公开(公告)号：CN103732972B

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201380001709.7

申请日：2013-02-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 余湖隆司 ,  四方出 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  松田隆博

IPC: F17D1/04 ,  F16K27/00 ,  F16L41/02

CPC classification number: F16K27/003 ,  C23C16/45561 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/87885

Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。

公开(公告)号：CN103732972A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201380001709.7

申请日：2013-02-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 余湖隆司 ,  四方出 ,  小艾睦典 ,  牧野惠 ,  松田隆博

IPC: F17D1/04 ,  F16K27/00 ,  F16L41/02

CPC classification number: F16K27/003 ,  C23C16/45561 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/87885

Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。