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公开(公告)号：CN104114322B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201380006959.X
申请日：2013-01-30
申请人： 信越半导体株式会社
IPC分类号： B24B37/08 , B24B53/00 , B24B53/12 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/08 , B24B53/017 , H01L21/02024 , H01L21/304
摘要： 本发明是一种晶片的双面研磨方法，该晶片的双面研磨方法将晶片保持在载具的保持孔中，并将该所保持的晶片夹入粘贴有砂布的上下平台之间，并使上述载具进行自转及公转而同时研磨上述晶片的双面，且以批次方式反复进行该晶片的研磨，上述晶片的双面研磨方法其特征在于，在上述以批次方式反复进行的晶片的研磨中，将上述载具公转的方向在每一批次转换成相反的方向。由此，提供一种能够抑制修整所造成的生产率的降低且能够稳定地得到高平坦度的晶片的晶片的双面研磨方法。
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公开(公告)号：CN104325396B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201310725356.7
申请日：2013-12-25
申请人： 桐乡市三精自动化科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种杠杆式磨头升降装置，包括床身、磨头装置、修磨头装置，修磨头装置安装在磨头装置上，所述磨头装置包括翘板、中轴座、磨头和磨头进给装置，所述磨头安装在翘板的一端，翘板的中部转动安装在中轴座上，中轴座固定在床身上，磨头进给装置的两端分别与床身、翘板的另一端连接，本发明具有以下优点和效果：可实现快速进给和自动化控制，并且在出现进给量过多的情况下，磨头进给装置中的进给气缸具有一定的弹性缓冲作用，提高了安全性能，并且整体采用杠杆式结构，不仅有效地利用了大型磨床的床身空间，并且通过力臂计算的控制可降低对液压缸和丝杆机构的性能要求。采用修磨头装置，可实现快速修整、并方便进行自动化控制。
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公开(公告)号：CN106078445A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610608977.0
申请日：2016-07-28
申请人： 林福兴
发明人： 林福兴
IPC分类号： B24B27/033 , B24B55/06 , B24B53/007 , B24B53/00
CPC分类号： B24B27/033 , B24B53/00 , B24B53/007 , B24B55/06
摘要： 本发明提供一种钢板表面锈渍自动清理机，包括机架、输送机构、清理机构、吸尘机构；清理机构包括第一链轮以及第二链轮、传送链条、与传送链条相固定连接的钢丝清理刷，吸尘机构包括开设有吸尘孔的吸尘管、与吸尘管连接的真空泵，机架上设置有清洗机构、烘干整理机构，清洗机构包括清洗箱、超声波发生器，烘干整理机构包括烘干箱、设置于烘干箱内的定型块，定型块上开设有定型槽，烘干箱内设置有陶瓷加热管，烘干箱内转动设置有将定型后的钢丝清理刷的端部进行打松的松散机构，能够自动清理钢板表面锈渍，而且能够自动对清理刷进行清洗、定型，无需频繁更换清理刷。
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公开(公告)号：CN105171591A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510495242.7
申请日：2015-08-13
申请人： 云南飞隆劳尔设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种上下盘带车刀架的双面研磨机，主要用于电子光学行业中对各种高精度晶体平面的自动化精磨加工。其主要技术方案：下盘车刀架部件固定连接在上盘部件的主轴箱上，上盘部件固定连接在机架部件的座上，上盘车刀架部件固定连接在下盘部件的底座上，下盘部件固定连接在机架部件的座上。本发明试用证明：从根本上克服了原双面研磨机上下盘车削加工费工费时、质量不能保证的现象。有效地提高了生产效率，降低了成本，满足大批量生产的需求。
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公开(公告)号：CN104440556A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410716998.5
