品角度三次测量得到样品与参考镜之间的干涉光谱,通过傅里叶变换获取深度信息,消除复共轭像影响,将测量深度扩展为原有深度的两倍。

    一种用于丝网检测的多动子扫描方法及系统

    公开(公告)号:CN114858820A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210544678.0

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本发明提供一种用于丝网检测的多动子扫描方法及系统,包括:X轴导轨、多个Z轴导轨、多个相机动子、Y轴导轨、支撑机台以及工控机;每个相机动子包括:相机和激光传感器;相机用于拍摄丝印网版的图像,激光传感器用于测量相机的高度,以辅助Z轴导轨完成相机的对焦;工控机根据待检测丝印网版的面积大小,以及每个相机的视场大小,划分每一个相机动子的扫描成像区域;根据每个相机动子的扫描成像区域,设置相机动子的扫描起点和扫描路径;并模拟所有相机动子的扫描路径,确保任意两个相机动子不会发生碰撞,之后通过控制X轴导轨和Y轴导轨使每个相机动子按照对应的扫描起点和扫描路径采集丝印网版对应区域的图像。本发明可以提高检测效率。

    一种光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置及方法

    公开(公告)号:CN114858083A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210544594.7

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本发明提供了一种光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置及方法,属于扫描测量领域,方法为:将入射光分成第一子光束和第二子光束;在二维振镜系统中添加电压控制信号,使第一子光束到达待测小孔区域,通过调节准直器和场镜的搭配,调节第一子光束的光斑大小和准直距离,对待测小孔区域进行扫描,经反射形成反射光;将第二子光束反射形成参考光;反射光与参考光发生干涉,对干涉信号进行光谱分析后依次进行傅里叶变换和寻峰处理,获取小孔的深度信息和小孔底部的表面形貌信息。本发明提供的光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置可以测量孔径大于或等于300μm,同时深度小于或等于2.3cm,深径比达到75以下的底部形貌信息。

    一种双折射率的测定装置和测定方法

    公开(公告)号:CN112557344B

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202011371090.7

    申请日:2020-11-30

    Abstract: 本发明公开一种双折射率的测定装置,属于光学与晶体学领域,其包括测量光源、扩束镜、汇聚物镜、棱镜、波片、载物台组件、物镜、镜筒、滤波片、偏振片、针孔光阑,扩束镜设置在测量光源的出射方向上,汇聚物镜设置在扩束镜出射光方向上,棱镜设置在汇聚物镜出射光方向上,棱镜的底面设置待测样品,待测样品设置在载物台组件上,物镜末端设置有镜筒,在镜筒和物镜之间设置有滤波片,镜筒内依次设置有偏振片和针孔光阑,载物台组件能升降、旋转、X方向和Y方向的移动,采集从针孔光阑出射的携带有待测样品折射率信息的出射光,从而能获得折射率。本发明装置能精确、方便地测量获得物体的双折射率信息。

    具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置和方法

    公开(公告)号:CN112731345A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011517751.2

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光测距领域,包括第一二向色镜、分束器、第二二向色镜、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元、可运动的部分反射元件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,在载物台和分束器之间设置可运动的部分反射元件,分束器具有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对可运动的部分反射元件,第四端口的方向上设有第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置镜头,镜头与相机相连,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪,光谱仪连通采集控制单元。本发明装置能减小测量误差,其结构简单、测量快速、测量精度高。

    一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置和方法

    公开(公告)号:CN112729135A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011517746.1

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置,属于测距/厚领域,包括第一、二二向色镜、分束器、远心镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设置分束器,分束器反射光方向上设置有载物台,分束器透射光方向上设置可运动反射器件,分束器具有四个端口,第一端口和第三端口位于相对的两个边上,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对载物台,第三端口正对可运动反射器件,第四端口的方向上设置有第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置远心镜头,远心镜头连接有相机,第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪,光谱仪连通采集控制单元。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。

    一种双折射率的测定装置和测定方法

    公开(公告)号:CN112557344A

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN202011371090.7

    申请日:2020-11-30

    Abstract: 本发明公开一种双折射率的测定装置,属于光学与晶体学领域,其包括测量光源、扩束镜、汇聚物镜、棱镜、波片、载物台组件、物镜、镜筒、滤波片、偏振片、针孔光阑,扩束镜设置在测量光源的出射方向上,汇聚物镜设置在扩束镜出射光方向上,棱镜设置在汇聚物镜出射光方向上,棱镜的底面设置待测样品,待测样品设置在载物台组件上,物镜末端设置有镜筒,在镜筒和物镜之间设置有滤波片,镜筒内依次设置有偏振片和针孔光阑,载物台组件能升降、旋转、X方向和Y方向的移动,采集从针孔光阑出射的携带有待测样品折射率信息的出射光,从而能获得折射率。本发明装置能精确、方便地测量获得物体的双折射率信息。

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