安全阀
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105121927A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201480019649.6

    申请日:2014-10-15

    CPC classification number: F16K17/383

    Abstract: 提供一种安全阀,其安装于容器且在温度上升的情况下使容器内气体释放,能够确保安全性并降低成本。移动体(12)由供压缩螺旋弹簧(13)嵌入的轴部(21)、和由压缩螺旋弹簧(13)弹压而与可熔合金(11)抵接的凸缘部(22)构成。在移动体(12)的凸缘部(22)设有用于将熔化的可熔合金(11)向压缩螺旋弹簧配置空间(30)排出的贯穿孔(35)。

    半导体制造装置的原料气体供给装置

    公开(公告)号:CN103649367B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201280033804.0

    申请日:2012-04-25

    Abstract: 本发明包括:液体原料气体供给源;源储罐,其储存所述液体原料气体;气体流通路,其从所述源储罐的内部上方空间部向处理腔供给为液体原料气体蒸汽的原料气体;自动压力调整器,其间置于该气体流通路的上游侧,且将向处理腔供给的原料气体的供给压力保持为设定值;供给气体切换阀,其间置于所述气体流通路的下游侧,且对向处理腔供给的原料气体的通路进行开闭;节流孔,其设于该供给气体切换阀的入口侧和出口侧中的至少一方,且调整向处理腔供给的原料气体的流量;以及恒温加热装置,其将所述源储罐、所述气体流通路和供给气体切换阀以及节流孔加热至设定温度,在本发明中,将自动压力调整器下游侧的原料气体的供给压力控制为所期望的压力,并且向处理腔供给设定流量的原料气体。

    球阀
    64.
    发明公开
    球阀 失效

    公开(公告)号:CN104819317A

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201510038441.5

    申请日:2015-01-26

    CPC classification number: F16K5/0626 F16K5/08

    Abstract: 本发明提供一种球阀,该球阀在球体和压环之间不设置球座的情况下防止球体和压环的接触,并具有优异的耐用性。该球阀具备:阀体,具有入口流路、出口流路以及连结这些流路之间的内部空间;球体,设置于内部空间,通过绕基准轴旋转来开闭所述流路;操作机构,使该球体绕基准轴旋转;阀杆,用于连结该操作机构和球体;球座,以围上球体的周围的方式设置于内部空间,在侧面具有大致圆筒形状的开口部;压环,内嵌于球座的开口部;其中,压环在阀体侧的端部具有从外周端部向外突出的突起部,球座具有切槽部,该切槽部设置成与突起部进行嵌合,压环以使突起部的球体侧的端面抵接于球座的切槽部的方式嵌合于开口部。

    球阀
    67.
    发明公开
    球阀 失效

    公开(公告)号:CN103672006A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310422655.3

    申请日:2013-09-17

    CPC classification number: F16K5/0647 F16K5/0636 F16K5/0689 F16K5/0694 F16K5/08

    Abstract: 一种球阀,其特征在于,其包括:具有流体入口通道、流体出口通道及设置在这些通道间的连通部的主体、具有流体连通道且绕基准轴可旋转地配置于主体的连通部的球、周壁设置有所需开口部的大致圆筒状且配置于所述球和所述主体之间的球座、与所述球座相邻且配置于所述主体的内部的球座压块、与所述主体的内周螺合配置的压块螺丝,在通过使球绕基准轴旋转以使得流体入口通道和流体出口通道连通和断开的球阀中,所述压块螺丝通过调整其紧固力按压所述球座压块,所述压块螺丝不经由填料按压所述球座压块。本发明的球阀能降低扳手转矩并由此手动开合方便,并能可靠防止泄漏。

    半导体制造装置的原料气体供给装置

    公开(公告)号:CN103649367A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201280033804.0

    申请日:2012-04-25

    Abstract: 本发明包括:液体原料气体供给源;源储罐,其储存所述液体原料气体;气体流通路,其从所述源储罐的内部上方空间部向处理腔供给为液体原料气体蒸汽的原料气体;自动压力调整器,其间置于该气体流通路的上游侧,且将向处理腔供给的原料气体的供给压力保持为设定值;供给气体切换阀,其间置于所述气体流通路的下游侧,且对向处理腔供给的原料气体的通路进行开闭;节流孔,其设于该供给气体切换阀的入口侧和出口侧中的至少一方,且调整向处理腔供给的原料气体的流量;以及恒温加热装置,其将所述源储罐、所述气体流通路和供给气体切换阀以及节流孔加热至设定温度,在本发明中,将自动压力调整器下游侧的原料气体的供给压力控制为所期望的压力,并且向处理腔供给设定流量的原料气体。

    液力联轴器
    69.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103069203A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201180032152.4

    申请日:2011-06-13

    CPC classification number: F16L15/04 F16L19/0218 F16L19/025 F16L2201/10

    Abstract: 本发明提供一种在产生忘记放入垫圈的故障的情况下,能够通过泄漏试验可靠地发现该情况的液力联轴器。在各联轴器构件(1、2)的对接的端面设有环状的密封突起(7、8)以及突出量大于密封突起(7、8)的过度拧紧防止用环状突起(9、10)。在至少一方的过度拧紧防止用环状突起(9、10)上形成有在两个过度拧紧防止用环状突起(9、10)互相对接时连通其内部空间(Si)和外部空间(So)的连通通道(31、32)。

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