申请日：2014-12-03
申请人： 无锡市翱宇特新科技发展有限公司
发明人： 张鹏 , 其他发明人请求不公开姓名
IPC分类号： B24B53/00
CPC分类号： B24B53/00
摘要： 本发明公开一种挡块固定器，属于精密机床附件技术领域，包括本体，所述本体呈长方体结构，其一端呈圆弧形，圆弧形的内侧加工有台阶孔，所述本体的另一端沿台阶孔的中心线方向加工有凸起，所述凸起的宽度小于本体的宽度，所述台阶孔和凸起之间加工有沉槽。本发明的一种挡块固定器，具有结构简单、容易加工制作、制造成本低、使用方便等优点。
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公开(公告)号：CN103286686A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310222599.9
申请日：2013-06-04
申请人： 南京工业大学 , 南京工大数控科技有限公司
IPC分类号： B24B53/00
摘要： 一种数控成形磨齿金刚滚轮非线性磨损补偿系统，包括a）测头系统，b）数控系统，c）齿廓误差测量模块，d）金刚滚轮非线性磨损识别模块，e）金刚滚轮非线性磨损补偿模块。一种数控成形磨齿金刚滚轮非线性磨损补偿方法，a）包括测量和计算齿廓误差的步骤；b）包括识别金刚滚轮磨损相位和磨损量的步骤；c）包括修整砂轮时实现金刚滚轮非线性磨损补偿的步骤。本发明为数控成形磨齿金刚滚轮非线性磨损的测量、识别和补偿，提供实现系统及方法，易于与数控成形磨齿机的操作系统集成，自动化程度高。本发明首次实现金刚滚轮的非线性磨损补偿，可以有效延长金刚滚轮的使用寿命，节约资源，有潜在的经济价值。
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公开(公告)号：CN102009388B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201010510121.2
申请日：2010-10-15
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B24B53/00 , G05B19/406
摘要： 一种机械制造技术领域的金属基微型砂轮在位电解电火花修整装置及其修整方法，该装置包括：机械运动系统、电源系统、工作液系统和控制系统。本发明利用加工电极有损耗这一特点，以微型砂轮做电极，从而使砂轮电极上的金属结合剂受电解电火花效应影响被蚀除，达到砂轮修整的目的，修整效率高，对磨粒的损伤小，成本低廉，非常适合微型金属基砂轮的离线或在位修整。
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公开(公告)号：CN102248486A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110209279.0
申请日：2011-07-25
申请人： 清华大学
IPC分类号： B24B53/00
摘要： 本发明公开了一种抛光垫修整方法，所述抛光垫修整方法包括：利用修整器对抛光垫进行修整，其中在所述修整器的修整头从所述抛光垫的中心向所述抛光垫的外沿摆动的过程中，所述修整头的摆动频率、旋转速度和修整压力中的至少一个减小，且在所述修整头从所述抛光垫的外沿向所述抛光垫的中心摆动的过程中，所述修整头的摆动频率、旋转速度和修整压力中的至少一个增大。利用所述抛光垫修整方法对所述抛光垫进行修整可以使所述抛光垫上各处的磨损量保持一致，从而可以大大地改善所述抛光垫的均匀性、大大地延长所述抛光垫的使用寿命。
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公开(公告)号：CN101590626B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200910100229.1
申请日：2009-06-25
申请人： 浙江工业大学
摘要： 本发明公开了一种竹陶瓷砂轮及其制备方法和应用，所述竹陶瓷砂轮是由下列原料经混合、装模、热压成型、脱模，得到毛坯砂轮，烘焙后制成；所述的原料质量配比组成为：酚醛树脂20％～30％、磨粒20～30％、竹炭粉40％～60％。本发明所述的竹陶瓷砂轮用于ELID磨削，可使得加工表面质量更优良。与现有技术相比，本发明在原料中引入了竹炭，竹炭资源丰富且环保，并且由于竹炭具有微孔结构，有助于磨削。本发明砂轮制备简单，制得的的竹陶瓷砂轮加工表面具有极高的表面完整性及洁净度、加工效率高、可以加工粘性、软性等难加工材料，为磨削加工开辟了新途径，环保无污染。
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