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公开(公告)号：CN117153693A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311096525.5
申请日：2023-08-29
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
IPC: H01L21/34 , H01L21/44 , H01L29/06 , H01L29/08 , H01L29/423 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种高耐压、低导通电阻ITO薄膜晶体管及其制备方法，包括以下步骤：S10、获取衬底；S20、在所述衬底上形成栅极；S30、在所述栅极上形成栅氧；S40、在所述栅氧上形成ITO有源层；S50、在所述ITO有源层一侧形成ITO阶梯层；S60、在所述ITO阶梯层上形成漏极；在所述ITO有源层未设置ITO阶梯层的一侧形成源极。本发明通过拉偏漏极和栅极之间的水平距离，显著提高了ITO薄膜晶体管的击穿电压；同时引入ITO阶梯层，利用ITO材料电流能力易受厚度调控的特点，降低非交叠区域ITO沟道导通电阻，获得了更为优异的导通电阻与击穿电压间的关系。
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公开(公告)号：CN113764173B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202111202503.3
申请日：2021-10-15
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种集成Y电容的平面变压器，涉及电磁兼容和磁性元器件设计领域。一次侧绕组与二次侧绕组交错排列，其寄生电容改善了二次侧整流二极管的噪声传导路径。辅助绕组一端与原边地相连，另一端悬空，与二次侧绕组形成集成Y电容(CY)，改善了一次侧开关管和二次侧整流二极管的噪声传导路径。本发明在保持完全交叉换位结构平面变压器低漏感、高效率优点的前提下，利用了一次侧绕组与二次侧绕组之间的寄生电容，使其成为了引导噪声的低阻抗路径，几乎消除了级间电容带来的不利影响，可以有效减小开关电源对外的传导噪声干扰。同时通过将Y电容集成，可以进一步减小开关电源的面积，有利于开关电源的小型化，提高了开关电源的功率密度。
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公开(公告)号：CN116525612A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310553782.0
申请日：2023-05-17
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
IPC: H01L27/06 , H01L27/02 , H01L23/538 , H02M1/00 , H02M1/44
Abstract: 一种单片集成式GaN基半桥电路及半桥电路。单片集成式GaN基半桥电路，在导电衬底上依次设有成核层、缓冲层、沟道层和势垒层，势垒层和沟道层由隔离层分割，设置二极管和集成电容、低侧管、高侧管、第一集成电阻器及第二集成电阻器。半桥电路包括：低侧管及高侧管，低侧管的漏极与高侧管的源极连接有输出端子Vout，低侧管衬底与高侧管衬底连接，在高侧管漏极与低侧管源极上并接一串联电阻，串联电阻由第一集成电阻器和第二集成电阻器串联构成且串联节点连接于导电衬底；在串联节点与低侧管源极上并接有集成电容；在输出端子Vout与串联节点之间连接有二极管且二极管的阳极连接于输出端子Vout、阴极连接于所述串联节点。
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公开(公告)号：CN116317573A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310147248.X
申请日：2023-02-22
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
Abstract: 本发明是一种基于恒定导通时间控制的自激降压变换器，该变换器包括降压主电路，控制电路和驱动电路；输入电源(Vin)接入控制电路的输入端即第二PNP管(Q2)的发射极，控制电路的输出端接驱动电路的输入端即第三PNP管(Q3)的基极，驱动电路的输出端接降压主电路的输入端即功率开关管(Q1)的栅极。采用此结构能够使得电路更为简单，解决电路生产成本高昂，开关频率不易调节的问题。
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公开(公告)号：CN113777462B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202111003610.3
申请日：2021-08-30
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种适用于功率器件的二次击穿限测试方法及装置，主要包括：在搭建的测试系统中，开启功率开关器件，齐纳二极管发生雪崩击穿，产生稳定电压B，使待测功率器件导通，关闭功率开关器件，待测功率器件关闭，即可观测到待测功率器件的源漏电压和漏极电流，此后，通过调节直流电压源的电压和变阻器，多次重复本操作，观察器件的工作电压和电流变化情况，调节直流电压源的电压和变阻器保证器件工作在所需要的条件下。本发明通过对直流电源电压和变阻器的调节，使得器件工作在稳定的源漏电压和漏极电流的条件下，在此过程中，通过观测器件导通过程中的源漏电压和漏极电流的变化情况，从而为器件的进一步的改进提供帮助。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113765395B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202111008767.5
