发明授权
- 专利标题: 晶片的双面研磨方法
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申请号: CN201380006959.X申请日: 2013-01-30
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公开(公告)号: CN104114322B公开(公告)日: 2017-04-19
- 发明人: 佐藤一弥 , 田中佑宜 , 小林修一
- 申请人: 信越半导体株式会社
- 申请人地址: 日本东京都千代田区大手町二丁目6番2号
- 专利权人: 信越半导体株式会社
- 当前专利权人: 信越半导体株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都千代田区大手町二丁目6番2号
- 代理机构: 北京冠和权律师事务所
- 代理商 朱健
- 优先权: 2012-030929 20120215 JP 2012-059341 20120315 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/000482 2013.01.30
- 国际公布: WO2013/121718 JA 2013.08.22
- 进入国家日期: 2014-07-28
- 主分类号: B24B37/08
- IPC分类号: B24B37/08 ; B24B53/00 ; B24B53/12 ; H01L21/304
摘要:
本发明是一种晶片的双面研磨方法,该晶片的双面研磨方法将晶片保持在载具的保持孔中,并将该所保持的晶片夹入粘贴有砂布的上下平台之间,并使上述载具进行自转及公转而同时研磨上述晶片的双面,且以批次方式反复进行该晶片的研磨,上述晶片的双面研磨方法其特征在于,在上述以批次方式反复进行的晶片的研磨中,将上述载具公转的方向在每一批次转换成相反的方向。由此,提供一种能够抑制修整所造成的生产率的降低且能够稳定地得到高平坦度的晶片的晶片的双面研磨方法。
公开/授权文献
- CN104114322A 晶片的双面研磨方法 公开/授权日:2014-10-22