公开(公告)号：CN1692244A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200380100714.X

申请日：2003-10-31

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 望月靖哲 ,  牧野惠 ,  小艾睦典

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K27/003

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置。其主体(2)由中央通道部件(11)、和侧通道部件(12)(13)构成。各开闭阀(5)(6)横跨中央通道部件和一侧的侧通道部件而可以装卸地安装。在中央通道部件上，仅与辅助气体入口(23)相同数目地设有由1条公共通道(22a)和(2)条支路(22b)(22c)构成的Y字通道(22)。Y字通道(22)的公共通道(22a)的开口被作为辅助气体入口(23)，并且使Y字形通道(22)的各支路(22b)(22c)分别通向各开闭阀(5)(6)的入口端口，通过这种方式形成了次气体流入通道。主气体通道(18)和主通道侧连通道(19)形成于一侧通道部件(12)内，排气气体通道(20)和排气气体通道侧连通道(21)形成于另一侧的侧通道部件(13)内。

公开(公告)号：CN103732962A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280028298.6

申请日：2012-05-31

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 池田隼也 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  稻田敏之

IPC: F16K15/02 ,  F16K3/02 ,  F16K15/06 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K15/026 ,  F16K15/025 ,  F16K17/0466 ,  F16K25/005 ,  Y10T137/7924

Abstract: 本发明提供一种止回阀，提高耐热性并且解决了伴随高温使用而导致“栓体向密封构件的粘附”的技术课题，由此在高温条件下也能够使用。通过使被弹压构件（7）弹压的栓体（5）与密封构件（4）抵接而使设置在第1阀体（2）上的流体通路（2a）的开口成为关闭状态。密封构件（4）为进行了二次硫化的全氟橡胶制密封垫。在栓体（5）上形成有与密封构件（4）线接触的环状的密封部（6）。

公开(公告)号：CN103732972B

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201380001709.7

申请日：2013-02-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 余湖隆司 ,  四方出 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  松田隆博

IPC: F17D1/04 ,  F16K27/00 ,  F16L41/02

CPC classification number: F16K27/003 ,  C23C16/45561 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/87885

Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。

公开(公告)号：CN103732972A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201380001709.7

申请日：2013-02-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 余湖隆司 ,  四方出 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  松田隆博

IPC: F17D1/04 ,  F16K27/00 ,  F16L41/02

CPC classification number: F16K27/003 ,  C23C16/45561 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/87885

Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。

公开(公告)号：CN103732962B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201280028298.6

申请日：2012-05-31

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 池田隼也 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  稻田敏之

IPC: F16K15/02 ,  F16K3/02 ,  F16K15/06 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K15/026 ,  F16K15/025 ,  F16K17/0466 ,  F16K25/005 ,  Y10T137/7924

Abstract: 本发明提供一种止回阀，提高耐热性并且解决了伴随高温使用而导致“栓体向密封构件的粘附”的技术课题，由此在高温条件下也能够使用。通过使被弹压构件（7）弹压的栓体（5）与密封构件（4）抵接而使设置在第1阀体（2）上的流体通路（2a）的开口成为关闭状态。密封构件（4）为进行了二次硫化的全氟橡胶制密封垫。在栓体（5）上形成有与密封构件（4）线接触的环状的密封部（6）。

公开(公告)号：CN101371120A

公开(公告)日：2009-02-18

申请号：CN200780002920.5

申请日：2007-01-24

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 四方出 ,  牧野惠 ,  小艾睦典 ,  塚田真盛 ,  相泽十兵卫

IPC: G01L19/00 ,  F16L41/03

CPC classification number: F16L41/008 ,  G01L19/0007

Abstract: 本发明提供一种压力传感器装置以及内置压力传感器的流体控制仪器，能够实现进一步的紧凑化，并且，使压力传感器的单独更换容易的集成化流体控制装置成为可能。压力传感器装置(21)具有：第1通路块(22)，在该第1通路块上形成有规定的通路(22a)；第2通路块(23)，在该第2通路块上形成有规定的通路(23a)，且第2通路块(23)与第1通路块(22)隔开规定间隔地相对；压力传感器(24)，该压力传感器设在所述第1、第2通路块的任一方的通路块(23)的相对面上，检测其内部通路(23b)的流体压力，该压力传感器装置(21)与压力调整器(16)一体化。