申请日：2021-08-31
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
IPC: H02M3/335
Abstract: 本发明公开了一种改善有源钳位反激式变换器原边反馈采样精度的控制系统及控制方法，在本发明中，通过采样保持模块，在钳位开关管关断时对辅助绕组电压采样，从而获得输出电压的精确值，并与参考电压比较得到输出电压的误差信号，将误差信号与输入电压采样模块得到的输入电压信号输入到PWM控制模块，得到合适的开关管导通时间，产生钳位开关管驱动信号和主开关管驱动信号，本发明方案简单易行、成本低，能够改善对输出电压信号的采样精度，提高了控制系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN113782609B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202111055507.3
申请日：2021-09-09
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
IPC: H01L29/78 , H01L29/10 , H01L29/06 , H01L21/336
Abstract: 本发明是一种衬底电荷耦合的1200V体硅LDMOS及其制备方法，在P型衬底上设有N型SN埋层，在N型SN埋层上方且靠近漏极侧设有N型DN埋层，在N型SN埋层上方且靠近源极侧设有5个P型BP埋层。P型BP埋层和N型DN埋层上方设有P型P‑well体区、N型漂移区和N型N‑well缓冲层。漂移区上方设有场氧化层、多晶硅栅、二氧化硅氧化层和金属场板，其中金属场板横跨于场氧化层上方，多晶硅栅自源极N型重掺杂区上方经过P型P‑well体区，延伸至场氧化层上方。源极N型重掺杂区和源极P型重掺杂区通过源极金属和源极相连，漏极N型重掺杂区通过漏极金属和漏极相连。本发明结构在低衬底电阻率的衬底材料下即可实现1200V的耐压需求。
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公开(公告)号：CN114899196A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210669888.2
申请日：2022-06-14
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
IPC: H01L27/12 , H01L21/77 , H03K19/0185
Abstract: 本发明提供了一种基于IGZO薄膜晶体管的反相器及其制备方法，该方法包括：获取衬底；在衬底上形成栅电极层；在栅电极层上形成栅极介电层；在栅极介电层上形成IGZO有源层；在IGZO有源层上形成源极、漏极；对IGZO有源层进行局部氢等离子体处理。通过氢等离子体处理工艺实现氢掺杂，使反相器上拉网络中的n型增强型IGZO薄膜晶体管转变为n型耗尽型IGZO薄膜晶体管，相比于将栅漏短接的n型增强型IGZO薄膜晶体管作为上拉器件的反相器，本发明提供的反相器具有更高的增益和更大的摆幅；与此同时，该工艺简单快捷，便于操作，反应所用的气体源易获取，满足大规模工业生产的需求量。
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公开(公告)号：CN114843267A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210643717.2
申请日：2022-06-08
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
IPC: H01L27/085 , H01L27/092 , H01L29/778
Abstract: 一种增强型N沟道和P沟道GaN器件集成结构，包括衬底，在衬底上依次设铝氮成核层、铝氮镓缓冲层、氮化镓沟道层和铝镓氮势垒层，铝镓氮势垒层和氮化镓沟道层被隔离层分割；隔离层一侧设有P沟道器件，包括第一P型氮化镓层，在第一P型氮化镓层上依次设第一氮化镓隔离层和第一P+型氮化镓层，在第一P+型氮化镓层上设第一源、栅极和第一漏极，第一栅极陷入第一P+型氮化镓层，其间设有栅极介质层；在隔离层的另一侧设有N沟道器件，包括第二源极、第二P型氮化镓层和第二漏极，第二源、漏极分别位于第二P型氮化镓层的两侧，在第二P型氮化镓层上方依次设有第二氮化镓隔离层、第二P+型氮化镓层和第二栅极。
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公开(公告)号：CN114785125A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210378386.4
申请日：2022-04-12
Applicant: 东南大学 , 东南大学—无锡集成电路技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种应用于恒定导通时间控制的多相交错电路，包括：功率级模块、电流和电压采样模块、电压Vramp信号产生模块、阈值分配模块和VTR信号产生模块。功率级模块一共有N相buck变换器；所述锯齿波电压Vramp信号产生模块为反向充电恒定导通时间控制的积分模块；所述阈值分配模块根据单相反向充电恒定导通时间计算出的电容充电的阈值电压VTH，产生N个阈值电压；所述VTR信号产生模块中，将电压Vramp信号产生模块产生的锯齿波电压Vramp与阈值分配模块产生的N个阈值电压分别进行比较。本发明不需要用到远高于开关频率的高速ADC，可以降低成本。
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